年产3万吨电子级硫酸和1万吨功能湿电子化学品可行性研究报告
思瀚产业研究院 兴福电子    2023-11-03

1、项目基本情况

本项目拟新建 4 万吨/年超高纯电子化学品（电子级硫酸和功能湿电子化学品）生产装置及配套厂房，项目规划总投资 57,099.05 万元，拟使用募集资金 55,030.97万元，实施主体为公司全资子公司上海兴福，拟建设地点为上海化学工业园区，建设期 24 个月。项目投产后可新增年产 3 万吨电子级硫酸和 1 万吨功能湿电子化学品的生产能力。

电子级硫酸

电子级硫酸主要应用于 8 英寸、12 英寸晶圆制造的清洗工艺环节，用于清洗各类金属、有机物和颗粒物，是目前集成电路制造中用量最大的酸性清洗、刻蚀原料之一。公司电子级硫酸产品 2017 年实现 SEMI G4 等级技术突破，2020 年实现 SEMIG5 等级技术突破和稳定生产，是电子级硫酸国家标准的牵头起草单位，也是国内最早一批实现 SEMI G5 等级技术突破且拥有自主知识产权的电子级硫酸生产企业。

目前，公司电子级硫酸产品金属离子含量可稳定控制在 5ppt 以内，主要技术指标达到 SEMI 通用标准最高等级 G5 等级、电子级硫酸国家标准（GB/T 41881-2022）最高等级 E1 级要求，经中国电子材料行业协会组织专家组鉴定，公司电子级硫酸相关成果整体技术达到国际先进水平。

目前公司电子级硫酸产品已实现对中芯国际、长江存储、华虹集团、长鑫存储、德州仪器（成都）、晶合集成、重庆万国、燕东微、联华电子、CMC Materials等国内外知名集成电路行业企业的供应。

功能湿电子化学品

公司功能湿电子化学品主要包括硅蚀刻液、金属蚀刻液、清洗剂、显影液、剥膜液、再生剂等产品，主要用于集成电路晶圆制造及封装、显示面板 TFT-LCD制造的清洗、刻蚀等环节。功能湿电子化学品的性能根据客户产线要求而有所不同，核心技术在于配方。

公司生产销售的通用湿电子化学品主要包括电子级磷酸、电子级硫酸，功能湿电子化学品主要包括蚀刻液、清洗剂、显影液、剥膜液、再生剂等，主要应用在集成电路、显示面板等领域电子产品制造过程中的湿法工艺环节。

对于湿电子化学品而言，金属杂质含量、颗粒控制粒径及数量是影响电子信息产品成品率、电性能及可靠性的关键因素，亦是评价产品品质的重要技术指标。产品技术水平的先进性主要通过国际通用的标准等级进行评价，并通过产业化成果和客户认可情况验证。

公司功能湿电子化学品产品品种较为丰富，截至本报告发布日，公司已根据不同客户需求主要开发了 37 种功能湿电子化学品产品，其中蚀刻液 28 种，清洗剂 2 种、显影液 2 种、剥膜液 3 种、再生剂 2 种。

公司功能湿电子化学品客户群体广泛，目前已实现对中芯国际、长江存储、华虹集团、中芯集成、华润上华、比亚迪半导体、芯恩集成、添鸿科技、深圳华星光电、惠科股份、彩虹光电等国内外多家知名集成电路和显示面板行业企业的供应。

2、项目用地情况

本项目拟建设于上海化学工业园区内，上海兴福与上海化学工业区管理委员会、上海化学工业区发展有限公司于 2022 年 12 月 30 日签订《投资意向性协议》，对项目用地相关事项予以约定，初步确定拟供应土地为上海化学工业区 B5-5 地块。

2023 年 3 月 23 日，上海化学工业区管理委员会出具《关于上海兴福电子材料有限公司“4 万吨/年超高纯电子化学品项目”、“电子化学品研发中心建设项目”土地供应情况的说明》：“截至目前，以上项目已完成园区准入评估，拟采用带产业项目招拍挂方式实施供地，供地方案已通过我委主任办公会审议，项目供地审批正常推进中；上述两项目用地性质为工业用地，符合土地政策、《上海化学工业区控制性详细规划》要求。我委将积极协调上级主管部门，推动后续程序顺利推进，届时上海兴福应当通过参与‘招拍挂’出让程序取得相关土地的使用权。

如因客观原因导致项目公司无法取得化工区 B5-5 地块的，我委将积极协调其他地块，以确保项目公司可以取得符合土地政策、城市规划等相关法规要求，且配套设施完善的项目用地，避免对本项目整体进度产生重大不利影响。”

3、项目备案情况

本项目已在上海化学工业区管理委员会完成备案，并已取得《上海市企业投资 项 目 备 案 证 明 》 （ 登 记 备 案 项 目 代 码 ： 上 海 代 码 ：310001MABWQ7YT020221D2204004，国家代码：2211-310000-04-01-783671）。

4、项目环评情况

2023 年 3 月 24 日，上海市生态环境局出具《上海市生态环境局关于上海兴福电子材料有限公司 4 万吨/年超高纯电子化学品项目环境影响报告书的审批意见》（沪环保许评[2023]11 号），同意本项目建设。本项目投产后产生的主要污染物为废气、废水、设备噪音、固体废物等，预计环保投资总额为 3,300 万元。

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