安徽合肥-高端溅射靶材生产基地一期项目可行性研究报告
思瀚产业研究院 欧莱高新    2023-12-04

溅射靶材技术要求高，生产工艺复杂。高性能溅射靶材技术门槛较高，涉及电子光学、工程学、材料学、物理学、化学等多门专业学科，融合了微观结构控制、靶材结构设计、金属粉末制备、高精度成型、机加工、绑定焊接、清洗包装等多个专业技术领域，技术综合性强，复杂程度高，研发难度大，通常需要经过长期的研发积累和技术培育，方可突破高性能溅射靶材研发制备过程中的技术难点，形成具有自主知识产权的核心技术。

高性能溅射靶材生产涉及多个复杂的工艺流程，各生产环节相互影响，每一个生产工序均会影响最终产品品质。高性能溅射靶材的生产加工需要经过变型加工、热处理、晶粒细化、电子束焊接、粉末制备、靶材成型、烧结、机加工、绑定、清洗包装等多道工序，生产过程中必须对各环节工序进行严格的控制，以确保产品品质和性能的稳定性，因此对溅射靶材厂商的生产管理、工艺水平、生产设备、生产环境、人员素质等方面要求较高。

下游应用领域发展持续推动溅射靶材技术突破。从薄膜制备技术和溅射靶材行业的发展历程来看，溅射靶材的技术发展与下游应用领域的技术迭代和市场需求息息相关。

随着平面显示、半导体电路、太阳能电池等下游应用领域的快速发展和技术迭代，下游应用场景不断丰富，对溅射靶材的性能、品质、成本等方面均提出了更加严格的要求，溅射靶材厂商需持续投入研发资源改进生产工艺，严格控制生产工艺流程，并进行专业的分析检测，才能保证不同批次产品品质的稳定性和一致性，持续满足下游客户的产品技术要求。溅射靶材厂商需根据下游应用特点持续进行技术突破和产品创新，开发新配方、新工艺、新膜系，加快新技术产业化进程，才可紧跟下游行业发展趋势。

从薄膜的发展情况和未来趋势来看，膜系的成分、结构和功能正朝向精准化、多元化和协同化发展，膜层的研究正向分子（原子）尺度、界面尺度深入。以膜系功能为导向的研发将成为溅射靶材行业的重要技术方向，根据膜系功能设计要求研究开发配套的溅射靶材，能够更好地实现复杂应用场景下的薄膜设计要求。

1、项目概况

本项目拟通过建设厂房、仓库、办公楼等基础设施，购置溅射靶材生产加工设备、检测设备、办公设备及相关配套设备等，突破公司溅射靶材后段加工工序的产能瓶颈，扩张主营业务产品生产能力。

本项目建成后，公司将优化现有生产布局，充分利用高端溅射靶材生产基地的地理位置优势，为华东地区客户就近提供高质量的溅射靶材和专业配套服务，进一步增强客户粘性，提升与客户交易的便利度和客户满意度，增强公司产品市场竞争力。

本项目实施主体为合肥欧莱，项目实施地点为安徽省合肥市新站区铜陵北路与梅冲湖路交口西南角 20 米处。公司已取得上述地块权属证明《不动产权证书》，编号为“皖（2022）合肥市不动产权第 1244697 号”。

2、项目投资概算和建设进度

本项目投资总额为 20,455.91 万元

3、项目备案程序履行情况

本项目已在合肥新站高新技术产业开发区经贸发展局完成备案，项目代码为2201-340163-04-01-560817。

4、项目环保情况

本项目生产过程中的主要污染物包括废水、废气、固体废物、危险废物和噪声，项目设计严格执行国家现行废水、废气、固体废物、危险废物和噪声等污染排放的规范和标准，并严格按照环境保护行政主管部门的要求进行项目建设环境影响评价。

本项目已取得合肥市生态环境局出具的环建审〔2022〕12031 号环境影响报告表批复文件，本项目符合国家和地方环保要求。

5、项目所需的时间周期和时间进度

本项目建设周期为 2 年。

6、项目可行性及其与公司现有主要业务、核心技术之间的关系

本项目产品为铜靶、铝靶、钼及钼合金靶和 ITO 靶，系在公司现有产能基础上的产能扩充。公司主营业务为高性能溅射靶材的研发、生产和销售，主要产品包括多种尺寸和各类形态的铜靶、铝靶、钼及钼合金靶和 ITO 靶等。

本项目与公司现有主营业务、核心技术高度相关。公司在长期经营过程中结合自身经营特点形成了集基础研究、结构及配方设计、应用技术开发和技术产业化于一体的核心技术体系，核心技术涵盖变型加工、热处理、晶粒细化、电子束焊接、粉末制备、靶材成型、烧结、机加工、绑定、清洗包装等溅射靶材生产的各个关键环节，成熟的核心技术体系和领先的技术研发实力为项目的实施提供了有力的技术支撑。

公司主要产品综合性能突出，纯度、致密度、晶粒度、绑定焊合率等多项核心技术指标已达到行业领先水平，具有较强市场竞争力和客户认可度。公司下游客户类型多样，客户群体广泛，主要包括京东方、华星光电、惠科、超视界、彩虹光电、深超光电和中电熊猫等半导体显示面板行业主流厂商，超声电子、莱宝高科、南玻集团、长信科技和TPK（宸鸿科技）等知名触控屏厂商，AGC（旭硝子）、南玻集团、Pilkington（皮尔金顿）和旗滨集团等建筑玻璃龙头厂商，广泛优质的客户资源将确保本项目顺利实施。