广州开发区-高端半导体质量控制设备产业化项目可行性研究报告
思瀚产业研究院 中科飞测    2023-10-23

受益于中国集成电路行业的快速发展，中国已经成为全球最大的半导体检测与量测设备市场。根据 VLSI Research 的统计，2020 年中国大陆半导体检测与量测设备市场规模为 21.0 亿美元，占全球半导体检测和量测设备市场比例为27.4%。

目前，中国半导体检测与量测设备市场中，设备的国产化率较低，市场主要由几家垄断全球市场的国外企业占据主导地位，其中科磊半导体在中国市场的占比最高，领先于所有国内外检测和量测设备公司。

根据 VLSI Research 的统计，科磊半导体在中国半导体检测和量测市场的市占率最高，为 54.8%，其次依次为应用材料、日立，占比分别为 9.0%和 7.1%。中国半导体检测和量测市场前三大企业合计超过 70%，呈现高度垄断的市场竞争格局。

目前，我国半导体检测与量测设备市场中国产化率较低，根据平安证券研究所数据，2020 年我国半导体量测检测设备国产化率约为 2%。在我国半导体量测检测设备国产化率相对较低的情况下，公司在中国大陆半导体检测和量测设备市场具有相对竞争优势。

公司是国内半导体设备行业领军企业之一，公司的三维形貌量测设备和无图形晶圆缺陷检测设备分别在 2020 年和 2021 年获得中国集成电路创新联盟颁发的“IC 创新奖”技术创新奖，公司产品成功应用于国内 28nm 及以上制程集成电路制造产线，并获评中芯天津 2020 年“最佳供应商”称号。

公司自主研发的无图形晶圆缺陷检测设备系列、图形晶圆缺陷检测设备系列、三维形貌量测设备系列和薄膜膜厚量测设备系列等已取得技术突破，在国内主要集成电路制造厂商取得批量订单，打破了国外厂商的垄断，国产化进程的加快将进一步助力公司持续快速发展。

综上所述，中国半导体检测和量测设备市场处于寡头垄断格局，国外竞争对手占据市场竞争优势地位，本土企业市场占有率较低。公司凭借多年的技术积累，产品不断获得市场认可，业务规模持续扩大，在本土企业中市场占有率相对较高，具有相对竞争优势。

1、项目概况

本项目拟在广州市黄埔区进行高端半导体质量控制设备产业化项目的建设，通过新建现代化的洁净生产车间，购置先进的软硬件设备，引入行业专业人才，建设高端半导体质量控制设备产业化基地。

本项目的实施，将大幅扩大公司检测和量测设备的产能，充分满足下游客户市场需求，同时逐步实现新产品的产业化生产，以满足下游客户对新产品的需求，从而提高公司产品的国内市场占有率，促进公司主营业务的持续增长。

高端半导体质量控制设备的产业化将有效扩大公司产能，进一步提升公司整体技术研发效率和新产品产业化能力，稳定快速的满足市场需求，从而抓住国内半导体产业高速发展的市场机遇。

2、项目实施的可行性

（1）广阔的市场前景为本项目的实施提供基础保障

随着全球半导体产业不断向中国大陆转移，我国半导体产业保持快速发展势头。半导体设备市场与半导体产业景气状况紧密相关。我国是全球最主要的半导体设备市场之一，根据SEMI的统计，2017-2020年，全球新投产的62座晶圆厂中有26座来自中国大陆。

国内半导体产业规模的不断扩大产生了大量设备投资需求，为国内设备厂商带来巨大发展机遇。我国半导体行业的持续快速发展为本项目的实施提供了良好的市场基础。与此同时，伴随着自主可控和国产化战略的实施，国家产业政策大力支持国产高端装备的发展，为本项目高端半导体质量控制设备的国产化提供了广阔的市场空间。

（2）优质的客户资源和良好的售后服务为本项目的实施提供重要保证

公司一直以客户需求为中心，不断满足集成电路前道制程、先进封装等企业对质量控制设备的高技术水平和高性能的需求，持续研发、升级基于光学检测技术的检测和量测设备。

凭借较强的技术创新能力、优异的产品品质以及出色的售后服务，公司积累了优质的客户资源和良好的品牌知名度，并与客户建立了良好合作关系，从而保证公司订单随着客户的发展而持续、稳定的增长。同时，凭借公司在行业内积累的良好口碑，公司将进一步开拓下游客户，可进一步保证对募投项目新增产能的消化能力。

3、资金的运用和管理安排

土地投资 2,310.00万元；建筑投资 18,000.00万元；设备投资 933.84万元；预备费 947.00万元；铺底流动资金 8,705.00万元；总投资金额 30,895.84万元。

4、项目备案与环保情况

本项目建设内容已于2021年4月在广州开发区行政审批局完成了项目备案，项目代码为：2104-440112-04-01-871809。

本项目为高端半导体质量控制设备产业化项目，项目将通过新建现代化的洁净生产车间，购置先进的软硬件设备，引入行业专业人才，建设高端半导体质量控制设备产业化基地。

本项目生产环节内容仅限于机器设备与模块等的组装与调试工作，属于《建设项目环境影响评价分类管理名录（2021年版）》第70项之“电子和电工机械专用设备制造356”和《广州市豁免环境影响评价手续办理的建设项目名录（2020年版）》第十四项之“19、专用设备制造及维修”。

根据《建设项目环境影响评价分类管理名录（2021年版）》和《广州市豁免环境影响评价手续办理的建设项目名录（2020年版）》相关规定，本项目建设内容不涉及建设项目环境影响评价管理，无需取得环评批复或备案文件。

本项目建成后主要用于半导体质量控制设备的生产，公司生产环节主要工序为设备和模块的组装、调试和检测等，不属于重污染行业。公司生产经营过程仅产生少量固废和生活污水，项目实施过程中公司将采取相应措施减少污染，按规定处理污染物，尽可能减少对环境造成的影响。

5、项目涉及新取得土地或房产的情况

本项目建设用地为新增土地，广州中科飞测已与广州市规划和自然资源局签订《国有建设用地使用权出让合同》（穗国地出合440116-2021-000022号），土地用途为工业用地，公司已取得编号为粤（2022）广州市不动产权第06073972号的土地不动产权证。

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