沈阳市浑南新区高端半导体设备扩产及研发中心建设项目可行性研究报告
思瀚产业研究院 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司    2025-07-02

本项目拟建设高端半导体设备生产、研发及配套设施，引入自动化生产设备和先进的研发测试仪器，旨在提高公司在高端半导体设备领域的技术水平和生产能力，更好地服务于半导体设备国产化进程。本项目包括高端半导体设备扩产项目和研发中心建设两个子项目。

高端半导体设备扩产项目所生产的 H 系列干式真空泵是集成电路设备中的重要配套设备之一，广泛用于刻蚀、PVD、CVD 等集成电路制造部分工艺中，也可应用于包括太阳能光伏行业在内的泛半导体领域。

同时，本项目也将扩产少量涡旋泵，主要用于科研、工业、医药等领域。研发中心建设项目将在公司现有真空泵与分子束外延（MBE）设备的研发基础上，研发包括集成泵组系统及产能可达 7 片 6 英寸的 FW-VI-140C 型大尺寸分子束外延设备。

2、项目确定依据

（1）本项目有利于巩固核心产品优势，响应广阔存量更新需求

作为公司技术成熟、工艺适用性优异的主流核心产品，公司 H 系列干式真空泵经过市场长期验证，凭借突出的技术优势、稳定可靠的性能广泛应用于集成电路、光伏、锂电等半导体与泛半导体领域，大批量导入长江存储、长鑫存储、隆基绿能等国内知名半导体设备厂商与光伏厂商，并得到了客户的一致认可，随着相关产业的持续高速发展及早期投入设备的自然折旧，市场对高性能、高可靠性真空泵的替换与升级需求呈现出持续增长的趋势。

因此，本次高端半导体扩产项目有利于巩固公司核心产品优势，把握干式真空泵存量更新替换市场机遇，进一步扩大公司业务规模及市场地位。

（2）本项目有利于优化区域产能布局，强化供应链韧性

相较于公司在南通的干式真空泵产业化建设项目，本项目实施地点位于沈阳本部，这将能够更有效地整合北方地区的优势供应链资源，显著缩短关键原材料与零部件的采购距离与运输周期，降低综合物流成本与供应链风险。在保障供应链安全稳定和响应速度的同时，公司能充分发挥地域同带来的成本集约效应，提升整体运营效率和经济性。

因此，本项目是基于供应链优化考量下的产能布局调整，是公司强化供应链韧性、实现规模效益最大化的关键部署。

（3）本项目有利于增强公司研发实力，进一步丰富公司现有产品结构

公司作为中国领先的半导体设备核心部件提供商和真空技术领域的领军企业，需要持续的研发创新，以不断在洁净真空、超高真空领域突破技术垄断。通过建设研发中心，公司将整合现有的研发资源，研发集成泵组系统与大尺寸分子束外延设备，突破相关技术垄断。本次建设研发中心将增强公司研发实力，进一步丰富公司现有产品结构，拓宽产品下游应用领域。

3、项目可行性分析

（1）公司深厚的技术积累及产品基础为项目的顺利实施提供了保障

公司研发实力雄厚，长期专注于真空技术领域的技术创新和自主研发，多次承担真空技术领域的国家重大专项。公司多次获得国家科技进步奖，省部级科技进步奖，多项产品填补国内空白。公司的干式真空泵产品获国家重大专项支持，具有自主知识产权，实现了集成电路领域重要设备的自主可控，增强了集成电路产业供应链的自主可控能力，目前已在中芯国际、长江存储、北方华创等集成电路芯片制造企业及装备制造企业批量应用。

（2）公司在分子束外延设备领域拥有深厚的研发基础

公司前身 1979 年研发出国内第一台分子束外延设备并填补国内空白，此后公司不断创新，成功开发了更多类型的分子束外延设备，在科研用 MBE 设备研制领域居于国内领先地位。本项目将基于公司此前 FW-VI-60、FW-VI-110C 型分子束外延设备的研发经验，研发 FW-VI-140C 型大尺寸超高真空分子束外延设备，一方面对内部构造与核心零部件全面创新，另一方面采用机械手传输等手段提升设备的自动化水平，扩大设备尺寸、增大生长面积，进而提高产能水平、拓展设备的应用领域。

4、项目投资概算

本项目总投资 47,388.27 万元，包括高端半导体设备扩产项目和研发中心建设项目两个子项目。投资概算情况如下：

（1）高端半导体设备扩产项目总投资27,103.06万元。

（2）研发中心建设项目总投资20,285.21万元。

5、项目实施进度安排

（1）高端半导体设备扩产项目预计建设周期为 2 年

（2）研发中心建设项目预计建设周期为3年，

6、项目用地、备案、环评情况

高端半导体设备扩产及研发中心建设项目实施主体为中科仪，用地坐落于辽宁省沈阳市浑南新区新源街 1 号，为公司现有土地，公司已取得《不动产权证书》（东陵国用（2013）第（0936）号）。

本项目已取得沈阳市浑南区行政审批局出具的《关于<高端半导体设备扩产及研发中心建设项目>项目备案证明》（项目代码：2401-210112-04-01-301050）；以及沈阳市浑南生态环境分局出具的《关于申请办理“中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司高端半导体设备扩产及研发中心建设项目”环境影响评价相关事宜的复函》，公司“高端半导体设备扩产及研发中心建设项目”无需进行环评审批。

7、项目符合国家产业政策和法律、行政法规的说明

公司本次投资项目符合国家产业政策、环境保护以及其他法律、法规和规章的规定。

此为摘取部分，完整版根据发改投资规【2023】304号国家发改委关于印发投资项目可行性研究报告编写大纲要求，可定制化编制政府立项审批备案、国资委备案、银行贷款、产业基金融资、内部董事会投资决策等用途可研报告。

目录

第一章 概述

1.1 项目概况

1.1.1 项目名称

1.1.2 项目建设性质

1.1.3 项目拟建地址

1.1.4 项目建设内容及规模

1.1.5 项目建设工期

1.1.6 项目投资估算及资金筹措

1.1.7 项目生产规模

1.2 企业概况

1.3 编制依据及研究范围

1.3.1 编制依据

1.3.2 研究范围

1.3.3 编制原则

1.4 主要结论和建议

1.4.1 主要结论

1.4.2 建议

第二章 项目建设背景、需求分析及产出方案

2.1 项目背景

2.2 项目建设的必要性

2.2.1 有利于优化区域产业结构，产业发展完善

2.2.2 项目建设是公司规模扩展，全球发展战略的重要组成部分

2.2.3 增加产能，提高公司盈利水平

2.2.4 有利于提高公司的行业竞争力及盈利能力

2.2.5 提升生产信息化和自动化水平，为业务发展和高效管理赋能

2.3 项目建设的可行性

2.3.1 国家政策推动行业的发展

2.3.2 公司拥有优质的客户资源及良好品牌认可度

2.3.3 行业经验丰富，技术协同优势显著

2.3.4 优秀的人才队伍和管理体制为本项目的顺利实施提供了基础保证

2.4 市场需求分析

2.4.1 市场需求分析：通过量化目标市场的消费需求，预测产品的潜在销售量及增长趋势

2.4.2 市场供给分析：评估现有及潜在竞争者提供的同类产品数量，识别供给缺口或过剩

2.4.3 市场竞争分析：研究行业竞争格局，包括市场份额分布、主要竞争对手策略及进入壁垒

2.4.4 项目产品分析：结合产品特性（如价格、质量、功能）与市场需求匹配度，判断其竞争力

2.4.5 市场综合分析：整合供需、竞争及产品数据，形成对项目整体可行性的判断

2.5 项目建设内容、规模和产出方案

2.5.1 项目建设内容及规模

2.5.2 项目产出方案

2.6 项目商业模式

2.7 项目对我国国家利益和国家安全的影响分析

第三章 项目选址与要素保障

3.1 项目选址方案

3.1.1 项目选址的原则

3.1.2 项目选址需求

3.1.2 选址方案的初步拟定

3.2 项目建设条件分析

3.2.1 概况

3.2.2 政治

3.2.3 经济

3.2.4 项目投资地营商的主要优势

3.2.5 投资激励

3.2.6 经贸情况

3.2.6 法律法规

第四章 项目建设方案

4.1 技术方案

4.1.1 原料路线确定原则

4.1.2 生产工艺技术路线确定原则

4.1.3 技术先进性

4.1.4 生产工艺流程

4.1.5 主要原辅材料耗量

4.2 设备方案

4.3 工程方案

4.3.1 给排水工程

4.3.2 变配电工程

4.3.3 消防工程

4.3.4 火灾报警及消防控制系统

4.3.5 通信工程

4.3.6 室外管网等配套工程

4.4 数字化方案

4.4.1 工业化生产可靠性分析

4.4.2 技术管理及特点

4.4.3 建筑智能化

4.5 建设管理方案

4.5.1 项目建设期管理

4.5.2 公司注册及审批流程

4.5.3 项目审批流程

4.5.4 项目申报

4.5.5 项目实施进度计划

第五章 项目运营方案

5.1 生产经营方案

5.1.1 采购模式

5.1.2 生产模式

5.1.3 销售模式

5.1.4 研发模式

5.1.5 影响公司经营模式的关键因素

5.1.5 燃料动力供应保障

5.2 安全保障方案

5.2.1 危害因素和危害程度分析

5.2.2 安全措施方案

5.2.3 消防设施

5.3 运营管理方案

5.3.1 人力资源配置

5.3.2 人员培训

5.3.3 员工退场

第六章 项目投融资与财务方案

6.1 投资估算

6.1.1 投资估算范围

6.1.2 项目投资估算

6.1.3 资金使用和管理

6.2 盈利能力分析

6.2.1 基础数据与参数选取

6.2.2 编制依据

6.2.3 收入测算

6.2.4 成本核算

6.2.5 利润核算

6.2.6 财务评价分析

6.3 财务可持续性分析

6.3.1 不确定性分析

6.3.2 偿债能力分析

6.3.3 评价结论

第七章 项目影响效果分析

7.1 经济影响分析

7.2 社会影响分析

7.3 生态环境影响分析

7.3.1 施工期环境影响分析

7.3.2 营运期环境影响及环保措施

7.3.3 环境保护的建议

7.3.4 环境影响评价结论

7.4 资源和能源利用效果分析

7.4.1 项目能耗情况

7.4.2 节能措施及效果分析

7.4.3 管理节能措施

7.4.4 资源和能源利用效果分析结论

第八章 项目风险管控方案

8.1 工期风险

8.2 质量风险

8.3 市场竞争加剧的风险

8.4 市场波动风险

8.5 政策风险

8.6 政治风险

第九章 思瀚产业研究院结论与建议

9.1 主要研究结论

9.2 建议

附件：财务分析过程