总部生产及半导体硅NPS晶体单晶炉研发中心建设项目可行性研究报告
思瀚产业研究院 南京晶升    2023-03-24

公司是一家半导体专用设备供应商，主要从事晶体生长设备的研发、生产和销售。自成立以来，公司基于高温高真空晶体生长设备的技术同源性，结合“晶体生长设备—工艺技术—晶体材料”产业链上下游技术协同优化的能力，致力于新产品、新技术及新工艺的研究与开发，并聚焦于半导体领域，向半导体材料厂商及其他材料客户提供半导体级单晶硅炉、碳化硅单晶炉和蓝宝石单晶炉等定制 化的晶体生长设备。

凭借领先的设备控制、设计技术和长晶工艺积累，公司推出了自主研发的 12 英寸半导体级单晶硅炉并实现量产销售。

自 2015 年以来，公司与国内规模最 大的半导体硅片制造企业之一——沪硅产业保持稳定的合作关系。沪硅产业子公 司上海新昇为国内率先实现 300mm（12 英寸）半导体硅片规模化生产及国产化 的半导体级硅片厂商。2018 年度，公司向其提供的 12 英寸半导体级单晶硅炉经 上海新昇的验收通过，实现了 12 英寸半导体级单晶硅炉的国产化，降低了对国 外设备的依赖，助力我国半导体级晶体生长设备技术“自主可控”的进程。

随着 以碳化硅为代表的第三代半导体材料兴起，公司积极布局相关业务，凭借多年的研发与积累，成功开发碳化硅单晶炉产品，并于 2019 年实现量产销售。

公司凭借多应用领域产品技术开发经验，已在晶体生长设备领域形成丰富产品序列，可满足客户差异化、定制化的晶体生长制造工艺需求，逐步发展成为国内具有较强竞争力的半导体级晶体生长设备供应商。

依靠优质的产品及服务质 量，公司得到了众多主流半导体厂商的认可，陆续开拓了上海新昇、金瑞泓、神 工股份、三安光电、东尼电子、合晶科技及客户 A 等客户，已取得良好的市场 口碑，确立了公司在半导体级晶体生长设备领域的市场地位。

1、项目概况

近年来，我国半导体产业整体发展趋势向好，为满足下游客户及终端市场对公司技术及产能不断提出的更高要求，结合自身的未来发展规划，公司拟建设集经营办公和新产品技术研发于一体的综合性总部大楼与厂房，以研发活动为基础，配备相应的测试及组装环境。

项目拟建设于江苏省南京市南京经济技术开发区龙北大道，预计占地面积 2.67 公顷，其中办公和研发用地面积各为 0.4 公顷。公司拟购置氦气检漏仪、XRD 检测仪、辅助加工生产线、轮廓仪、三坐标测量仪、氧化炉等，用于新产品和技术研发、测试及相应生产。本项目计划涵盖的主要研发内容如下：

（1）半导体硅 NPS 晶体单晶炉研发

公司将针对 14-28nm 工艺存储用抛光片单晶炉进行研发，开发适合 NPS 单晶生长的热场及工艺，升级控制硬件及策略，提高 NPS 晶体产出良率。

（2）6-8 英寸碳化硅单晶炉研发

动碳化硅单晶炉向 6-8 英寸拓展，在现有感应加热 PVT 碳化硅单晶炉的基础上，深入挖掘各项设备性能参数，从设计、制造、安装、调试、维护等方面着手，提高操作便利性、减小机差，提高工艺可复制性，使设备能够稳定产出适合于 MOSFET 用的大尺寸碳化硅晶锭。

（3）温度梯度可控单晶炉加热及控制系统

开发其他类型的长晶方式，满足不同层次产品需求。针对当前 PVT 法温度梯度可控性差的问题，进一步开发包括电阻式加热、液相法等其他碳化硅长晶技术，实现更优的可控的单晶炉加热。

本项目计划于 2022 年开始建设，2025 年年初投产，项目达产后可实现各类晶体生长设备年产量 400 余台，将成为研发及生产能力全国领先的晶体生长设备基地，紧跟国内外前沿技术，提高研发能力的同时实现产能扩充。

2、项目投资概算

本项目计划总投资 27,365.39 万元，其中工程费用合计 17,712.39 万元，工程建设其他费用合计 3,653.00 万元，预备费 1,500.00 万元，铺底流动资金 4,500.00万元

3、项目实施进度安排

本项目的建设期主要包含以下五个阶段：土地购置、厂房建设与装修、设备安装调试、人员招聘与培训和试运转，预计于 36 个月后完成该募集资金投资项目的建设，开始投产。

4、项目审批情况

2021 年 12 月 13 日，南京经济技术开发区管理委员会行政审批局出具了《江苏省投资项目备案证》（宁开委行审备[2021]294 号），同意“总部生产及研发中心建设项目”备案。

5、环境保护

本项目环境影响登记表已于 2022 年 3 月 1 日完成备案，项目备案证号为宁开委行审许可字[2022]37 号。

本项目建成后主要进行晶体生长设备的组装、测试和研发，测试及研发过程会产生少量废气、废水和固体废弃物，经公司处理后对环境不产生任何污染，属于环保、绿色、无害化产业。项目实施过程中公司将采取严格的污染物防治和处理措施，使运行产生的各种污染物及动力设备运行产生的噪声均可得到有效治理，主要污染物均可达到标准排放，满足国家环保部门下达的总量控制指标要求。

6、项目涉及新取得土地或房产情况

本项目的建设用地为新增土地，位于江苏省南京市南京经济技术开发区龙北大道，预计占地面积 2.67 公顷。2021 年 9 月 13 日，公司与南京经济技术开发区管理委员会签署了《晶升装备研发及生产总部基地项目投资协议书》（[2021]23号）。

2021 年 12 月 14 日，南京市工业和信息化局出具了《关于南京经开区南京晶升装备和南京中科煜宸等项目申请 50 年土地出让年限的意见》（宁工信产业用地函[2021]13 号），该意见认为发行人该募投项目基本符合重大项目的土地出让年限认定条件。

截至可研报告公布日，公司该用地的招拍挂程序已履行完毕，目前已完成用地的交割程序并开始实施厂房建设。

此报告为正式可研报告摘取部分，个性化定制请咨询思瀚产业研究院。