湿电子化学品是芯片制造行业不可替代的关键电子材料之一,以往湿电子化学品生产制备核心技术大多由少数欧美企业掌控,是制约我国芯片用湿电子化学品产业发展的主要“卡脖子”技术之一。
经过多年的研发投入和技术积累,公司自主研发了多项应用于集成电路制造的电子级磷酸、电子级硫酸、高选择性蚀刻液等湿电子化学品生产制备核心技术,尤其在电子级磷酸及高选择性蚀刻液领域,公司率先制备出了满足超高纯电子级磷酸要求的高纯黄磷,首次实现了超高纯电子级磷酸的国产化制备;同时,公司还创新了蚀刻液蚀刻速率调控技术和选择比控制技术等,实现了高选择性磷酸系蚀刻液、高选择性金属钨去除液的自主化制备。
2019 年 12 月,公司作为主要参与和技术实施单位,公司董事长、核心技术人员李少平作为项目第一完成人研发、推进的“芯片用超高纯电子级磷酸及高选择性蚀刻液生产关键技术”项目荣获国务院颁发的 2019 年度“国家科学技术进步二等奖”。2022 年 11 月,经中国电子材料行业协会组织专家组鉴定,公司主要产品电子级磷酸、电子级硫酸相关成果整体技术达到国际先进水平。
2023 年 3 月,公司承担的极大规模集成电路制造装备及成套工艺国家重大科技专项(以下简称“02专项”)之子课题“高选择性金属钨去除液”获得科技部重大专项管理中心验收通过,自主研发的高选择性金属钨蚀刻液产品满足了国产先进存储芯片专用功能型化学品的需求。
1、项目基本情况
本项目拟在上海建设研发中心并购置研发设备。项目规划总投资 30,971.23 万元,拟使用募集资金 30,971.23 万元,实施主体为公司全资子公司上海兴福,拟建设地点为上海化学工业园区,建设期 24 个月。项目建成后,将会进一步提升公司的研发能力。
2、项目用地情况
本项目拟建设于上海化学工业园区内,2022 年 12 月 30 日,上海兴福与上海化学工业区管理委员会、上海化学工业区发展有限公司签订了《投资意向性协议》,对项目用地相关事项予以约定。
截至本报告首次发布日,上海兴福正在推进土地购置相关事宜,并将依据相关法律法规全力配合政府主管部门完成取得募投用地所需程序。
3、项目实施的必要性
(1)顺应国家集成电路产业发展趋势,加快公司战略布局,大力开展公司湿电子化学品上海生产基地建设,提高公司生产能力及客户服务能力
近年来,国家各部委颁布一系列政策支持半导体行业发展,“十四五”规划明确将培育集成电路产业体系、大力推进先进半导体等新兴前沿领域创新和产业化作为发展重点。相关政策颁布以来,我国半导体行业持续保持较高的发展增速,同时,随着新能源汽车、人工智能、物联网等行业的快速发展,芯片需求呈现高速增长趋势,集成电路制造企业对上游电子化学品的需求也随之增加。
目前公司生产基地位于宜昌,研发中心将建设与上海,布局相对单一,与国内长三角,京津冀,珠三角等集成电路产业聚集区距离相对较远,不利于快速响应客户需求,为客户提供更高效的综合服务。
因此,公司制定了“立足湖北,布局全国”的战略规划,其中,第一步就是在长三角布局研发和生产基地,吸引高端人才,新建电子级硫酸、功能湿电子化学品产能,覆盖华东地区客户日益增长的产品需求,充分拉进与客户的物理距离,有利于及时与客户沟通交流产品需求,集中力量加快研发进度,提高研发效率;同时,对客户需求的快速反应能够增强客户的信赖感,促进客户问题解决与自身技术提高的良性循环,有利于提高客户粘性。
(2)巩固优势产品市场地位,保障主要产品供应链安全
兴福电子凭借十多年在电子级磷酸制造领域的不断深耕,成功实现了超高纯电子级磷酸的国产化制备,形成了我国芯片用超高纯电子级磷酸制备的完全自主知识产权,成长为国内湿电子化学品行业中为数不多能供应芯片级别超高纯电子级磷酸产品的生产企业,产能规模及市场占有率均位居行业国内企业前列,基本实现了国内主流集成电路厂家的全覆盖。2022 年 11 月,中国电子材料行业协会组织专家组对公司电子级磷酸相关产品进行了技术鉴定,专家组认为公司电子级磷酸相关技术达到国际先进水平。
兴福电子目前仅有一条电子级磷酸生产线,该产线始建于 2009 年,该产线设计之初考虑到当时电子级磷酸市场需求较小,技术相对现在也不成熟,为兼顾经济效益及技术能力,设计了部分食品级磷酸的联产产能,经过多年的发展及改进,电子级磷酸的产能占比虽大幅提高,但受原有装置本身的限制,仍无法达到最佳效果。
随着国内集成电路、显示面板等行业的蓬勃发展,湿电子化学品国产替代进程不断加速,促使市场对电子级磷酸产品的需求日益增加,公司现有产能已经无法完全满足高速增长的电子级磷酸的市场需求;另外,由于公司电子级磷酸国内市场占有率较高,目前以一条产线保障国内电子级磷酸供应链的安全存在不确定性,兴福电子不得不提前储备库存,以防由于产线检修、设备故障而降低下游供应量,影响下游客户的正常生产运营。
(3)进一步丰富公司产品结构,提升公司抗风险能力
公司长期致力于湿电子化学品的研发、生产及销售,主要产品包括电子级磷酸、电子级硫酸等通用湿电子化学品,以及蚀刻液、清洗剂、显影液、剥膜液、再生剂等功能湿电子化学品。根据中国电子材料行业协会出具的文件,2019 年至2021 年公司电子级磷酸产品在国内半导体领域市场占有率连续三年全国第一,在长期经营过程中公司凭借先进的技术优势、优异的产品性能及价格优势积累了大量优质客户群体。
根据公司业务发展规划,公司结合产业链下游客户对电子化学品的需求,在原有产品种类基础上计划横向拓展电子级氨气、氨水及新类别的功能湿电子化学品等新产品,不断丰富自身产品结构,完善供应链的布局,丰富的产品结构有利于企业长期稳定发展,从现有产品向产业链横向延伸可大幅降低企业经营风险。
(4)加快上海研发中心建设,进一步提升公司研发能力
公司所在的电子化学材料领域属于技术密集型产业,其产品的创新和工艺的提升均离不开具有扎实理论知识、深厚产业背景和丰富实践经验的高端技术人才的储备,而上海比目前公司研发中心所在地宜昌对于吸引高端人才有明显优势;另外,长三角地区集成电路企业非常集中,是先进技术的聚集地,是集成电路产业新需求的前沿,在上海建设研发中心更有利于获得行业最新的需求信息,及时响应并就地开展研发活动,将最新研发成果与实际需求及时对接,以实现兴福电子自身及产业的技术进步。
在此背景下,通过本次资金在上海建设研发中心,依托其区位优势,公司可以吸引更多具有电子化学品产业链背景的高精尖复合型技术人才的加入,进一步增强公司自主研发创新实力,提升研发团队服务公司业务发展和客户需求的综合能力,为公司未来产品持续创新和业务快速发展提供人才保障。
4、项目实施的可行性
(1)项目建设符合国家产业政策及行业发展需求
湿电子化学品是保证我国电子信息产品稳定发展的重要组成部分,作为国家重点发展的战略性产业,近年来国家颁布了众多鼓励性政策支持湿电子化学产业发展。湿电子化学品属于《产业结构调整指导目录(2019 年)》“鼓励类”范畴,《战略性新兴产业分类(2018)》将“通用湿电子化学品(单剂)的生产制造”和“功能湿电子化学品(混剂)”列为战略新兴产业。湖北省及宜昌市“十四五规划”中均将“电子化工材料”、“电子级磷酸”作为区域内重点发展的产业之一。
《上海市国民经济和社会发展第十四个五年规划和 2035 年远景目标纲要》中提出“推动新材料产业集约化、高端化和绿色化发展。优化石化产业链空间布局,支持向精细化、高端化延伸,发展先进高分子材料、专用化学品等,扩大高端产品结构占比。”一系列国家和地方政策推动,为项目的顺利实施提供了政策保障。
(2)需求的快速增长以及公司丰富的客户资源为项目实施提供了市场保障
在 5G 通讯、智能终端、汽车电子等新兴领域的带动下,全球集成电路、显示面板等产业持续保持稳健发展,相关配套行业也迎来持续增长。根据中国电子材料行业协会数据,2021 年全球湿电子化学品整体市场规模约 592.57 亿元,在集成电路、显示面板、太阳能光伏三个应用市场使用的湿电子化学品总量达到 458.3 万吨,其中集成电路领域用量为 209 万吨、显示面板领域用量为 167.2 万吨、太阳能光伏领域用量为 82.12 万吨。
预计到 2025 年,全球湿电子化学品整体市场规模将达到 784.50 亿元;集成电路领域需求量将增长至 313 万吨,显示面板领域需求量将增长至 244 万吨,太阳能光伏领域需求量将增长至 140.22 万吨,三大应用领域湿电子化学品需求总量将达到 697.22 万吨。
同时,公司拥有多年湿电子化学品研发和制造经验,一直紧跟半导体集成电路、显示面板等下游行业发展动态,与下游相关企业建立了良好的沟通和战略合作,积累了丰富的行业客户开发经验。
截至目前,公司湿电子化学品已获得了台积电、SK Hynix 、中芯国际、长江存储、华虹集团、长鑫存储、中芯集成、Globalfoundries、联华电子、德州仪器(成都)、三安集成、粤芯半导体、华润上华、武汉新芯、晶合集成、比亚迪半导体、芯恩集成、重庆万国、燕东微、Entegris、CMC Materials、添鸿科技、Silterra 等国内外多家知名集成电路行业企业的认可,实现批量供应。快速增长的行业需求以及公司丰富的客户资源为本次募集资金投资项目的顺利实施提供了市场保障。
(3)公司在湿电子化学品方面的研发积累有助于相关项目的顺利实施
公司自成立之初,就专注于湿电子化学品及相关配套产品的研发,陆续自主建设了电子级磷酸、硫酸和功能湿电子化学品生产线,并成功运行至今。
公司经过多年在湿电子化学品领域的生产经营、研发投入和技术积累,自主开发了多项应用于芯片制造的电子级磷酸、电子级硫酸、高选择性蚀刻液等湿电子化学品的专有技术并在产品生产中得到了运用。公司丰富的产品研发经验和高效的产业化能力,也为本次募投项目新增湿电子化学品产品种类和提升产能提供了人才和技术保障。
5、项目备案情况
本项目已在上海化学工业区管理委员会完成备案,并已取得《上海市企业投资 项 目 备 案 证 明 》 ( 登 记 备 案 项 目 代 码 : 上 海 代 码 :310001MABWQ7YT020221D2204005,国家代码:2211-310000-04-01-960156)。
6、项目环评情况
2023 年 3 月 24 日,上海市生态环境局出具《上海市生态环境局关于上海兴福电子材料有限公司电子化学品研发中心建设项目环境影响报告书的审批意见》(沪环保许评[2023]12 号),同意本项目建设。
本项目投产后产生的主要污染物为废气、废水、设备噪音、固体废物等,预计环保投资总额为 560 万元。
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