无锡市新吴区-薄膜沉积设备研发实验室扩建项目可行性研究报告
思瀚产业研究院 微导纳米    2024-05-30

1、项目基本情况

本项目拟由公司实施，实施地址位于江苏省无锡市新吴区内，项目总投资额为43,000.00万元。项目拟计划建设先进的研发洁净间，购置先进量测设备，优化公司研发测试环境，提升公司研发能力及科技成果转化能力。

2、项目实施的必要性

（1）提升测试能力，满足客户需求

在薄膜沉积设备的研发制造过程中，量测环节发挥着关键作用，其不仅能够提供精确的数据支持，确保设备的准确性和可靠性，还直接关系到客户的实际需求与满意度。随着半导体技术、纳米科技以及微电子行业的持续演进与革新，市场对薄膜沉积设备质量要求日益提高，客户对设备的性能参数、运行过程中的稳定性和可靠性等方面也提出更为严格的标准。

为应对这一挑战，公司亟需全面提升量测水平和检测效率，以确保产品能够满足市场的高标准要求。

通过本项目的建设，公司将新增各类精密量测仪器，引进相关技术人才，扩建百级净化车间，从而实现对薄膜性能的多方位检测，更好地满足客户需求。同时，实验室的建设还将有助于确保产品品质稳定，从而提高产品在市场中的竞争力，为公司业务的持续、健康发展注入新动力。

（2）优化测试环境，加快科技成果转化效率

薄膜沉积设备属于技术密集型产业，对企业研发实力与研发团队的专业素养有着极高要求。目前，公司内部研发人员均具备扎实的技术基础，核心研发团队资历深厚且拥有丰富的研发经验及精湛的技术能力。然而，随着公司业务规模的持续增长以及相关研发项目的不断开展，公司现有研发量测设备及人员配置已不足以支撑日益增长的研发需要，因此，公司亟需进行本项目的建设。

本项目将配置行业前沿的量测设备，并招募相关人员，以搭建起专业化的量测实验室和完善的测试体系，匹配公司研发增长所带来的检测试验需求。项目实施后，一方面将有效优化公司测试环境，吸引更多优秀人才加入；另一方面，通过对市场潜力较大的技术开发成果进行研究与测试，可以有效推动新的技术需求与公司业务的深度融合，进而形成可批量化生产的高质量产品，显著提升科技成果的转化效率，最终实现公司薄膜沉积设备的持续优化与升级。

（3）符合公司发展目标，保持市场竞争优势

公司深耕薄膜沉积设备制造领域多年，致力于先进微米级、纳米级薄膜设备的研发、生产与应用，将“成为世界级的微纳技术解决方案装备制造商”视为公司未来发展愿景。目前，公司已形成较为完善的产品研发、生产制造、营销服务和质量管理体系，凭借丰富的技术储备已构建起多元化的产品结构。

未来，公司将持续围绕市场需求，深化自主创新，加快核心技术攻关，进一步拓展薄膜沉积技术的应用领域，从而在全球微纳制造装备领域中占据有利地位。

公司计划新建量测设备实验室，旨在通过精密测量、技术验证、质量控制、市场应用及人才培养等关键工作，确保产品质量稳定可靠的同时持续推动技术创新和产品研发，从而在不断推陈出新的市场环境中保持竞争优势，为实现世界级微纳技术解决方案装备制造商的目标提供技术支撑。

3、项目实施的可行性

（1）深厚的研发测试经验为项目实施提供有力支撑

公司高度重视研发测试工作，持续在研发测试方面进行投入，经过多年的持续发展，已积累起深厚的研发测试经验。从产品设计、原型制作到性能测试、可靠性评估的每一环节，公司均实行严格把控，以确保产品的高质量和高可靠性。目前，公司部分产品经过测试验证后，已实现产业化销售。

在光伏领域，KF、ZR、XH、HY 等系列高端光伏设备的研发过程中，需经历严格且细致的测试流程，通过模拟实际生产环境，对产品进行长时间、高强度的性能验证，确保产品在实际应用中能够稳定、高效运行。

在半导体领域，公司核心产品 High-k 栅氧层 ALD 设备更是经历了从材料选择、工艺优化到设备集成、性能测试等多个环节的严格把控。通过与国内主流半导体厂商及验证平台的紧密合作，公司不仅获得了宝贵的产品技术验证经验，还成功打破了国外厂家的技术垄断，实现了“卡脖子”技术的突破。

在其他应用领域，公司通过不断的试制、试验和改进，成功自主开发出 FG 系列卷对卷设备。该设备实现了在大幅宽材料表面沉积阻隔层的功能，并保证了较低的水汽渗透率和良好的阻水阻氧能力。综上，公司深厚的研发测试经验可以为本项目的顺利实施提供有力支撑。

（2）丰富的技术和人才储备为项目实施奠定基础

公司深耕薄膜沉积设备制造领域多年，始终坚持以客户需求为导向，高度重视技术创新，已在微、纳米级薄膜沉积核心技术领域积累起丰富的技术储备。

凭借核心技术的研发和应用，公司产品在设备性能和关键工艺参数等方面展现出显著的优势，赢得了下游客户的广泛认可。

此外，公司汇聚了一批电气、工艺、机械、软件等多个专业经验丰富的工程师，形成了跨专业、多层次的人才梯队。公司的研发技术团队结构完善，分工明确，专业知识储备深厚，产线验证经验丰富，不断助力下游应用领域关键产品和技术的攻关与突破。

公司核心经营人员和技术人员稳定，随着人才培养计划的持续推进，将进一步增强公司研发团队的创新能力，提升员工的综合素质及业务水平。综上，公司丰富的技术和人才储备为本项目的顺利实施提供了较为坚实的基础。

（3）完善的研发管理体系为项目实施提供制度保障

公司构建了以研发部门为核心，销售、生产、质量、项目及工程等部门紧密配合的跨部门研发体系，形成了一套成熟且完善的产品研发流程。从需求提出开始，经过立项规划、开发实现、产业验证，直至产业化应用，每一步都遵循明确的实施标准，确保研发过程的高效推进和研发成果质量的稳定可控。

对于核心技术与管理人员以及资深研发人员，公司实施股权激励政策，在提升员工归属感和责任感的同时，能够确保技术团队的稳定与高效。同时，公司不断完善研发管理机制和创新激励机制，对在技术研发、产品创新、专利申请等方面作出贡献的技术研发人员给予相应的奖励。公司健全的研发管理体系及完善的人才激励机制有效确保技术研发过程的严谨性和高效性，为本项目的顺利实施提供了制度保障。

4、项目投资概算

本次项目之“研发实验室扩建项目”的投资总额为43,000.00万元。

5、项目建设用地及项目备案、环评情况

本项目拟在租赁场地实施，不涉及新增土地，相关用地已取得土地使用权证。截至本报告出具之日，本项目的备案及环评等手续尚在办理过程中。公司将按照国家相关法律、法规要求及时、合规办理。

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