浙江杭州-半导体石英坩埚产业园项目可行性研究报告
思瀚产业研究院 美晶新材    2024-04-01

1、项目简介

半导体石英坩埚产业园项目建设地点位于浙江省杭州湾上虞经济技术开发区东二区，通过购置土地，新建造数字化、智能化生产车间、添置新的生产设备，最终建成一个生产设备齐全、生产能力高效的半导体石英坩埚产业园，提升半导体石英坩埚的产能规模和供给能力。该项目建设期为 24 个月。项目总投资 60,324.80 万元。

2、项目实施的必要性

（1）半导体产业核心耗材国产替代面临紧迫局面

半导体行业是支撑社会经济发展和保障国家安全的战略性和基础性产业。随着人工智能、物联网、云计算的兴起，对高性能芯片的要求将进一步提高，对半导体硅片的性能水平和尺寸要求也在不断提升。

在尺寸上，6 英寸硅片产能将逐步向 8 英寸转移，而 8 英寸硅片产能将逐步向 12 英寸转移；在性能水平上，高端芯片对硅片表面微粗糙度、硅单晶缺陷、金属杂质、晶体原生缺陷、表面颗粒尺寸等技术指标要求更加严格。半导体硅片产业链的技术革新也对半导体石英坩埚产品在尺寸、公差、黑点、杂质水平等方面提出了更高的要求。

我国半导体产业国产替代正在进行，在国内半导体头部企业高强度研发投入下，国内 12 英寸硅片关键技术研发取得了长足进步，先进制程硅片技术正在加速突破。公司的主要半导体行业客户都制定了大硅片产能翻倍的计划，对高纯半导体合成石英坩埚（内层要求 8N 以上纯度）的需求进一步放大。

但目前生产半导体硅片的石英坩埚仍以进口为主，国内半导体石英坩埚市场约 2/3 市场份额由外资厂商占据，日益成为处于快速发展阶段的我国半导体领域的卡脖子环节，尤其是生产高性能集成电路用硅片所需的大尺寸合成石英坩埚长期被Shin-Etsu Quartz 等厂商把持。

全球半导体石英坩埚前三大生产厂商为美国 Momentive、日本 SUMCO JSQ、日本 Shin-Etsu Quartz，共占据了全球市场 85%的份额，其中 Shin-Etsu Quartz、SUMCO JSQ分别所属的集团 Shin-Etsu、SUMCO又是排名全球前二的半导体硅片供应商，与国内半导体硅片产业有直接的竞争关系，如竞争关系加剧，其可能会对国内半导体硅片企业实施半导体石英坩埚的限制供应，对于国内半导体产业的发展极其不利。

考虑国际贸易争端带来的技术封锁风险，国内半导体硅片企业核心耗材的国产化进程的推进更具紧迫性。公司作为国内少数具有大尺寸、高纯度半导体石英坩埚生产能力的企业，生产的产品已供应国内数家半导体行业头部厂商，公司将通过募投项目的建设力争保障中国半导体产业耗材供应链安全，支持中国半导体产业的健康发展。

（2）突破现有产能瓶颈，提升公司生产能力

近年来，中国半导体行业市场规模在国家政策、下游终端应用市场扩展的推动下快速增长，特别是人工智能、区块链、物联网、汽车电子等新兴应用领域的扩张，为中国半导体产业带来了难得的发展机遇。根据弗若斯特沙利文预测，2022-2027 年中国半导体硅片出货面积有望实现 24%的复合增长，远高于全球半导体硅片增速（5.6%）。

在这样的背景下，公司下游客户纷纷积极扩产。根据国内半导体硅片企业的公开披露信息及研究报告，上海新昇计划将 12 英寸大硅片月产能从 2022 年底的 30 万片扩大至 60 万片；中环领先 12 英寸大硅片产能将在 30 万片/月的基础上扩产至 60 万片/月；奕斯伟已启动建设大硅片二期项目，达产后月产能将从 50万片增至 100万片。

随着下游行业快速发展和公司自身的持续投入，公司订单不断增多，石英坩埚产品的产销量快速增长。公司现有生产基地已不能满足市场需求的扩大和公司业务快速增长的需要，产能成为制约公司发展的一大瓶颈。为满足公司发展的需要，需扩建生产基地，增加新设备投入，提高半导体石英坩埚的生产能力。

（3）有利于进一步推进智能工厂建设，提高公司生产智能化水平

当前，我国制造业转型压力巨大，劳动力成本攀升、产能过剩、竞争激烈、客户个性化需求增长等因素迫使制造企业从低成本竞争策略转向建立差异化竞争优势，智能工厂成为制造业发展的必然趋势。募投项目将在半导体石英坩埚产业园中通过打造智能车间并集成 MES、OA、SAP 系统等模块以推进智能工厂建设，打通产品数据流、企业价值流、智慧车间流，提高公司生产智能化水平。

3、项目实施的可行性

（1）项目产品具有广阔的市场发展空间

中国半导体市场的不断发展推动了国产半导体石英坩埚的市场需求。据弗若斯特沙利文统计，2022 年全球半导体石英坩埚市场规模为 18.2亿元，2027年市场规模有望达到 29.5 亿元，年化增长率 10.1%；而在国产半导体硅片产业快速发展的带动下，2027 年中国境内半导体石英坩埚市场规模有望达到 11亿元，年化增长率 30.6%。在产业链的景气程度长期向好及国产替代的背景下，国产半导体石英坩埚广阔的市场空间是项目顺利实施的重要基础。

（2）公司已为该项目进行了技术储备和人才储备

公司具备较强的技术能力，先后通过了国家高新技术企业、浙江省专精特新中小企业及上虞区区级企业技术中心认定。

公司获得授权的知识产权涵盖了石英坩埚的熔制、冷涂、清洗、检测全生产周期，解决了石英坩埚制备、去除微量杂质、降低液面振动、减少微气泡堆积、控制微气泡受热膨胀易破裂、全面清洗、高效喷砂冷涂、尺寸均一和壁厚稳定、柔性化生产等多项技术难点，显著提升了公司产品的品质，为产品在市场上的竞争提供了明显的技术优势和成本优势。项目的建设依托于公司自主研发的核心技术，公司牢固的技术基础及先进的人才储备为项目的顺利实施提供了有力的支撑。

（3）公司具备丰富的经营管理经验及严格的质量管控体系

经过多年发展，公司在生产制造、质量管理与企业管理方面积累了丰富的经验。生产制造方面，公司不断改进生产工艺，提升产品性能的同时提高了生产效率；质量管理方面，公司制定了严格的质量管理体系，在生产、技术、质量、计划、人事、设备各环节制定了较成熟的控制标准，公司已通过 ISO9001质量管理体系、ISO14001 环境管理体系、ISO45001 职业健康安全管理体系、GB/T23331-2020/ISO50001:2018、RB/T111-2014 能源管理体系的审核，建立了完备的质量控制流程，保证了公司质量管理体系管理的高效运行；

在企业管理方面，公司拥有一支具备专业技术和管理能力的管理团队，具有丰富的企业管理经验。丰富的经营管理经验及严格的质量管控体系为项目的实施提供了保障。

（4）公司具备良好的客户基础、品牌影响力

石英坩埚的下游硅片生产厂商出于生产稳定性的考虑，通常会选择产品优质、口碑较好的供应商形成长期稳定的合作关系。石英坩埚制造企业通常在与客户沟通合作意向后，基于产品检测标准将石英坩埚样品交付客户进行测试，测试合格后方可入选合格供应商名单进行持续供货，尤其是半导体石英坩埚认证周期长（一般 3 年以上），时间成本和资金成本较高。

由于硅片生产厂商更换供应商成本较高、流程繁琐以及不同厂商生产石英坩埚的参数存在差异，易对硅片生产厂商的生产效率产生较大影响，故其与石英坩埚生产厂商一旦达成合作关系后，合作关系较为稳定，不会轻易更换石英坩埚供应商。

公司自创建以来，依靠优良稳定的产品品质与优质客户建立了稳定的合作关系，建立了良好的品牌知名度和品牌声誉，公司半导体石英坩埚的客户包括中环领先、上海新昇、奕斯伟、有研硅、麦斯克、GlobalWafers、SYNASPIRE、WAFER WORKS 等公司。公司良好的客户基础、品牌影响力为项目实施后的市场需求消化及下游市场开拓提供了可靠保障。

4、项目选址和用地情况

该项目拟在浙江省杭州湾上虞经济技术开发区进行建设，建筑物建筑面积约为 116,291.04 平方米，公司已完成项目建设用地的摘牌程序并签署土地出让合同，取得上述建设用地预计不存在重大障碍。

5、项目环保情况

该项目环境影响报告表已获得绍兴市生态环境局出具的虞环审（2023）94号文件批准。项目投资建设及产品生产过程中，将产生废水、废气、噪声和固体废弃物。

公司已制定完善的环境保护措施，通过确定影响环境污染的重点工序、运行过程控制、检测检验等步骤，严格将生产过程中产生的少量污染物经过环保处理后，在国家标准规定的要求范围内排放、处理。