南通市通州区-干式真空泵产业化建设项目可行性研究报告
思瀚产业研究院 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司    2025-07-02

项目具体建设内容包括：产能方面，通过新建厂房、购置高端生产设备、装配智能化产线，提升中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司干式真空泵的生产能力，形成年产 20,040 台干式真空泵的生产能力；装配产线方面，将实现物流移动 50%自动化，即自动保管、自动输入、自动输出及智能化，并逐步实现智能化；加工产线方面，将采取 H-MC 卧式加工方式并通过 FMS 方式实现自动等待以及根据日程安排自动加工，将实现 90%以上的自动化及智能化。

市场方面，利用前期积累的客户和不断导入的客户资源，积极配合客户的工艺测试，满足客户的生产需求，实现业绩快速增长。截至可研报告首次发布日，该项目已经完成土地购置、部分厂房及产线建设、部分设备购置，主要用于剩余产线的建设及部分设备的购置。

2、项目确定依据

（1）本项目是公司提高我国在干式真空泵领域竞争力的必然要求

干式真空泵作为集成电路生产线核心附属设备，为集成电路制造的主要工艺工序提供必要的真空条件，包括提供符合各项工艺精确要求的真空度和抽离生产过程中产生的副产物，保证工艺环境的洁净度。干式真空泵的故障将直接导致集成电路生产线的停产，而该类产品的研发、生产技术一直被欧洲、日本等国外企业垄断，对我国集成电路行业的供应链形成了制约。

半导体及泛半导体产业的工艺复杂，制造环节多、设备类型多样，且存在大量的定制化设备，工艺细节也会随着技术进步而持续更新调整。公司的干式真空泵虽已覆盖清洁、中等、苛刻工艺，但仍需持续扩大产品多样性，通过为客户提供更全面的泵种选择、更灵活的技术指标配置以覆盖更多的细分工艺环节。

大市场份额的必然要求我国集成电路产业近年来发展迅速，行业增速领先全球。在国家及地方各级政府部门多项产业政策的支持、国家集成电路产业投资基金和各地方专项扶持基金的推动下，我国集成电路产业规模从弱小到壮大，企业创新能力逐步提升，已经在全球集成电路产业中占据重要地位，在部分细分领域初步具备了国际领先的技术和研发水平。

根据中国半导体行业协会（CSIA）统计数据，2023 年中国大陆集成电路产业销售额达 12,277 亿元，2016 年至 2023 年产业收入年复合增长率达 16.03%。在集成电路产业的晶圆制造生产线种类众多的专用装备中，70%左右都需要在真空的工艺环境生产组装。

出于环保、效率以及真空度的考虑，结合集成电路对真空系统特有的清洁、无油、耐腐蚀的要求，干式真空泵成为集成电路行业的首选真空获得设备，可以极大的提高产品性能和质量。因此本项目所生产的干式真空泵设备将成为公司扩大业务规模的重要机遇，是公司在行业中保持竞争优势的必然要求。

（3）相较于传统真空泵，干式真空泵优势明显，规模应用于集成电路、光伏等领域是必然发展趋势

与传统油式真空泵不同，干式真空泵腔内无工作介质，不受水蒸气或尘粒的影响，规避了润滑油老化问题，降低了核心转动部件的磨损几率，大幅度提升了干式真空泵的可靠性，延长了产品使用寿命。并且，干式真空泵在节约能源、减小污染的同时，更加注重精密加工及简易化设计，从原理及设计出发，使其维护更加便捷高效。

传统的真空泵已无法满足清洁、无油、苛刻的工艺要求，在欧美日国家，干式真空泵已成为集成电路、光伏、化工制药等行业首选真空获得设备。因此，面对国内集成电路、光伏等产业的迫切需求，干式真空泵应用前景广阔，本项目是公司提高产能，把握未来广阔需求空间的必要举措。

3、项目可行性分析

（1）公司具备良好的干式真空泵业务基础，拥有完整的干式真空泵产业链

公司依托于自身所拥有的真空技术领域领先的核心技术优势，并通过对真空设备产品制造工艺的自主研发，掌握了真空设备整机和关键零部件的生产制造技术，并建立了真空技术及设备研发设计、零部件的生产加工和组装、真空设备的保养和维修服务纵向一体化的生产服务体系，可以为客户提供“一站式”服务，满足客户在真空设备生命周期内的各种需求，是国内真空设备行业拥有较为完整产业链的少数厂商之一。

公司完备的业务基础保障了公司的盈利能力和市场竞争力，完整的产业链也使公司与客户合作关系不断巩固，为本项目的成功打下了坚实的基础。

（2）公司在长三角区域的提前战略布局为本项目的顺利实时提供有力保障

公司在立足沈阳的同时，克服了跨区域经营在管理、客户资源上的各种困难，积极进行跨区域战略布局，目前已在上海、广州成立子公司，形成了沈阳-长三角-珠三角范围的跨区域经营格局。未来，公司将以技术开发为基础，市场开拓为目标，客户地域为中心形成技术、生产、服务为一体的集成服务，全面扩展国产干式真空泵的业务。

目前，公司已积累了一定的长三角区域的供应商、客户资源，相关上下游资源可以迅速与南通干式真空泵产业基地对接。一方面供应商的迅速衔接可以极大地缩短硬件设备、原材料等购置、装配和使用的时间，保证干式真空泵生产线的高效建设以及产能的快速提升；另一方面，通过已构建的跨区域销售体系和本地化的服务网络，可进一步承接和拓展客户资源为产能的消化提供良好的保障。公司在长三角的提前战略布局为本次项目的顺利实施提供了有力保障，项目的实施具有可行性。

4、项目投资概算

本项目计划投资 70,000.00 万元。

5、项目实施进度安排

干式真空泵产业化建设项目实施主体为公司全资子公司南通中科仪，项目建设周期为 4 年。

6、项目用地、备案、环评情况

干式真空泵产业化建设项目实施主体为南通中科仪，用地坐落于江苏省南通市通州区金新街道双池头村。2020 年 12 月，南通中科仪已取得该目用地的《不动产权证书》（苏（2020）通州区不动产权第 0031388 号）。

本项目已取得南通市通州区行政审批局出具的《江苏省投资项目备案证》（项目代码：2020-320612-35-03-537522）；以及南通高新技术产业开发区管理委员会出具的《关于中科仪（南通）半导体设备有限责任公司干式真空泵产业化建设项目环境影响报告表的批复》（通高新管环审〔2020〕2 号）。

7、项目符合国家产业政策和法律、行政法规的说明

公司本次投资项目符合国家产业政策、环境保护以及其他法律、法规和规章的规定。

此为摘取部分，完整版根据发改投资规【2023】304号国家发改委关于印发投资项目可行性研究报告编写大纲要求，可定制化编制政府立项审批备案、国资委备案、银行贷款、产业基金融资、内部董事会投资决策等用途可研报告。

目录

第一章 概述

1.1 项目概况

1.1.1 项目名称

1.1.2 项目建设性质

1.1.3 项目拟建地址

1.1.4 项目建设内容及规模

1.1.5 项目建设工期

1.1.6 项目投资估算及资金筹措

1.1.7 项目生产规模

1.2 企业概况

1.3 编制依据及研究范围

1.3.1 编制依据

1.3.2 研究范围

1.3.3 编制原则

1.4 主要结论和建议

1.4.1 主要结论

1.4.2 建议

第二章 项目建设背景、需求分析及产出方案

2.1 项目背景

2.2 项目建设的必要性

2.2.1 有利于优化区域产业结构，产业发展完善

2.2.2 项目建设是公司规模扩展，全球发展战略的重要组成部分

2.2.3 增加产能，提高公司盈利水平

2.2.4 有利于提高公司的行业竞争力及盈利能力

2.2.5 提升生产信息化和自动化水平，为业务发展和高效管理赋能

2.3 项目建设的可行性

2.3.1 国家政策推动行业的发展

2.3.2 公司拥有优质的客户资源及良好品牌认可度

2.3.3 行业经验丰富，技术协同优势显著

2.3.4 优秀的人才队伍和管理体制为本项目的顺利实施提供了基础保证

2.4 市场需求分析

2.4.1 市场需求分析：通过量化目标市场的消费需求，预测产品的潜在销售量及增长趋势

2.4.2 市场供给分析：评估现有及潜在竞争者提供的同类产品数量，识别供给缺口或过剩

2.4.3 市场竞争分析：研究行业竞争格局，包括市场份额分布、主要竞争对手策略及进入壁垒

2.4.4 项目产品分析：结合产品特性（如价格、质量、功能）与市场需求匹配度，判断其竞争力

2.4.5 市场综合分析：整合供需、竞争及产品数据，形成对项目整体可行性的判断

2.5 项目建设内容、规模和产出方案

2.5.1 项目建设内容及规模

2.5.2 项目产出方案

2.6 项目商业模式

2.7 项目对我国国家利益和国家安全的影响分析

第三章 项目选址与要素保障

3.1 项目选址方案

3.1.1 项目选址的原则

3.1.2 项目选址需求

3.1.2 选址方案的初步拟定

3.2 项目建设条件分析

3.2.1 概况

3.2.2 政治

3.2.3 经济

3.2.4 项目投资地营商的主要优势

3.2.5 投资激励

3.2.6 经贸情况

3.2.6 法律法规

第四章 项目建设方案

4.1 技术方案

4.1.1 原料路线确定原则

4.1.2 生产工艺技术路线确定原则

4.1.3 技术先进性

4.1.4 生产工艺流程

4.1.5 主要原辅材料耗量

4.2 设备方案

4.3 工程方案

4.3.1 给排水工程

4.3.2 变配电工程

4.3.3 消防工程

4.3.4 火灾报警及消防控制系统

4.3.5 通信工程

4.3.6 室外管网等配套工程

4.4 数字化方案

4.4.1 工业化生产可靠性分析

4.4.2 技术管理及特点

4.4.3 建筑智能化

4.5 建设管理方案

4.5.1 项目建设期管理

4.5.2 公司注册及审批流程

4.5.3 项目审批流程

4.5.4 项目申报

4.5.5 项目实施进度计划

第五章 项目运营方案

5.1 生产经营方案

5.1.1 采购模式

5.1.2 生产模式

5.1.3 销售模式

5.1.4 研发模式

5.1.5 影响公司经营模式的关键因素

5.1.5 燃料动力供应保障

5.2 安全保障方案

5.2.1 危害因素和危害程度分析

5.2.2 安全措施方案

5.2.3 消防设施

5.3 运营管理方案

5.3.1 人力资源配置

5.3.2 人员培训

5.3.3 员工退场

第六章 项目投融资与财务方案

6.1 投资估算

6.1.1 投资估算范围

6.1.2 项目投资估算

6.1.3 资金使用和管理

6.2 盈利能力分析

6.2.1 基础数据与参数选取

6.2.2 编制依据

6.2.3 收入测算

6.2.4 成本核算

6.2.5 利润核算

6.2.6 财务评价分析

6.3 财务可持续性分析

6.3.1 不确定性分析

6.3.2 偿债能力分析

6.3.3 评价结论

第七章 项目影响效果分析

7.1 经济影响分析

7.2 社会影响分析

7.3 生态环境影响分析

7.3.1 施工期环境影响分析

7.3.2 营运期环境影响及环保措施

7.3.3 环境保护的建议

7.3.4 环境影响评价结论

7.4 资源和能源利用效果分析

7.4.1 项目能耗情况

7.4.2 节能措施及效果分析

7.4.3 管理节能措施

7.4.4 资源和能源利用效果分析结论

第八章 项目风险管控方案

8.1 工期风险

8.2 质量风险

8.3 市场竞争加剧的风险

8.4 市场波动风险

8.5 政策风险

8.6 政治风险

第九章 思瀚产业研究院结论与建议

9.1 主要研究结论

9.2 建议

附件：财务分析过程