南通市新一代干式真空泵及大抽速干式螺杆泵研发项目可行性研究报告
思瀚产业研究院 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司    2025-07-02

本项目将针对半导体领域研发超高速节能泵、超高温泵等新一代干式真空泵产品，同时面向泛半导体、工业真空、仪器制造、科学研究等市场开发大抽速干式螺杆真空泵及罗茨螺杆真空泵机组。项目完成后将丰富公司产品体系、增强产品优势，同时进一步拓展干泵产品的应用范围，拓宽市场发展空间。

此外，本项目还将建设数字化管理平台，从而对产品研发以及日后的相关业务进行一体化管理，为业务发展提供可靠支撑。

2、项目确定依据

（1）全球集成电路加速向高端化演进，本项目是公司突破技术代际壁垒、抢占高端市场份额的战略性布局

近年来，全球半导体产业加速向先进制程演进，据国际半导体产业协会（SEMI）2024 年第四季度《全球晶圆厂预测》报告预计，2025 年全球芯片 7nm 以下先进制程产能将达到月产 220 万片，同比增长 16%。

以 7nm 及以下逻辑芯片、第三代半导体（GaN/SiC）器件、3DNAND 存储为代表的先进制程往往伴随着极端工艺环境，对提供与维持真空环境的干式真空泵的高温耐受性、抗腐蚀能力及稳定可靠性等提出近乎苛刻的要求，国际领先厂商 Edwards、Ebara 等凭借数十年持续研发构筑的核心技术壁垒几乎垄断了全球先进工艺市场，而国内厂商因其对干式真空泵的研制起步较晚，产业基础相对薄弱，在材料与精密制造等环节存在代际差距，产品多集中于成熟工艺领域。

本研发项目将通过提升产品最高转速、降低产品机械损耗等方法，解决高温条件下密封、腐蚀等问题，开发出应用于半导体行业的新一代干式真空泵产品，从而丰富公司半导体领域的真空产品结构；另一方面，项目的研发将在超高速转动的泵体结构、超高速真空驱动系统、高温及苛刻工艺下的干泵可靠性等关键技术层面取得突破，打破国外在先进制程核心装备上的垄断地位，为国内企业实现先进制程真空系统国产化提供核心支撑。

（2）泛半导体、医药等产业催生新增量，本项目是公司拓展新兴赛道、发掘潜在市场空间的战略支点

干式真空泵下游应用广泛，除了应用于集成电路制造之外，还可应用于光伏电池生产的拉晶、电池片环节，锂电池生产的上游原料制备和中游电池制造、质控检测，以及化工、医药、食品生产的蒸馏、干燥、包装等多个工序。公司此前干式真空泵产品专用性强，主要面向集成电路、光伏领域，下游客户以集成电路制造企业、半导体设备制造企业、光伏产品制造企业为主，对于广阔的通用性市场开拓程度有待加强。

本项目将开发大抽速干式螺杆真空泵产品，能够满足在高压强下具有大抽速、适配快速抽空工艺的需求，包括大抽速干式螺杆真空泵及系列干式罗茨螺杆真空泵机组。产品通用性强，适用于泛半导体、锂电、化工、医药等多领域，因此项目的研发将在丰富公司产品体系与增强产品优势之外，进一步拓展公司干式真空泵产品的应用范围，以及潜在市场发展空间。

3、项目可行性分析

（1）国家政策大力支持，为项目实施创造良好环境

半导体产业作为电子信息产业的基石，支撑新兴产业发展与传统产业升级，是助力我国经济高质量增长的重要力量，国家针对半导体产业的发展陆续颁布一系列鼓励性政策，重点关注核心制造装备领域。

2023 年 8 月，工信部、财政部联合印发《电子信息制造业 2023—2024 年稳增长行动方案》，提出面向数字经济等发展需求，优化集成电路产业布局并提升高端供给水平，增强材料、设备及零配件等配套能力。

2023 年 6 月，工业和信息化部、教育部等五部门联合发布《制造业可靠性提升实施意见》，指出聚焦机械、电子、汽车等行业，实施基础产品可靠性“筑基”工程，筑牢核心基础零部件、核心基础元器件、关键基础软件、关键基础材料及先进基础工艺的可靠性水平。

综上所述，国家大力支持半导体产业发展，为本项目的实施创造良好的政策环境。

（2）公司具备丰富研发经验，是项目实施的可靠基础

公司自成立以来始终致力于通过自主研发创新形成具有自主知识产权的技术储备，为实现干式真空泵产品在集成电路苛刻工艺应用，2017 年，公司依托国家“02 专项”，开始进行新一代高效节能干式真空泵的研发，项目形成的新产品系列在能耗、体积、机械结构、控制系统等多方面实现了技术迭代，实现了公司在成熟制程苛刻工艺应用的突破。

针对刻蚀工艺在高温环境下易存在密封性能下降和腐蚀问题，公司依托在多个重大科研专项中积累的核心技术，通过不断攻克现有产品的技术难题并进行升级改进，为高速节能泵和超高温泵等新一代干式真空泵的研发打下了坚实的技术基础。

针对公司运用于光伏、锂电、医药等行业的螺杆泵产品种类较为单一，覆盖的工艺环节较为有限的问题，公司在现有干式螺杆真空泵 LG-300，干式罗茨螺杆真空泵机组 JLG-1300/1800/4200 的基础上，进行大抽速螺杆转子的设计、加工、检测、装调技术的研发，并开发大抽速干式螺杆真空泵和系列干式罗茨螺杆真空泵机组。

综上，公司丰富的研发经验与技术储备为项目实施提供可靠基础。

4、项目投资概算

本项目计划投资 12,103.61 万元。

5、项目实施进度安排

新一代干式真空泵及大抽速干式螺杆泵研发项目实施主体为公司全资子公司南通中科仪，项目建设周期为 3 年

6、项目用地、备案、环评情况

新一代干式真空泵及大抽速干式螺杆泵研发项目实施主体为南通中科仪，用地坐落于江苏省南通市通州区金新街道双池头村。2020 年 12 月，南通中科仪已取得该目用地的《不动产权证书》（苏（2020）通州区不动产权第 0031388 号）。

本项目已取得南通高新技术产业开发区管理委员会出具的《江苏省投资项目备案证》（项目代码：2504-320658-89-01-483772）；以及南通高新技术产业开发区行政审批局出具的意见，公司“新一代干式真空泵及大抽速干式螺杆泵研发项目”不纳入建设项目环境影响评价管理，无需进行环评审批。

此为摘取部分，完整版根据发改投资规【2023】304号国家发改委关于印发投资项目可行性研究报告编写大纲要求，可定制化编制政府立项审批备案、国资委备案、银行贷款、产业基金融资、内部董事会投资决策等用途可研报告。

目录

第一章 概述

1.1 项目概况

1.1.1 项目名称

1.1.2 项目建设性质

1.1.3 项目拟建地址

1.1.4 项目建设内容及规模

1.1.5 项目建设工期

1.1.6 项目投资估算及资金筹措

1.1.7 项目生产规模

1.2 企业概况

1.3 编制依据及研究范围

1.3.1 编制依据

1.3.2 研究范围

1.3.3 编制原则

1.4 主要结论和建议

1.4.1 主要结论

1.4.2 建议

第二章 项目建设背景、需求分析及产出方案

2.1 项目背景

2.2 项目建设的必要性

2.2.1 有利于优化区域产业结构，产业发展完善

2.2.2 项目建设是公司规模扩展，全球发展战略的重要组成部分

2.2.3 增加产能，提高公司盈利水平

2.2.4 有利于提高公司的行业竞争力及盈利能力

2.2.5 提升生产信息化和自动化水平，为业务发展和高效管理赋能

2.3 项目建设的可行性

2.3.1 国家政策推动行业的发展

2.3.2 公司拥有优质的客户资源及良好品牌认可度

2.3.3 行业经验丰富，技术协同优势显著

2.3.4 优秀的人才队伍和管理体制为本项目的顺利实施提供了基础保证

2.4 市场需求分析

2.4.1 市场需求分析：通过量化目标市场的消费需求，预测产品的潜在销售量及增长趋势

2.4.2 市场供给分析：评估现有及潜在竞争者提供的同类产品数量，识别供给缺口或过剩

2.4.3 市场竞争分析：研究行业竞争格局，包括市场份额分布、主要竞争对手策略及进入壁垒

2.4.4 项目产品分析：结合产品特性（如价格、质量、功能）与市场需求匹配度，判断其竞争力

2.4.5 市场综合分析：整合供需、竞争及产品数据，形成对项目整体可行性的判断

2.5 项目建设内容、规模和产出方案

2.5.1 项目建设内容及规模

2.5.2 项目产出方案

2.6 项目商业模式

2.7 项目对我国国家利益和国家安全的影响分析

第三章 项目选址与要素保障

3.1 项目选址方案

3.1.1 项目选址的原则

3.1.2 项目选址需求

3.1.2 选址方案的初步拟定

3.2 项目建设条件分析

3.2.1 概况

3.2.2 政治

3.2.3 经济

3.2.4 项目投资地营商的主要优势

3.2.5 投资激励

3.2.6 经贸情况

3.2.6 法律法规

第四章 项目建设方案

4.1 技术方案

4.1.1 原料路线确定原则

4.1.2 生产工艺技术路线确定原则

4.1.3 技术先进性

4.1.4 生产工艺流程

4.1.5 主要原辅材料耗量

4.2 设备方案

4.3 工程方案

4.3.1 给排水工程

4.3.2 变配电工程

4.3.3 消防工程

4.3.4 火灾报警及消防控制系统

4.3.5 通信工程

4.3.6 室外管网等配套工程

4.4 数字化方案

4.4.1 工业化生产可靠性分析

4.4.2 技术管理及特点

4.4.3 建筑智能化

4.5 建设管理方案

4.5.1 项目建设期管理

4.5.2 公司注册及审批流程

4.5.3 项目审批流程

4.5.4 项目申报

4.5.5 项目实施进度计划

第五章 项目运营方案

5.1 生产经营方案

5.1.1 采购模式

5.1.2 生产模式

5.1.3 销售模式

5.1.4 研发模式

5.1.5 影响公司经营模式的关键因素

5.1.5 燃料动力供应保障

5.2 安全保障方案

5.2.1 危害因素和危害程度分析

5.2.2 安全措施方案

5.2.3 消防设施

5.3 运营管理方案

5.3.1 人力资源配置

5.3.2 人员培训

5.3.3 员工退场

第六章 项目投融资与财务方案

6.1 投资估算

6.1.1 投资估算范围

6.1.2 项目投资估算

6.1.3 资金使用和管理

6.2 盈利能力分析

6.2.1 基础数据与参数选取

6.2.2 编制依据

6.2.3 收入测算

6.2.4 成本核算

6.2.5 利润核算

6.2.6 财务评价分析

6.3 财务可持续性分析

6.3.1 不确定性分析

6.3.2 偿债能力分析

6.3.3 评价结论

第七章 项目影响效果分析

7.1 经济影响分析

7.2 社会影响分析

7.3 生态环境影响分析

7.3.1 施工期环境影响分析

7.3.2 营运期环境影响及环保措施

7.3.3 环境保护的建议

7.3.4 环境影响评价结论

7.4 资源和能源利用效果分析

7.4.1 项目能耗情况

7.4.2 节能措施及效果分析

7.4.3 管理节能措施

7.4.4 资源和能源利用效果分析结论

第八章 项目风险管控方案

8.1 工期风险

8.2 质量风险

8.3 市场竞争加剧的风险

8.4 市场波动风险

8.5 政策风险

8.6 政治风险

第九章 思瀚产业研究院结论与建议

9.1 主要研究结论

9.2 建议

附件：财务分析过程