年产890吨电子先进材料及30万立方电子级混合气体项目可行性研究报告
思瀚产业研究院 正帆科技    2023-05-06

1、项目基本情况

本项目为铜陵正帆电子材料有限公司在一期已建、二期预留的基础上，利用一期已建的路网以及公辅工程设施，新建二期年产 890吨电子先进材料及 30万立方电子级混合气体项目，同时为电子、半导体、芯片等各类高端客户提供高纯和超高纯气体现场制气服务。

本项目拟生产的电子先进材料主要包括原硅酸乙酯（TEOS）、亚磷酸三乙酯（TEPO）、硼酸三乙酯（TEB）、四甲基硅烷(4MS)、三甲基硅烷(3MS)、八甲基环四硅氧烷(OMCTS)、六氯乙硅烷(HCDS)、四氯化钛(TiCl4 )、四氯化铪(HfCl4 )4等产品，拟生产的电子级混合气体包括磷化氢/氢气混合气、磷化氢/氮气混合气、磷化氢/氩气混合气、磷化氢/硅烷混合气、乙硼烷/氢气混合气、锗烷/氢气混合气、四氟化锗/氢气混合气、三氟化硼/氢气混合气等各类产品。

2、项目实施的必要性

电子先进材料是指应用于电子制造及相关产业的特殊材料，如半导体材料、各种薄膜、高纯度金属材料等，是集成电路（Integrated Circuit；简称 IC）制造过程中必不可少的原料。同时它也广泛应用于光电子、化合物半导体、太阳能光伏电池、液晶显示器、光导纤维制造等其它诸多领域。集成电路制造的前道工序如外延、化学气相沉积、离子注入、掺杂、刻蚀、清洗、掩蔽膜生成等工艺几乎都需要不同种类和不同纯度的电子先进材料和电子气体通过不同的工艺使硅片具有半导体性能。

例如原硅酸乙酯（TEOS）主要用于集成电路中制备外延材料，在半导体产业发展中起到重要作用，是微电子高端化学品，也是第三代半导体材料和新兴半导体产业中重要的前驱体材料，其生产工艺难度较大，且生产过程中对于金属离子杂质含量控制严格，当前能够实现规模化生产的企业较少。

电子先进材料及电子级混合气体的纯度直接影响集成电路的性能、集成度、成品率，是集成电路制造关键材料之一。随着集成电路制造工艺及技术的发展，芯片尺寸的不断增大，工艺不断提高，特征尺寸线宽不断减小，对集成电路制程用的各种电子气体及材料的质量纯度、特定技术指标等要求不断提高。目前 8英寸以上集成电路生产装置工艺要求电子气体及材料纯度大都在 99.999%（5.0N）以上，有害杂质甚至要求达到 10-9（ppb）。

目前世界集成电路制造中心不断向中国转移，近几年我国集成电路增长速度达到每年 30%左右，作为集成电路制造必不可少的关键材料电子先进材料和电子气体，其需求总量大大超过人们的预期。

我国电子先进材料及电子级气体整体水平和国外还有一定的差距，8英寸以上集成电路生产装置所使用的电子先进材料和电子级电子气体几乎全部依赖进口。同我国集成电路产业的快速发展相比，我国与之相关的电子先进材料的研究与生产相对落后。为促进我国集成电路产业的健康稳定可持续发展，提升我国集成电路装备、工艺及材料的自主创新能力和市场的竞争力，解决我国集成电路、光电子、太阳能、光伏电池、平板显示器、光导纤维等制造业对国外进口电子先进材料和电子气体的依赖，大力发展电子气体整体水平势在必行。

3、项目实施的可行性

（1）符合国家和地方政府的工业布局

近年来，“皖江城市带”已逐渐承接产业转移示范区并打造成引领安徽省转型发展的新支撑带。在此基础上，“皖江城市带”加快产业集聚和高端化发展，培育具有重要影响力的沿江城市组群，成为“长江经济带”重要战略支点具有重要意义。根据产业政策与经济发展要求，加快大力发展电子信息和家电、汽车和装备制造、能源和新能源、材料和新材料、现代服务业等主导产业群，建成具有国际竞争力的先进制造业和现代服务业基地迫在眉睫。

安徽将围绕新一代信息技术、先进轨道交通装备、新材料、节能环保、生物医药和高端医疗器械、现代农业机械等先进制造业，强化龙头带动，增强创新能力，完善产业配套，促进集群集聚发展。同时将发挥好专项引导资金、产业发展基金作用，高水平规划、高标准建设，加快建设第一批战略性新兴产业集聚发展基地，稳步推进后续批次基地建设，鼓励建设市级战略性新兴产业集聚区。

（2）依托现有技术力量，实现产品间的相互配套

正帆科技目前在上海、合肥、铜陵、扬州、泰州等地已建立全资子公司作为装备和材料的生产制造基地。其中铜陵正帆电子材料有限公司主要生产电子级砷化氢、磷化氢、硅烷、混合气体等特种气体，其中砷化氢、磷化氢气体打破国外垄断，成功实现了进口替代，为助力国家半导体事业的发展做出了积极的贡献。

公司关键核心产品的技术完全由公司自主拥有，并且具有强大的研发能力，满足市场日益增长的需求。本项目的代表产品属于国家鼓励发展的产品。本项目建设完成将对推动安徽省电子气体行业的发展具有现实意义。

（3）园区配套完善，有利于项目的实施

本项目拟选址在铜陵市经济开发区东部园区。拟建地点社会经济发展良好，交通便利，园区水、电、蒸汽、天然气供应充足，污水处理、固废处理配套完善。

园区招商引资政策优厚，以较少的投资费用和较短的时间准备工作，即可以投入生产。除此之外，区域内人力资源丰富，对于建厂后的稳定运行奠定了良好的人力资源基础。

4、项目实施主体与投资情况

本项目将由公司全资子公司铜陵正帆电子材料有限公司作为实施主体，本项目预计建设期为 18个月，项目总投资 35,000.00万元。

5、项目经济效益评价

本项目建成后，预计全部投资内部收益率（所得税后）为 14.50%，投资回收期 4.9年，项目预期效益良好。

6、项目涉及土地、备案及环保等有关审批、批准或备案事项

本项目拟建于铜陵市经济开发区东部园区黄浦江大道与桐国路交叉口铜陵正帆电子材料有限公司厂区内，该场地为公司现有场地。

本项目已完成项目备案（备案号为 2103-340760-04-01-279258），环评等相关审批/备案事项尚在办理过程中，公司将根据相关要求履行审批或备案程序。

此报告为正式可研报告摘取部分，个性化定制请咨询思瀚产业研究院。