浙江丽水市高新技术开发区-特种气体生产项目可行性研究报告
思瀚产业研究院 正帆科技    2023-05-06

1、项目基本情况

本项目为正帆科技（丽水）有限公司（以下简称“丽水正帆”）特种气体生产项目，将采用技术先进、成熟可靠的生产工艺，运转成本低、操作管理方便，提高资源综合利用率，降低生产与环保处理成本，提高公司的市场竞争力。

本项目主要产品包括氢气、氮气、液氮、液氩、液氧、氦气，以及多种电子混合气、实验室气体、工业气、消防气体等。

2、项目实施的必要性

工业中，把常温常压下呈气态的产品统称为工业气体产品。根据制备方式和应用领域的不同，工业气体可分为大宗气体和特种气体。大宗气体主要包括氧气、氮气、氩气等空分气体及乙炔、二氧化碳等合成气体，具有产销量大但对纯度要求不高的特点。特种气体根据用途不同可分为电子特种气体、医疗保健用气体、食品饮料用气体、航天用气体等。

电子特种气体对纯度有着更为严格的要求，以满足半导体制造微加工工艺的清洁要求。随着半导体行业的快速发展，电子特种气体的种类和数量仍在不断增加，主要包括硅烷、硼烷、锗烷、磷烷、砷烷、氢气等氢化物，氟化硼、氟化氮、氟化磷、氟化硅、氟化碳等氟化物，氦气、氩气、氖气、氪气、氙气等稀有气体等。

电子特种气体普遍应用于半导体芯片、液晶面板材料制造等各个工艺流程中，比如清洗、沉积、光刻、刻蚀、离子注入、成膜、掺杂等环节。因此，根据成分与用途的不同，可以将电子特种气体分为：光刻用气、刻蚀用气、掺杂用气、外延沉积用气等。例如硅片热氧化工艺涉及的反应气体包括高纯度氧气、氮气、氯离子气体等。光刻制程中，除了用作激光源的气体混合物（氖、氩、氪、氟等）之外，氮气、氦气、氢气也起到功能性应用，比如氦气往往作为光刻制程中的冷却气体，而氢气在 EUV 光刻中用作清洁和保护气体。

电子特种气体所重点应用的半导体产业是数字经济产业转型、双循环等国家重大发展战略的基础性、先导性产业，我国十四五规划对半导体产业链中包括先进制程、高端集成电路设计和先进封装技术、关键的半导体设备和材料、第三代半导体等领域各个关键卡脖子环节提供重点支持。在当前半导体产业环境和国际形势下，国际贸易摩擦等因素更是增加了半导体供应链的不确定性。因此，在复杂的地缘政治和科技博弈中，半导体产业链的区域性自给自足成为趋势，实现国内半导体全产业链自给自足的重要性愈发凸显。

此外，由于先进制程及存储技术需求增加、显示市场持续增长、“碳中和”及“碳达峰”对光伏需求的增加，预计未来几年电子特气市场需求仍将继续保持高速增长。

正是瞄准了这一极具价值的产业机会，丽水正帆致力于在丽水经济技术开发区建设一个国内领先、技术质量最高、服务一流实验室气体生产基地。

3、项目实施的可行性

（1）项目产品符合国家政策要求

本项目生产的产品属于《产业结构调整指导目录（2019年本）》（2021年修改）中的鼓励类项目。本项目的实施，可进一步提高我国在氢能产业、电子化学品产业的技术水平，为全国氢能源及电子气体、化学品应用起到示范带头作用，带动丽水当地电子、化学品行业的发展。经济效益和社会效应显著。

（2）工程项目着眼于环保与清洁生产

本项目工程采用的生产工艺符合清洁生产的要求，生产设备为国际、国内的先进设备，无落后淘汰的设备。拟建项目的环境保护措施、劳动安全卫生措施、消防措施是切实可行的，目的各项危害因素是可以预防和治理的。此外，本项目公用配套设施利用合理、注意环境保护和节能节水等要求的实施，各单项间的安全防火间距符合国家和行业现行有关工程建设法规的要求。

（3）工程项目合理分期建设

本项目拟分期建设，一期工程为氢气生产、分装装置，生产能力为 2,000Nm3 /h （16,560,000Nm3 /a）；二期工程为 6,000 Nm3 /h 空分装置，主要生产产品为氮气 15,000 Nm3 /h（124,200,000Nm3 /a）、液氮折合 10,100 Nm3 /h（83,628,000Nm3 /a）、液氩折合 260Nm3 /h（2,152,800Nm3 /a）及液氧折合 6,000 Nm3 /h（49,680,000Nm3 /a）； 三期工程为氢气生产装置的扩建，生产能力为 2,000Nm3 /h（16,560,000Nm3 /a）；

四期工程为气体分装，分装产品包括电子混合气，氦气，实验室气体（Xe,CO2,N2 混合气、Ar、CO2、He、H2、N2、CO2/He 混合气、超纯氙气、超纯氪气、超纯氖 气、超纯氢气、超纯氩气、超纯氮气、超纯氦气等），工业气体（高纯氩、高纯 氮、高纯氦、纯液氩、高纯液氮、工业液氧、二氧化碳、工业激光气、工业混合 气一、工业混合气二、工业混合气），以及消防气充装（IG01、IG100、IG55、IG541、 二氧化碳）。

（4）工程项目收益显著

本项目总投资 40,000.00万元，本工程上线后，年均利润 10,538.17万元，项目投资财务内部收益率（所得税后）为 17.88%，投资回收期 5.49年，工程经济效益显著，产品抗风险能力较强。

4、项目实施主体与投资情况

本项目将由公司全资子公司正帆科技（丽水）有限公司作为实施主体，本项目预计建设期为 42个月，项目总投资 40,000.00万元。

5、项目经济效益评价

本项目建成后，预计项目投资财务内部收益率（所得税后）为 17.88%，投资回收期 5.49年，项目预期效益良好。

6、项目涉及土地、备案及环保等有关审批、批准或备案事项

本项目位于浙江丽水市高新技术开发区化工园区内，为化工厂区的预留土地。本项目已完成项目备案（备案号为 2205-331151-04-01-154745），环评等相关审批/备案事项尚在办理过程中，公司将根据相关要求履行审批或备案程序。

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