北京经开区-半导体装备关键零部件研发制造项目可行性研究报告
思瀚产业研究院 华卓精科    2025-04-17

1、项目概况

本项目建设内容为光刻机双工件台及其他半导体设备及零部件的生产基地项目，拟购置先进生产设备、检测设备及相应配套设施，实现光刻机双工件台的产业化、其他半导体设备及零部件（晶圆级键合设备、激光退火设备、静电卡盘、精密运动系统等）的产能扩充。项目建成后，将满足市场及客户快速增长的需求，提升公司的盈利能力，符合公司的战略规划。

2、项目必要性

（1）高端集成电路设备及装备国产化需求迫切

集成电路产业链主要为设计、制造、封测以及上游的材料和设备。集成电路设备通常可分为前道工艺设备（晶圆制造）、后道工艺设备（封装与检测）等。因生产工艺复杂，工序繁多，生产过程所需要的设备种类多样。

在晶圆制造中，由于光刻、刻蚀、沉积等流程在芯片生产过程中不断循环往复，是芯片前端加工过程的三大核心技术，其设备价值也最高。集成电路设备行业存在较高的资金壁垒，尽管国内集成电路产业投资大增，但国内设备厂商的供应能力严重不足，缺乏成套设备的供应能力。国产高端装备虽然实现了从无到有的重大突破，但仍面临成套性、稳定性欠缺等困境。本项目能够推进集成电路设备的升级，满足我国巨大的集成电路产业市场需求，实现进口替代，提升我国芯片行业核心竞争力。

（2）“产学研用”体系的创新实践

集成电路设备行业存在较高的技术壁垒，融合了基础理论、基础材料、器件物理、计算机、自动控制、光学、化学、真空技术、精密机械、设备制造、统计分析、计量学、环境超洁净控制等科技领域的最新成就，是基础研究和应用研究紧密结合的产物。

欧洲、美国、日本的集成电路设备整机企业受益于与大学、研究机构等的深度合作以及关键零部件的配套产业链。其中最为典型的是荷兰的 ASML 公司，全欧洲数十家大学、技术研发单位和零配件供应商在支撑其光刻机的研发和生产。公司承接了清华大学原发技术积累，坚持核心技术研发及产品自主研制，本项目旨在将“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家科技重大专项中积累的尖端技术产业化，搭建“产学研用”体系，培育高校科技成果转化的软实力。

3、项目可行性

（1）项目具备技术可行性

公司以光刻机双工件台为核心，并以该产品的超精密机电系统设计技术、超精密位移测量技术及超精密控制技术为基础，经过多年的积累进而衍生出多项超精密测控装备整机及部件产品相关的核心技术，积累了多项专利，具备较强的技术实力。因此，该募投项目建设具备技术可行性。

（2）项目具备市场可行性

近年来，在消费电子、移动互联网、汽车电子、工业控制、医疗电子等市场需求快速提升和国家政策支持的驱动下，中国集成电路行业快速发展。受益于国内晶圆产能的增长及半导体设备国产化率的提升，项目产品的市场前景良好。此外，公司在半导体设备行业深耕多年，已积累了一批优质的客户资源，如上海集成、燕东微电子、上海微电子等，客户对公司的品牌、产品品质和技术认可度较高，公司具备市场竞争优势。

（3）项目具备人才可行性

经过多年的发展，公司已建立了完善的人才体系，在研发、设计、制造和销售方面，不断吸引优秀人才、培养专业人才，使得公司具备人才竞争优势。

4、项目投资概算

本项目总投资 49,000.00 万元，其中使用自有资金 12,500.00 万元。

5、项目土地情况

项目选址位于北京经济技术开发区路东区 C8M3 地块，面积 20,000.6 平方米，属于工业用地。华卓运动于 2017 年 8 月 15 日取得了“京（2017）开不动产权第 0000011 号”不动产权证书。华卓精科吸收合并华卓运动，依法继承北京经济技术开发区路东区 C8M3 地块及其在建工程，于 2019 年 4 月 15 日取得了“京（2019）开不动产权第 0002073 号”不动产权证书。

6、项目实施进度

项目建设期拟定 3.5 年，包括前期准备、建筑及装修工程、设备购置及安装调试、员工招聘与培训、试生产运行等。

7、项目环境保护情况

本项目产生的污染物主要有废水、废气、固体废弃物、噪音，具体处理措施如下：

废水处理：项目污水排放执行《水污染物排放标准》（DB11/307-2013）“排入公共污水处理系统的水污染物排放限值”中的相关标准。

废气处理：食堂油烟须经油烟净化装置处理后排放，排放标准执行《饮食业油烟排放标准》（试行）（GB18483-2001）中的有关规定。

废物处理：固体废弃物须按照《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》中的相关规定分类、贮存、处理，并尽可能回收利用。其中废润滑油（HW08）、废乳化液/切削液（HW09）等属危险废物，须委托有资质的单位进行处置，危险废物的贮存应遵循《危险废物贮存污染控制标准》中的有关规定

噪音处理：噪声主要为磨床及研磨平台作业、切割作业、组装零部件过程中产生，经厂房和围墙的噪声、距离的衰减后排放达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）的 3 类标准。

通过采取上述治理措施，本项目实施后污染物经处理后均能达到国家和园区规定的标准。

8、本项目与北京华卓精科科技股份有限公司现有主要业务、核心技术之间的关系

公司长期专注于纳米级超精密测控技术，是国内领先的集成电路制造装备及其核心部件、精密/超精密运动系统供应商。本项目将推进公司光刻机双工件台的产业化、其他半导体设备及零部件的产能扩充，将显著提升公司生产、销售及技术服务水平。

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