钙钛矿主要设备厂商梳理：百花齐放，各有所长
来源：财信证券 思瀚 袁玮志 贺剑虹    2024-05-21

1、镀膜设备

国内光伏镀膜厂商较早布局钙钛矿，目前均有订单和实际交付产品。京山轻机、捷佳伟创、微导纳米、湖南红太阳等企业常年深耕光伏领域镀膜设备，具备各自优势领域， 拥有深厚技术积累，均较早布局钙钛矿，有望抢占先发优势，巩固在晶硅电池设备中的 优势地位。截止至今，上述公司均有钙钛矿镀膜设备订单并实现出货。

京山轻机：包装机械及光伏组件设备龙头，在镀膜及封装领域均有优势。 成立于 1957 年，主业涵盖包装机械、非标自动化和新能源等多领域的智能装备。在钙钛矿领域，公司依托子公司晟成光伏，投入大量资金建设钙钛矿太阳能电池实验中心， 搭建了一条完整的钙钛矿实验线，主要用于验证设备与产品的生产工艺。目前公司已具备了成熟的钙钛矿实验线整线供应能力，并已成功获得钙钛矿实验线整线订单。

同时， 公司在镀膜领域技术储备丰富，覆盖 PVD、ALD、蒸镀等多种技术路线。子公司晟成光 伏近年来积极推进产学研结合，与华中科技大学、南开大学等众多高校课题组建立校企 合作关系，围绕钙钛矿电池等新兴工艺和前沿领域进行深入研发。

盈利能力逐步回暖，营收连续 7 年实现正增长。京山轻机 2022 年营收 48.68 亿元， 同比+19.14%，归母净利润 3.02 亿元，同比+107.04%。23 年前三季度营收 49.54 亿元， 同比+59.40%，归母净利润 2.98 亿元，同比+48.40%。23 年前三季度净利率 6.87%，连续 5 年提升，盈利能力逐步修复。

捷佳伟创：光伏镀膜设备龙头较早布局钙钛矿，有望优势延续。 公司成立于 2003 年，在光伏设备领域深耕多年，在镀膜领域拥有深厚技术积累，具备钙钛矿及钙钛矿叠层 MW级量产型整线装备的研发和供应能力，并已向十余家光伏头部企业和行业新兴企业及研究机构提供钙钛矿装备及服务。

国内唯一一家能够提供 RPD 设备的厂商，竞争格局优秀。公司在 2018 年取得日本 住友重工 RPD 设备在中国大陆地区的独家授权，且后续持续开发了透光导电膜独家设计， 有高技术壁垒，且为独家供应，没有明显竞争风险。

公司 23 年 10 月表示公司顺利出货大面积钙钛矿薄膜立式量产设备，包括用于钙钛 矿的RPD和PVD设备，且此前公司的RPD设备已在该客户的钙钛矿研发线上投入使用， 助力客户在钙钛矿组件上实现了超过 19%的第三方认证转换效率。公司五合一团簇式钙 钛矿叠层真空镀膜设备，持续助力客户降本增效，且在 9 月 24 日官宣已实现顺利出货。

TOPCon 设备龙头实力尽显，业绩持续向好。捷佳伟创 2022 年营收 60.05 亿元，同 比+18.98%，归母净利润 10.47 亿元，同比+45.93%。23 年前三季度营收 64.05 亿元，同 比+50.48%，归母净利润 12.23 亿元，同比+48.96%，营收及净利润均已超去年全年。 2023Q1-3 公司综合毛利率为 27.89%，净利率为 19.16%，净利率已接近历史高点。

微导纳米：国产 ALD 镀膜设备龙头，精耕 ALD 镀膜技术。 公司是国内 ALD 设备龙头，以原子层沉积（ALD）技术为核心，逐步开拓其他镀膜 技术及应用。在钙钛矿领域成功研制推出匹配钙钛矿不同技术路线的三种 ALD 设备平台， 自主研发的 ALD 设备在其同类产品中市场占有率稳居全球第一梯队。2024 年 3 月交付专用量产型 ALD 设备，主要应用于钙钛矿电池 SnO2 薄膜的制备。

该设备克服了 ALD 工艺在钙钛矿环境需要的低温、无损、大面积均匀制备等工艺难点， 设计大面积 ALD 反应腔体，实现了钙钛矿产业化工艺节拍要求。同时，重点优化的流场 设计和前驱体区隔系统，满足了钙钛矿电池量产所需的膜厚均匀性等多项技术指标要求。 2023 年 11 月，微导纳米首台钙钛矿晶硅叠层电池专用 ALD 量产设备获海外客户验 收，帮助客户达成商业化电池（258.15cm² ）最新世界记录效率。

研发实力强劲，步入业绩成长期。微导纳米 2022 年营收 6.85 亿元，同比+59.96%， 归母净利润 0.54 亿元，同比+45.93%。23 年前三季度营收 10.22 亿元，同比+165.30%， 归母净利润 1.55 亿元，同比+4864.47%，营收及净利润均已超去年全年，并有大幅增长。净利润大幅增长主要系公司已度过科技企业初期的重研发时期，来到了高增长的业绩兑 现期。

湖南红太阳：央企背景，长年投身光伏镀膜技术。 公司是中国电子科技集团第 48 研究所全资子公司，依托国家光伏装备工程技术研究 中心，公司始终致力于新一代高效太阳能电池技术的工艺攻关以及关键核心装备技术突 破。

在钙钛矿领域，红太阳光电已经掌握了低损伤磁控溅射技术与大面积原子层沉积技术，具备提供 100MW 级别量产解决方案的能力。 早在 2022 年 8 月，公司首台钙钛矿用 PVD 及 ALD 镀膜设备已顺利发往某一线光伏 企业。在同年 11 月，又有钙钛矿磁控溅射镀膜设备顺利发货。2023 年 12 月，公司宣布 中标某龙头企业钙钛矿镀膜设备订单。

奥来德：OLED 发光材料及蒸发源龙头，将优势技术拓展至钙钛矿应用。蒸镀机是真空镀膜最核心的生产设备，蒸发源设备是蒸镀机的核心。真空蒸镀设备由真空抽气系统和真空腔体组成，其中真空抽气系统由（超）高真空泵、低真空泵、排气管道和阀门等组成，真空腔体内配置蒸发源、晶振片及掩膜板等不可缺少的部件。

真空腔体内设有多个放置有机材料的蒸发源并左右移动，用来加热有机材料使之气化蒸发 并沉积至基板上成薄膜。蒸发源作为进行蒸镀的核心组件，其性能决定着蒸镀过程中的 镀膜厚度和均匀度，可视作蒸镀设备的“心脏”。

通过蒸发源技术的领先，公司积极拓展钙钛矿设备业务。目前钙钛矿层制备中，蒸镀法由于成本及效率问题导致应用并不广泛，公司主推采用线性蒸发源的蒸镀机能较好 满足钙钛矿光伏电池的量产制备，可以提高钙钛矿光伏电池大面积制备的均匀性、批次稳定性、连续重复生产等能力。基于公司在蒸发源及蒸镀技术上深厚的技术积累，公司具备制作出低成本、高效率、高均一性的钙钛矿蒸镀设备的潜力，有望推动蒸镀在钙钛 矿层制备中的运用。

持续稳健经营，静待新领域及 OLED 行业带来增量。奥来德 2022 年营收 4.59 亿元， 同比+13.03%，归母净利润 1.13 亿元，同比-16.93%。23 年前三季度营收 4.15 亿元，同 比+5.43%，归母净利润 0.98 亿元，同比+-12.65%。

2、 涂布设备

钙钛矿涂布设备厂商目前较少，龙头德沪涂膜占据大部分份额。德沪涂膜较早与协鑫光电合作，为全球第一条 100MW 钙钛矿提供了首台套设备，之后始终占据领先地位，龙头实力尽显。曼恩斯特为涂布模头龙头，依托在锂电领域的成功经验将涂布技术拓展至钙钛矿应用，我们认为充足的技术积累是公司的优势，可以期待公司在钙钛矿领域的表现。其余厂商如大正微纳，众能光电等也有涂布设备布局。

德沪涂膜：钙钛矿涂布设备龙头，可与日本东丽、DNS、中外炉等全球狭缝涂布设 备巨头竞争。 公司成立于 2016 年，从事精密成膜技术、核心装备制造及系统集成的研发、生产及 销售，核心产品为“德沪三件套 CDA：涂膜（coater）、真空干燥（VCD）、退火（annuelling）”。

在钙钛矿电池领域，德沪涂膜在 100MWs 大尺寸中试线核心涂膜设备的市占率达 80%以 上（其余不到 20%大多为日本友商），且公司设备验收成功率 100%，表明了市场对公司 产品的认可。德沪涂膜分获 2019 年、2022 年国家科技部单结钙钛矿、叠层钙钛矿重大科技专项，主持开发钙钛矿量产核心涂膜设备。

近日，德沪涂膜设备（苏州）有限公司成功打入美国市场，首获钙钛矿电池制造设备订单。德沪计划在两年内将设备零部件国产 化比例从原来的 60%多提高到 95%以上，以此降低设备成本，换取更为优秀的竞争力和 客户体验。

曼恩斯特：国产涂布模头龙头，国际先进的涂布技术解决方案供应商。公司成立于 2014 年，自成立以来定调以涂布技术研发、应用为核心，后成功打破涂布模头海外垄断，成为国内涂布模头第一股，并逐步横向拓展涂布技术应用领域。作为平台型的涂布技术企业，公司在钙钛矿单结及叠层的技术路线均有相应的技术布局及储备。

基于狭缝式涂布技术优势，公司在钙钛矿领域已搭建了高标准的平板类涂布工程中 心，并形成大尺寸钙钛矿产业化“配方-工艺-设备”协同研究的开发能力，通过自研的定 制化涂布模头、高精密注射泵及全栈技术等关键技术，已完成大面积溶液薄膜均匀涂布 及结晶一体化布局，可以用于制备钙钛矿层、传输层及修饰钝化层。在干燥工序方面， 公司的钙钛矿涂布整机设备也搭载了自主研发的真空干燥预结晶系统。 公司现已形成较为成熟的狭缝式涂布解决方案的供应能力，产品涵盖 GW 级、中试 线及实验线等。具体而言，公司在钙钛矿太阳能电池领域的涂布设备涵盖 GW 级（2300 ×1200mm）、中试线（1600×1200mm、1200×600mm）等产线以及实验室（330×430mm、 300×400mm、300×300mm）。其中，公司已有销售订单的基板尺寸包含 1200×600mm、 300×400mm、300×300mm，部分销售订单已完成出货。

涂布模头国产替代逻辑清晰，受益于新能源领域高景气度。捷佳伟创 2022 年营收 60.05 亿元，同比+18.98%，归母净利润 10.47 亿元，同比+45.93%。23 年前三季度营收 64.05 亿元，同比+50.48%，归母净利润 12.23 亿元，同比+48.96%，营收及净利润均已超 去年全年。2023Q1-3 公司综合毛利率为 27.89%，净利率为 19.16%，净利率已接近历史 高点。

3、激光设备

钙钛矿激光设备精度要求高，主要由传统激光龙头供给。目前钙钛矿激光设备基于 其精度要求，主要由主营业务为激光器或激光设备的公司供给，非激光领域公司短时间 内竞争力难以与传统激光企业竞争。已实现出货的公司有杰普特、德龙激光等激光器龙 头企业，也有帝尔激光、大族激光等激光设备龙头企业。

杰普特：MOPA 激光器龙头，唯一布局柔性钙钛矿模切设备。 公司成立于 2006 年，国家级专精特新“小巨人”，主营业务包含激光器和主要用于 集成电路和半导体光电相关器件精密检测及微加工的智能装备，是我国首家商用“脉宽 可调高功率脉冲光纤激光器（MOPA 脉冲光纤激光器）”供应商。

2019 年杰普特进入薄膜电池光伏电池行业，与客户合作验证柔性钙钛矿电池激光划线，率先使用超窄脉宽激光对产品进行工艺验证，获得较好结果；超窄脉宽激光相比纳 秒激光有明显优势，并确立以皮秒光源作为钙钛矿光伏电池激光划线设备的主要光源。 2021 年，公司上半年交付国内第一台柔性钙钛矿光伏电池中试机。2023 年，杰普特成功 赢得了首个百兆瓦级别的订单，与钙钛矿光伏电池领军企业协鑫光电合作，为其打造 100MW 钙钛矿光伏电池量产线激光划线全套设备。2023 年 7 月底，整套 100MW 钙钛矿 激光划线设备已顺利交付。

MOPA 激光器龙头深耕光学设备，逐步剥离亏损业务。杰普特 2022 年营收 11.73 亿 元，同比-2.17%，归母净利润 0.77 亿元，同比-16.00%。23 年前三季度营收 9.04 亿元，同比+12.10%，归母净利润 0.84 亿元，同比+64.12%。2023Q1-3 公司综合毛利率为 39.45%， 相较去年全年+3.82pct，净利率为 9.24%，相较去年全年+2.76pct，在剥离亏损的钣金切 割业务之后，公司盈利能力回升明显。

德龙激光：精密激光加工设备领军者，布局钙钛矿打开空间。 苏州德龙激光成立于 2005 年，主营业务为高端工业应用精密激光加工设备及其核心 器件激光器的研发、生产和销售。公司专注于激光精细微加工领域，凭借先进的激光器 技术、高精度运动控制技术以及深厚的激光精细微加工工艺积淀，聚焦于泛半导体、新 型电子及新能源等应用领域，为各种超薄、超硬、脆性、柔性及各种复合材料提供激光 加工解决方案。

在激光器领域，公司目前已拥有纳秒、超快（皮秒、飞秒）及可调脉宽系列固体激 光器的核心技术和工业级量产的成熟产品。从激光器分类来看，固体激光器更加适用于 精细微加工，固体激光器，尤其是短波长、短脉宽的紫外皮秒、紫外飞秒激光器，在目 前新能源、半导体等领域的精细微加工领域应用最为广泛。钙钛矿激光环节对精度要求 极高，是标准的精细微加工领域，也是公司的优势所在。

业绩短期承压，研发费用较高。德龙激光 2022 年营收 5.68 亿元，同比+3.48%，归 母净利润 0.67 亿元，同比-23.16%。23 年前三季度营收 3.28 亿元，同比-8.21%，归母净 利润-0.07 亿元，同比-120.81%。公司近期业绩承压，主要系研发费用增长明显。

大族激光：激光领域龙头，各应用领域均有布局。 大族激光成立于 1996 年，经过 27 年的积累，成为了一家专业从事智能制造装备及 其关键器件的研发、生产和销售的高新技术企业，具备从基础器件、整机设备到工艺解 决方案的垂直一体化优势，是全球领先的智能制造装备整体解决方案服务商。其主要产 品涵盖通用元件及行业普及产品、行业专机产品、极限制造产品三大类。

截止至 2023 年 H1，公司光伏设备业务实现营业收入 0.98 亿元，同比增长 46.96%， 在手订单 4.30 亿元。今年上半年，大族激光 PECVD（等离子增强气相沉积设备）、扩散炉、退火炉等设备中标 TOPCON 电池行业客户批量订单。钙钛矿技术领域，凭借多年在 薄膜电池领域的技术积累，大族激光自主研发了钙钛矿激光刻划设备，已实现量产销售， 与协鑫光电等行业头部客户一直保持合作关系。 激光龙头受行业周期影响较大，业绩短期承压。

大族激光 2022 年营收 149.61 亿元， 同比-8.40%，归母净利润 12.10 亿元，同比-39.35%。23 年前三季度营收 93.87 亿元，同 比-6.92%，归母净利润 6.32 亿元，同比-23.12%。激光器及激光设备行业近年价格战问题较为严重，大族作为行业龙头短期业绩受行业影响较大。

帝尔激光：光伏领域激光设备龙头，深耕电池片环节激光设备。 帝尔激光成立于 2008 年，公司在微纳级激光精密加工领域深耕多年，是国内首次将激光技术导入光伏太阳能电池路线的国家高新技术企业，公司会继续深耕光伏，通过技术的开发和客户的共同研发来提升转换效率，解决行业痛点，同时也会拓展到半导体、 面板显示和消费电子领域。公司此前也表示，一直保有钙钛矿激光技术储备，2022 年已 有钙钛矿工艺设备订单交付。

光伏激光龙头受益于下游需求增长，业绩持续向上。帝尔激光 2022 年营收 13.24 亿 元，同比+5.37%，归母净利润 4.11 亿元，同比+7.92%。23 年前三季度营收 11.52 亿元，同比+9.40%，归母净利润 3.40 亿元，同比+0.93%。

来源：财信证券 思瀚 袁玮志 贺剑虹