静电卡盘市场前景及发展趋势
思瀚产业研究院 华卓精科    2025-04-17

①静电卡盘简介

静电卡盘（E-CHUCK）是一种适用于真空及等离子体工况环境的超洁净晶圆片承载体，它利用静电吸附原理进行超薄晶圆片的平整均匀夹持，在集成电路制造中是 PVD 设备、刻蚀机、离子注入机等高端装备的核心部件。静电卡盘产品相较于机械卡盘，减少了机械运动部件，颗粒污染降低，增大了晶片的有效面积；与真空卡盘比较，可用于低压强（真空）环境，适用于需要利用卡盘控制晶片温度的场合。

②静电卡盘市场前景

静电卡盘市场主要由 PVD 设备、刻蚀机、离子注入机等高端半导体装备需求推动。受益于晶圆厂在中国大陆大规模投建，中国半导体设备销售额占全球比例快速上升，根据 SEMI 统计，2018 年中国大陆半导体设备市场规模达 131.10亿美元，同比增长 59.30%，高于全球半导体设备市场规模同比增长率 13.97%，中国大陆成为半导体设备市场规模增长最快的地区，进而推动静电卡盘市场的快速增长。

③静电卡盘发展趋势

除所承载晶圆规格尺寸逐步增大之外，静电卡盘的发展趋势主要表现为温度均匀性控制需求提升，即分区温控温区数量的提高。2000 年前后，分区温控温区数量一般为 2 区，2000 年至 2005 年期间，分区温控温区数量一般为 4 区，而在现阶段，已有超过 100 温区的静电卡盘产品被研发生产并投入实际应用。

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