半导体和显示面板设备零部件表面处理行业发展情况
思瀚产业研究院 臻宝科技    2025-07-17

表面处理既是硅、石英、陶瓷和金属等材质零部件制造的主要工序之一，也可用于旧零部件的更新，如精密清洗可以清除其表面的污染附着物，阳极氧化和熔射再生可以改善或克服母材弱点，提高零部件的耐腐蚀性，延长使用寿命。

根据弗若斯特沙利文数据，针对新品制造的表面处理服务市场规模相对较小（仅考虑由设备厂商委托专业第三方表面处理服务厂商的部分，不包括设备厂商自行实施的部分），仅约占整体市场规模的 5%；对旧零部件的表面处理约占整体市场规模的 95%，是行业主要需求来源。

（1）表面处理分类

半导体及显示面板设备反应腔内零部件由于长期处于真空、高温、高电压的特殊环境，需通过表面处理工艺，实现零部件在特殊环境下的耐腐蚀、耐击穿电压、耐高温、平整度、洁净度和粗糙度等性能，因此表面处理是设备零部件生产以及再生的核心工序，直接影响设备零部件的核心性能，对设备和工艺稳定性、质量和良率有重要影响。表面处理主要包括精密清洗、阳极氧化和熔射再生等工序。

1）精密清洗

在集成电路和显示面板制造过程中，污染物会附着在设备零部件表面，尤其是腔体内零部件由于直接暴露在工艺反应环境中，其表面会吸附多种副产物。精密清洗主要采用物理清洗、化学清洗等方式去除设备零部件的表面污染物，防止污染物影响晶圆和玻璃基板的良率。

2）阳极氧化

阳极氧化是将铝合金材质零部件置于特定环境下的电解液中，通过电化学反应，使其表面形成几十至几百微米厚的氧化膜，以此改善零部件表面的硬度、耐磨性和耐腐蚀性，从而有效提高腔体部件对工艺反应环境的耐电压性能和耐腐蚀性能。

3）熔射再生

通过使用少量特殊材料制备特殊功能涂层，显著提高零部件表面耐腐蚀性能，形成特定表面形貌，延长使用寿命。公司的熔射再生服务主要包括等离子熔射和电弧铝熔射。

① 等离子熔射

等离子喷枪以等离子体的方式，将熔射粉高温熔化，形成中心温度 1 万度以上的高速等离子焰流，使其沉积到各类材质的基体表面，以提高其耐腐蚀性。

② 电弧铝熔射

电弧铝熔射是利用大电流产生的电弧将两股线状铝材熔化，使用高速气流将熔化的铝雾化并加速喷向基材，从而在零部件基材表面涂覆铝层，以形成零部件的特定表面形貌。

（2）表面处理市场规模

1）半导体设备表面处理服务市场规模

随着中国半导体行业的不断发展，中国晶圆厂产能迅速扩大，也相应带动了相关表面处理服务市场的发展。根据弗若斯特沙利文数据，按表面处理服务提供商收入角度统计，中国半导体设备零部件表面处理服务市场规模从2019年的16.5亿元上升至2023年的34.6亿元，期间的年复合增长率达到 20.3%，预计 2028 年市场规模将达到 57.1 亿元。

根据弗若斯特沙利文数据，按表面处理服务类型统计，精密清洗服务所占比例最高，其次是熔射再生和阳极氧化。2023 年，精密清洗、熔射再生及阳极氧化服务占比分别为59.8%、30.1%和 8.1%，预计 2024-2028 年，精密清洗、熔射再生和阳极氧化服务的复合增长率分别为 8.3%、12.9%和 15.3%。

2）显示面板设备表面处理服务市场规模

随着我国显示面板产能规模不断增长，显示面板设备及零部件市场需求不断增加，零部件相关的表面处理服务市场也快速发展。根据弗若斯特沙利文数据，按表面处理服务提供商收入角度统计，显示面板相关的表面处理服务市场规模由 2019 年的 9.8 亿元增长至2023 年的 21.9 亿元，期间年复合增长率为 22.3%，2028 年市场规模将达到 37.0 亿元。

根据弗若斯特沙利文数据，按表面处理服务类型统计，熔射再生所占比例最高，其次是精密清洗和阳极氧化，2023 年，熔射再生、精密清洗及阳极氧化服务占比分别为 40.6%、29.2%和 25.6%，预计 2024-2028 年，熔射再生、精密清洗及阳极氧化服务的复合增长率分别为 12.0%、10.2%和 12.6%。

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