MEMS射频器件行业发展态势及未来趋势
思瀚产业研究院 中芯集成    2023-05-05

MEMS 射频器件 （RF MEMS）是 MEMS 技术的重要应用领域之一。

MEMS 射频器件用于射频和微波频率电路中的信号处理，是一项将能对现有雷达和通讯中射频结构产生重大影响的技术。

随着信息时代的来临，在无线通信领域，特别是在移动通信和卫星通信领域，正迫切需要一些低功耗、超小型化且能与信号处理电路集成的新型器件，并希望能覆盖包括微波、毫米波和亚毫米波在内的宽频波段。采用 MEMS 技术制造的无源器件能够直接和有源电路集成在同一芯片内，实现射频系统的片内高集成，消除由片外分立元件带来的寄生损耗，真正做到系统的高内聚、低耦合，能显著提高系统的性能。

MEMS 技术在射频领域的应用可分为可动的和固定的两类。可动的 MEMS器件包括开关、调谐器和可变电容，固定的 MEMS 器件包括本体微机械加工传输线、耦合器和滤波器。其中，滤波器是射频前端的关键核心器件之一，约占整个射频前端市场超过 60%的份额。根据 Yole 统计，2020 年 MEMS 射频器件的市场规模为 21 亿美元，预计 2026年市场规模将达到 40 亿美元。