高性能及工业级MEMS加速度计开发及产业化项目可行性研究报告
思瀚产业研究院 芯动联科    2023-06-27

不同应用领域对加速度计的性能具有不同的要求。为评价加速度计的性能， 行业定义了一系列技术指标，其中零偏稳定性是衡量加速度计性能的主要核心指标。

机械摆式加速度计及高精度石英谐振加速度计按照性能主要归类为战略级和导航级，主要应用于航天、航海陆地巡航等领域；MEMS 加速度计和石英加 速度计主要属于战术级和导航级加速度计，主要用于航空、长航时无人系统及高 端工业领域。

公司高性能 MEMS 加速度计的核心性能指标可达到导航级精度 水平，以公司加速度计 35 系列 HC 型号为例，其零偏稳定性为 20μg、标度因 数精度低于 500ppm，上述核心性能指标满足导航级加速度计的要求。应用不同 技术、处于不同级别的加速度计性能情况如下图所示：

传统的高性能加速度计如传统石英加速度计、机械摆式再平衡加速度计等产 品，主要是为系统复杂、高价值应用平台（如卫星、飞船、飞机、高铁、舰艇、 石油开采设备）提供惯性技术服务，但由于其体积大、价格高、抗机械冲击能力差，大规模量产能力有限，同时也制约上述应用平台小型化，低成本化、智能化发展。公司高性能 MEMS 加速度计可替代目前传统石英摆式加速度计和传统机 械加速度计，实现低成本、批量化生产。

（一）项目概况

本项目的建设重点是在谐振式高性能加速度计和工业级三轴加速度计的研发基础之上，实现高性能及工业级 MEMS 加速度计的量产。其中，高性能 MEMS加速度计传感器技术的开发重点为设计 MEMS 调频加速度计的惯性器件，以得到目前调幅加速度计无法达到的更好的性能等。

工业级 MEMS 加速度计的技术开发重点为对目前单轴高性能的 MEMS 加速度计产品进行面积、功耗方面的优化，以适应工业级应用小型化、低功耗以及平面化的需求。

本项目建设内容包括新一代高性能 MEMS 加速度计和工业级三轴加速度计的开发和产业化。其中，高性能 MEMS 加速度计采用谐振式原理，可以得到比目前普通电容式加速度计更高的性能，适用于地震监测、石油勘探等应用场景。

工业级三轴 MEMS 加速度计具有低噪声、小体积、低功耗、高性价比等特点，适用于振动监测、倾角测量、惯性导航等多个领域，可不断扩大公司产品的应用范围，为客户提供更丰富的惯性传感器产品组合。

本项目位于北京市海淀区，采用购置办公场地的形式实施，面积为 780.00平方米，其中办公场地 280.00 平方米，实验场地 500.00 平方米。目前该项目正处于前期准备阶段，未来公司将以合法、合规的程序购置办公场地，并合理履行审批程序等，预计不会对本次募投项目建设构成障碍。

（二）项目投资概算

本项目建设期三年，计划总投资 14,661.33 万元。

（三）项目建设期

整个项目建设期为 3 年。

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