目前主流应用的显示技术为LCD和OLED,在海兹定律(即在给定的光波长下,每流明成本每十年降低10倍,每LED组件的发光量每十年提高20倍)驱动下,从中长期看,新型显示技术如柔性电子、Mini/Micro LED市场规模将快速提升。
水汽穿透率(WVTR)是衡量膜层抗水氧的重要指标,由于显示器件被水和氧气渗透后极易发生老化变性,导致器件亮度和使用寿命出现明显衰减,因此需要使用阻水阻氧材料进行封装保护,其中可弯折的柔性OLED显示器对水汽较为敏感,其WVTR指标需要达到10-4g/m/d以下。
其他新型显示技术的WVTR至少也需要小于10-3g/m/d的程度,才能保证在严苛环境之下的可靠度。考虑到新型显示技术对封装保护的更高要求,而ALD膜层拥有高密度、无针孔、保型性能好、绝缘、阻水阻氧等特点,柔性OLED等新型显示技术开始使用ALD膜层来保证其稳定性。
早期的LED加工工艺要求的精密度无法与集成电路相比,防水汽与防氧化也没有OLED那么严格,但随着芯片尺寸持续缩小的趋势与高功率密度芯片级别封装CSP的兴起,ALD技术优势逐渐体现,并进入新型显示行业的视线,ALD技术的市场需求将进一步扩大。