湿电子化学品行业发展概况
思瀚产业研究院 德尔科技    2023-09-16

①湿电子化学品基本情况

湿电子化学品又称超净高纯试剂，是微电子、光电子湿法工艺制程中使用的各种液体化工材料，也是重要的晶圆制造材料之一。

由于下游行业对工艺品控要求极高，对电子湿化学品的纯度、洁净度、精度等特性具有严苛的要求，一般要求控制杂质颗粒粒径低于 0.5µm，金属杂质含量低于 ppm 级（10-6为 ppm，10-9为 ppb，10-12为 ppt），所以湿电子化学品具有高技术门槛、高附加值的显著特点。

湿电子化学品从高纯化学试剂产品发展而来，20 世纪 60 年代末出现用于集成电路制造的电子级专用化学试剂，主要用于集成电路制造的清洗、蚀刻、掺杂、显影、晶圆表面处理、去膜、去光刻胶等工艺。

1975 年，国际半导体设备与材料组织成立 SEMI 化学试剂标准委员会对湿电子化学品的等级标准进行统一规范，将电子湿化学品按金属杂质、控制粒径、颗粒个数和应用范围等指标制定国际等级分类标准。电子湿化学品在各应用领域的产品标准有所不同，光伏一般只需要 G1 级水平。

显示面板和 LED 对电子湿化学品的等级要求一般为 G2 级、G3级水平；集成电路对电子湿化学品的纯度要求较高，基本集中在 G3 级以上水平，晶圆尺寸越大对纯度要求越高，12 英寸晶圆制造一般要求 G4 级以上水平，尤其对 G5 级产品需求更加迫切。随着集成电路制程的不断提升，G4 级以上级别的湿电子化学品生产技术日趋完善，湿电子化学品已成为超大规模集成电路制造业快速发展中不可缺少、支撑其新技术发展的重要辅助工艺材料。

②湿电子化学品市场规模及国产化情况

A.全球湿电子化学品市场规模

湿电子化学品主要应用于集成电路、显示面板、光伏等新兴技术领域，近年来下游领域高速发展，湿电子化学品需求大幅增加。根据中国电子材料行业协会数据，2021 年全球集成电路、显示面板、光伏三个应用领域湿电子化学品需求总量达到 458.3 万吨，其中集成电路领域用湿电子化学品需求量达到 209.0 万吨，显示面板领域用湿电子化学品需求量达到 167.2 万吨，光伏领域用湿电子化学品需求量达到 82.1 万吨。

全球晶圆厂的陆续建成投产以及显示面板、光伏产业的发展将继续推动湿电子化学品行业快速增长，预计到 2025 年全球集成电路领域用湿电子化学品需求量将增长至 313.0 万吨，新型显示面板用湿电子化学品需求量将增长至 244.0 万吨，光伏太阳能电池领域对湿电子化学品需求量增长至 140.2 万吨，上述三大领域用湿电子化学品需求量总计将达到 697.2 万吨。

随着各应用领域需求量的提升，湿电子化学品全球市场规模不断扩大。根据中国电子材料行业协会推算，2021 年全球集成电路用湿电子化学品市场规模已增加到 61.7 亿美元，同比增长 18%，预计 2022 年将增长到 64.9 亿美元，2025年将进一步增加到 75.5 亿美元。

随着消费类电子产品、人机互动等多领域显示面板的应用，显示面板的出货量将不断增加，推动全球显示面板用湿电子化学品市场规模迅速发展，2021 年全球显示面板用湿电子化学品市场规模已达 138.8 亿元，预计 2025 年将达 210.2亿元，年均复合增速达到 10.93%。

全球光伏领域中用湿电子化学品市场规模近年来快速增长，在“碳中和、碳达峰”目标要求下，光伏领域作为节能环保的新型能源将得到快速推广应用，将推动湿电子化学品市场规模迅速增长，2021 年全球光伏用湿电子化学品市场规模达到 55.8 亿元，预计 2025 年将达到 91.1 亿元，年均复合增速将达到 13.03%。

B.中国湿电子化学品市场规模

近年来，在政策的支持下，产、学、研、用结合发展，我国电子工业整体实力逐步增强，在半导体、显示面板、光伏等重要领域逐步形成高价值、强竞争力的产业生态，湿电子化学品的需求缺口不断扩大。根据中国电子材料行业协会数据显示，2021 年我国湿电子化学品需求总计达 213.5 万吨，预计到 2025 年国内湿电子化学品市场需求将增长至 369.6 万吨。

湿电子化学品需求快速增长的同时，我国湿电子化学品市场空间不断扩大。根据中国电子材料行业协会数据显示，2021 年我国湿电子化学品总体市场规模已达到 160.2 亿元，未来将保持高增速增长，预计 2025 年将达到至 287.4 亿元。

当前，我国湿电子化学品产业整体呈现出结构性发展不均衡的特点，高端产品仍存在不足，国产化率仍较低。在集成电路领域，2021 年我国集成电路用湿电子化学品整体国产化率达到 35%，电子级硫酸、磷酸、盐酸、硝酸、氢氟酸等酸类产品，在 8 英寸晶圆制造方面已基本实现大批量供货，在 12 英寸晶圆制造方面的应用也在稳步推进。

在显示面板领域，随着 LCD、OLED 产业的快速发展，湿电子化学品需求快速增加，但国内湿电子化学品企业整体进展未能完全满足下游发展变化。国内新型显示面板用湿电子化学品整体国产化率不足 40%，国产化仍有较大发展空间；光伏太阳能电池领域用湿电子化学品，因其纯度要求相对较低，国内企业基本实现自主供应，国产化率已超过 80%。

③湿电子化学品主要应用领域

湿电子化学品主要应用领域包括集成电路、显示面板、光伏等各应用领域对湿电子化学品的要求不同，其中集成电路要求较高，所需湿电子化学品纯度、杂质含量通常需要达到 SEMI C8（G3）级别以上，新型显示面板、太阳能电池领域可选用电子级，即化学试剂 EL 级的湿电子化学品。

当前全球湿电子化学品行业技术发展主要体现在超大规模集成电路领域，随着集成电路制造工艺愈发复杂，精细化程度不断提高，对湿法工艺的技术要求愈发严苛，硫酸、盐酸、氢氟酸、磷酸、氨水、双氧水等通用工艺化学品的金属杂质要求、纯度要求不断向着更高标准提升。