半导体前道量检测设备行业未来发展趋势及行业竞争格局
思瀚产业研究院 卓海科技    2024-06-26

1、半导体前道量检测设备行业未来发展趋势

（1）自研和修复市场均在持续探索发展路径，产业发展进程有望持续推进

前道量检测设备市场需求旺盛但产业发展水平较低，行业被少数国际龙头企业所占据，不管是先进制程还是成熟制程市场，国内企业的市场份额均相对较少。但是，随着国家对前道量检测设备行业的政策扶持，以及国内相关企业的不断积累，未来前道量检测设备行业的发展路径将更加明晰。

在自研设备领域，近年来中科飞测、上海精测等企业发展迅速，已经取得一定的市场规模，卓海科技亦通过“自下而上、修研并举”的业务发展模式，顺利实现多个细分自研产品的商业化。未来，随着国内企业对前道量检测设备技术原理、制造工艺等方面的进一步理解，设备的商业化进程将不断推进，行业的发展有望持续提升。

在修复设备领域，一方面，以卓海科技为代表的的国内修复设备龙头企业已经取得了一定的市场份额，并不断开展与国外巨头修复部门的竞争，为芯片的生产提供稳定、可靠的设备支持，并伴随持续的运维服务，保障我国半导体行业的安全稳定。另一方面，针对国内厂商普遍存在的核心组件依赖于国外供应商的情况，以卓海科技为代表的的国内修复设备企业，亦展开了一系列的研发，以实现核心组件的发展，避免因国外供应商对核心组件断供，导致芯片的生产面临“以小制大”的问题。通过国内企业在自研和修复两个市场的不断探索，前道量检测设备的发展有望持续推进。

（2）在修复设备市场，技术迭代能力强、修复经验丰富的头部企业的优势地位将更加明显

如前文所述，芯片产线客户具有着持续提升工艺节点的需求，而随着工艺节点的提升，产品复杂程度亦会有所提高，对应的修复难度也将进一步提升。而前道量检测设备属于高精密仪器，涉及光学、物理学、机械学、算法等多领域学科的交叉，修复企业须持续学习新的理论知识，并不断实现修复工艺平台的迭代，方可应对新的修复需求。

随着上游退役设备工艺节点的迭代，传统的小型修复企业由于技术经验少、业务范围窄、研发能力弱，将逐渐不能适应新的行业环境，而以卓海科技为代表的头部企业，具备长期的修复行业经验，对市场上主流机型均有所布局，且有能力不断迭代修复工艺平台，因而竞争优势将在未来不断凸显，从而获得更多的市场份额。

而相对于原厂修复部门，国内头部修复企业通过技术追赶，逐渐缩小技术差距，并通过供应链的培育、核心组件及零部件的研发等方式，形成自身的竞争优势。此外，头部修复企业对市面上各类品牌的产品均有所研究，而原厂修复部门往往仅专注于自身品牌产品的修复，在技术路线广度方面，头部修复企业亦存在一定的优势。在上述背景下，头部修复企业对于原厂修复业务替代，亦会不断持续。

2、半导体前道量检测设备竞争格局

半导体前道量检测设备行业呈现国际主导格局，行业主要由 KLA、AMAT、Hitachi、ASML 等国际原厂及其修复部门占据主导地位，具体市场格局如下：

（1）自研设备市场

我国在半导体前道量检测设备领域起步较晚，在自研设备市场，国内企业还处于初步发展阶段，虽然在部分细分领域实现了突破，但产品的成熟度还远远未能满足下游的迫切需求。与国际巨头 KLA、AMAT、Hitachi 相比，一方面，国内企业整体技术水平存在一定差距，另一方面较多国内企业的自研产品还处于客户验证等初级阶段，商业化程度不高，距离大规模、批量化交付，还需要较长的时间。

目前，行业内已经涌现出中科飞测、上海精测等企业，其整体业务规模已经达到一定水平。卓海科技亦从 2020 年开始，积极布局自研业务。经过多年的积淀，截至报告期末，卓海科技已经实现了部分自研产品的收入，并取得一定规模的在手订单，具备了一定的商业化能力。未来，以中科飞测、上海精测以及卓海科技为代表的我国企业，有望依靠持续的研发投入和日趋成熟的商业化模式脱颖而出，不断参与到与国际巨头产品的竞争中。

（2）修复设备市场

我国半导体前道量检测修复设备市场目前由 KLA、AMAT 等国际原厂的修复部门占据主导地位，但以卓海科技为代表的我国修复厂商持续提升修复能力，已逐渐形成对国际原厂修复部门的有效竞争。

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