思瀚发布《中国半导体清洗设备行业发展态势与投资战略分析报告》
思瀚产业研究院    2024-11-12

半导体清洗用于去除半导体硅片制造、晶圆制造和封装测试每个步骤中可能存在的杂质，避免杂质影响芯片良率和芯片产品性能。

目前，随着芯片制造工艺先进程度的持续提升，对晶圆表面污染物的控制要求不断提高，每一步光刻、刻蚀、沉积等重复性工序后，都需要一步清洗工序，以满足不断提升的产品质量需求。

根据 Gartner 数据，2020 年全球半导体清洗设备市场规模为 34 亿美元，随着半导体下游需求回暖，晶圆厂保持高额资本开支，预测 2026 年全球半导体清洗设备市场规模将达 65 亿美元，对应年均复合增长率为 11.78%，其中单片清洗设备占整体清洗设备市场份额约为 70%。

根据清洗介质的不同，半导体清洗技术主要分为湿法清洗和干法清洗，其中湿法清洗是主流技术路线，湿法清洗步骤数量占芯片制造中清洗步骤数量的90%以上。

湿法清洗：针对不同的工艺需求，采用特定的化学药液和去离子水，对晶圆表面进行无损伤清洗，以去除晶圆制造过程中的颗粒、自然氧化层、有机物、金属污染、牺牲层、抛光残留物等物质，可同时采用超声波、加热、真空等辅助技术手段。

干法清洗：不使用化学溶剂的清洗技术，主要包括等离子清洗、超临界气相清洗、束流清洗等技术。干法清洗主要是采用气态的氢氟酸刻蚀不规则分布的有结构的晶圆二氧化硅层，虽然具有对不同薄膜有高选择比的优点，但可清洗污染物比较单一，目前在28nm及以下技术节点的逻辑产品和存储产品有应用。

晶圆制造产线上通常以湿法清洗为主，少量特定步骤采用湿法和干法清洗相结合的方式互补所短，构建清洗方案。未来清洗设备的湿法工艺与干法工艺仍将并存发展，均在各自领域内向技术节点更先进、功能多样化、体积小、效率高、能耗低等方向发展，在短期内湿法工艺和干法工艺无相互替代的趋势。

湿法清洗方法及工艺简介

溶液浸泡法

清洗介质化学药液，主要用于槽式清洗设备，将待清洗晶圆放入溶液中浸泡，通过溶液与晶圆表面及杂质的化学反应达到去除污染物的目的

机械刷洗法

清洗介质去离子水，主要配置专用刷洗器，配合去离子水利用刷头与晶圆表面的摩擦力以达到去除颗粒的清洗方法

二流体清洗

清洗介质SC-1溶液，去离子水等，在喷嘴的两端分别通入液体介质和高纯氮气，使用高纯氮气为动力，辅助液体微雾化成极微细的液体粒子被喷射至晶圆表面，从而达到去除颗粒的效果。

超声波清洗

清洗介质化学溶剂加超声辅助，在20-40kHz超声波下清洗，内部产生空腔泡，泡消失时将表面的杂质解吸。

兆声波清洗

清洗介质化学溶剂加兆声波辅助，与超声波清洗类似，但使用1-3MHz工艺频率的兆声波。

批式旋转喷淋法

清洗介质高压喷淋去离子水或清洗液，清洗室腔配置转盘，可一次装载至少两个晶圆盒，载旋转过程中通过液体喷柱不断向圆片表面喷淋液体去除表面杂质。

干法清洗

等离子清洗

清洗介质氧气等离子体，在强电场的作用下，使得以前那个其产生等离子体，迅速使光刻胶气化成为可挥发性气体状态物质并被抽走。

气相清洗

清洗介质化学试剂的气相等效物，利用液体工艺中对应物质的气相等效物与圆片表面的玷污物质相互作用。

束流清洗

清洗介质高能束流状物质，利用高能量的呈束流状的物质流与圆片表面的玷污杂质发生相互作用而达到清楚圆片表面杂质的作用。

湿法清洗工艺路线下，主流的清洗设备中单片清洗设备市场份额最高。在湿法清洗工艺路线下，目前主流的清洗设备主要包括单片清洗设备、槽式清洗设备、组合式清洗设备和批式旋转喷淋清洗设备等，其中单片清洗设备市场份额占比最高。湿法清洗工艺路线下主流的清洗设备存在先进程度的区分，主要体现在可清洗颗粒大小，金属污染，腐蚀均一性以及干燥技术等标准。

在集成电路制造的先进工艺中，单片清洗已逐步取代槽式清洗成为主流。首先，单片清洗能够在整个制造周期提供更好的工艺控制，改善了单个晶圆和不同晶圆间的均匀性，提高了产品良率；其次，更大尺寸的晶圆和更先进的工艺对于杂质更敏感，槽式清洗出现交叉污染的影响会更大，进而危及整批晶圆的良率，会带来高成本的芯片返工支出。此外，单片槽式组合清洗技术的出现，可以综合单片清洗和槽式清洗的优点，在提高清洗能力及效率的同时，减少硫酸的使用量。

第一章 2019-2023年中国半导体清洗设备行业发展概述

第一节 半导体清洗设备行业发展情况概述

一、半导体清洗设备行业相关定义

二、半导体清洗设备特点分析

三、半导体清洗设备行业基本情况介绍

四、半导体清洗设备行业经营模式

1、生产模式

2、采购模式

3、销售/服务模式

五、半导体清洗设备行业需求主体分析

第二节 中国半导体清洗设备行业生命周期分析

一、半导体清洗设备行业生命周期理论概述

二、半导体清洗设备行业所属的生命周期分析

第三节 半导体清洗设备行业经济指标分析

一、半导体清洗设备行业的赢利性分析

二、半导体清洗设备行业的经济周期分析

三、半导体清洗设备行业附加值的提升空间分析

第二章 2019-2023年全球半导体清洗设备行业市场发展现状分析

第一节 全球半导体清洗设备行业发展历程回顾

第二节 全球半导体清洗设备行业市场规模与区域分布情况

第三节 亚洲半导体清洗设备行业地区市场分析

一、亚洲半导体清洗设备行业市场现状分析

二、亚洲半导体清洗设备行业市场规模与市场需求分析

三、亚洲半导体清洗设备行业市场前景分析

第四节 北美半导体清洗设备行业地区市场分析

一、北美半导体清洗设备行业市场现状分析

二、北美半导体清洗设备行业市场规模与市场需求分析

三、北美半导体清洗设备行业市场前景分析

第五节 欧洲半导体清洗设备行业地区市场分析

一、欧洲半导体清洗设备行业市场现状分析

二、欧洲半导体清洗设备行业市场规模与市场需求分析

三、欧洲半导体清洗设备行业市场前景分析

第六节 2024-2029年世界半导体清洗设备行业分布走势预测

第七节 2024-2029年全球半导体清洗设备行业市场规模预测

第三章 中国半导体清洗设备行业产业发展环境分析

第一节 我国宏观经济环境分析

第二节 我国宏观经济环境对半导体清洗设备行业的影响分析

第三节 中国半导体清洗设备行业政策环境分析

一、行业监管体制现状

二、行业主要政策法规

三、主要行业标准

第四节 政策环境对半导体清洗设备行业的影响分析

第五节 中国半导体清洗设备行业产业社会环境分析

第四章 中国半导体清洗设备行业运行情况

第一节 中国半导体清洗设备行业发展状况情况介绍

一、行业发展历程回顾

二、行业创新情况分析

三、行业发展特点分析

第二节 中国半导体清洗设备行业市场规模分析

一、影响中国半导体清洗设备行业市场规模的因素

二、中国半导体清洗设备行业市场规模

三、中国半导体清洗设备行业市场规模解析

第三节 中国半导体清洗设备行业供应情况分析

一、中国半导体清洗设备行业供应规模

二、中国半导体清洗设备行业供应特点

第四节 中国半导体清洗设备行业需求情况分析

一、中国半导体清洗设备行业需求规模

二、中国半导体清洗设备行业需求特点

第五节 中国半导体清洗设备行业供需平衡分析

第五章 中国半导体清洗设备行业产业链和细分市场分析

第一节 中国半导体清洗设备行业产业链综述

一、产业链模型原理介绍

二、产业链运行机制

三、半导体清洗设备行业产业链图解

第二节 中国半导体清洗设备行业产业链环节分析

一、上游产业发展现状

二、上游产业对半导体清洗设备行业的影响分析

三、下游产业发展现状

四、下游产业对半导体清洗设备行业的影响分析

第三节 我国半导体清洗设备行业细分市场分析

一、细分市场一

二、细分市场二

第六章 2019-2023年中国半导体清洗设备行业市场竞争分析

第一节 中国半导体清洗设备行业竞争现状分析

一、中国半导体清洗设备行业竞争格局分析

二、中国半导体清洗设备行业主要品牌分析

第二节 中国半导体清洗设备行业集中度分析

一、中国半导体清洗设备行业市场集中度影响因素分析

二、中国半导体清洗设备行业市场集中度分析

第三节 中国半导体清洗设备行业竞争特征分析

一、 企业区域分布特征

二、企业规模分布特征

三、企业所有制分布特征

第七章 2019-2023年中国半导体清洗设备行业模型分析

第一节 中国半导体清洗设备行业竞争结构分析（波特五力模型）

一、波特五力模型原理

二、供应商议价能力

三、购买者议价能力

四、新进入者威胁

五、替代品威胁

六、同业竞争程度

七、波特五力模型分析结论

第二节 中国半导体清洗设备行业SWOT分析

一、SOWT模型概述

二、行业优势分析

三、行业劣势

四、行业机会

五、行业威胁

六、中国半导体清洗设备行业SWOT分析结论

第三节 中国半导体清洗设备行业竞争环境分析（PEST）

一、PEST模型概述

二、政策因素

三、经济因素

四、社会因素

五、技术因素

六、PEST模型分析结论

第八章 2019-2023年中国半导体清洗设备行业需求特点与动态分析

第一节 中国半导体清洗设备行业市场动态情况

第二节 中国半导体清洗设备行业消费市场特点分析

一、需求偏好

二、价格偏好

三、品牌偏好

四、其他偏好

第三节 半导体清洗设备行业成本结构分析

第四节 半导体清洗设备行业价格影响因素分析

一、供需因素

二、成本因素

三、其他因素

第五节 中国半导体清洗设备行业价格现状分析

第六节 中国半导体清洗设备行业平均价格走势预测

一、中国半导体清洗设备行业平均价格趋势分析

二、中国半导体清洗设备行业平均价格变动的影响因素

第九章 中国半导体清洗设备行业所属行业运行数据监测

第一节 中国半导体清洗设备行业所属行业总体规模分析

一、企业数量结构分析

二、行业资产规模分析

第二节 中国半导体清洗设备行业所属行业产销与费用分析

一、流动资产

二、销售收入分析

三、负债分析

四、利润规模分析

五、产值分析

第三节 中国半导体清洗设备行业所属行业财务指标分析

一、行业盈利能力分析

二、行业偿债能力分析

三、行业营运能力分析

四、行业发展能力分析

第十章 2019-2023年中国半导体清洗设备行业区域市场现状分析

第一节 中国半导体清洗设备行业区域市场规模分析

一、影响半导体清洗设备行业区域市场分布的因素

二、中国半导体清洗设备行业区域市场分布

第二节 中国华东地区半导体清洗设备行业市场分析

一、华东地区概述

二、华东地区经济环境分析

三、华东地区半导体清洗设备行业市场分析

（1）华东地区半导体清洗设备行业市场规模

（2）华南地区半导体清洗设备行业市场现状

（3）华东地区半导体清洗设备行业市场规模预测

第三节 华中地区市场分析

一、华中地区概述

二、华中地区经济环境分析

三、华中地区半导体清洗设备行业市场分析

（1）华中地区半导体清洗设备行业市场规模

（2）华中地区半导体清洗设备行业市场现状

（3）华中地区半导体清洗设备行业市场规模预测

第四节 华南地区市场分析

一、华南地区概述

二、华南地区经济环境分析

三、华南地区半导体清洗设备行业市场分析

（1）华南地区半导体清洗设备行业市场规模

（2）华南地区半导体清洗设备行业市场现状

（3）华南地区半导体清洗设备行业市场规模预测

第五节 华北地区半导体清洗设备行业市场分析

一、华北地区概述

二、华北地区经济环境分析

三、华北地区半导体清洗设备行业市场分析

（1）华北地区半导体清洗设备行业市场规模

（2）华北地区半导体清洗设备行业市场现状

（3）华北地区半导体清洗设备行业市场规模预测

第六节 东北地区市场分析

一、东北地区概述

二、东北地区经济环境分析

三、东北地区半导体清洗设备行业市场分析

（1）东北地区半导体清洗设备行业市场规模

（2）东北地区半导体清洗设备行业市场现状

（3）东北地区半导体清洗设备行业市场规模预测

第七节 西南地区市场分析

一、西南地区概述

二、西南地区经济环境分析

三、西南地区半导体清洗设备行业市场分析

（1）西南地区半导体清洗设备行业市场规模

（2）西南地区半导体清洗设备行业市场现状

（3）西南地区半导体清洗设备行业市场规模预测

第八节 西北地区市场分析

一、西北地区概述

二、西北地区经济环境分析

三、西北地区半导体清洗设备行业市场分析

（1）西北地区半导体清洗设备行业市场规模

（2）西北地区半导体清洗设备行业市场现状

（3）西北地区半导体清洗设备行业市场规模预测

第十一章 半导体清洗设备行业企业分析（随数据更新有调整）

第一节 企业

一、企业概况

二、主营产品

三、运营情况

1、主要经济指标情况

2、企业盈利能力分析

3、企业偿债能力分析

4、企业运营能力分析

5、企业成长能力分析

四、公司优 势分析

第二节 企业

一、企业概况

二、主营产品

三、运营情况

四、公司优劣势分析

第三节 企业

一、企业概况

二、主营产品

三、运营情况

四、公司优势分析

第四节 企业

一、企业概况

二、主营产品

三、运营情况

四、公司优势分析

第五节 企业

一、企业概况

二、主营产品

三、运营情况

四、公司优势分析

第六节 企业

一、企业概况

二、主营产品

三、运营情况

四、公司优势分析

第七节 企业

一、企业概况

二、主营产品

三、运营情况

四、公司优势分析

第八节 企业

一、企业概况

二、主营产品

三、运营情况

四、公司优势分析

第九节 企业

一、企业概况

二、主营产品

三、运营情况

四、公司优势分析

第十节 企业

一、企业概况

二、主营产品

三、运营情况

四、公司优势分析

第十二章 2024-2029年中国半导体清洗设备行业发展前景分析与预测

第一节 中国半导体清洗设备行业未来发展前景分析

一、半导体清洗设备行业国内投资环境分析

二、中国半导体清洗设备行业市场机会分析

三、中国半导体清洗设备行业投资增速预测

第二节 中国半导体清洗设备行业未来发展趋势预测

第三节 中国半导体清洗设备行业规模发展预测

一、中国半导体清洗设备行业市场规模预测

二、中国半导体清洗设备行业市场规模增速预测

三、中国半导体清洗设备行业产值规模预测

四、中国半导体清洗设备行业产值增速预测

五、中国半导体清洗设备行业供需情况预测

第四节 中国半导体清洗设备行业盈利走势预测

第十三章 2024-2029年中国半导体清洗设备行业进入壁垒与投资风险分析

第一节 中国半导体清洗设备行业进入壁垒分析

一、半导体清洗设备行业资金壁垒分析

二、半导体清洗设备行业技术壁垒分析

三、半导体清洗设备行业人才壁垒分析

四、半导体清洗设备行业品牌壁垒分析

五、半导体清洗设备行业其他壁垒分析

第二节 半导体清洗设备行业风险分析

一、半导体清洗设备行业宏观环境风险

二、半导体清洗设备行业技术风险

三、半导体清洗设备行业竞争风险

四、半导体清洗设备行业其他风险

第三节 中国半导体清洗设备行业存在的问题

第四节 中国半导体清洗设备行业解决问题的策略分析

第十四章 2024-2029年中国半导体清洗设备行业研究结论及投资建议

第一节 中国半导体清洗设备行业研究综述

一、行业投资价值

二、行业风险评估

第二节 中国半导体清洗设备行业进入策略分析

一、行业目标客户群体

二、细分市场选择

三、区域市场的选择

第三节 半导体清洗设备行业营销策略分析

一、半导体清洗设备行业产品策略

二、半导体清洗设备行业定价策略

三、半导体清洗设备行业渠道策略

四、半导体清洗设备行业促销策略

第四节 思瀚投资建议