半导体液态化学品供应系统行业发展态势
思瀚产业研究院    2026-09-10

液态化学品供应系统是实现化学介质安全存储、精准计量与稳定输送至工艺机台的关键设备，通过专用管路网络与智能控制模块，完成制程用液从存储区到生产设备的全流程管控。

按功能结构可分为基础供应系统及复合功能系统，基础供应系统依托管路与控制单元，直接完成化学品、研磨液的常规输送供给；复合功能系统则在输送前集成稀释混配、温控、搅拌等工艺处理功能，使药液参数精准匹配制程要求，适配复杂工艺场景。

按工艺介质类型，可分为化学药液供应系统与研磨液供应系统，二者技术核心各有侧重，化学药液供应系统以全流程污染防控为核心，通过高洁净耐腐蚀管路与防污染结构设计，保障化学品输送全程的纯度稳定；研磨液供应系统聚焦供液稳定性，因研磨液含二氧化硅、氧化铝等固体研磨颗粒，系统需在精准控流的同时，通过专项设计防控颗粒沉降、保障粒径均一，确保研磨液配比精准、品质稳定。

半导体液态化学品供应系统是保障晶圆制造过程中化学品纯度与稳定供给的关键配套设施，其市场规模的增长与全球半导体产业向国内转移、本土晶圆厂持续扩产的进程紧密相关。2020 年，中国半导体液态化学品供应系统市场规模为19.6亿元人民币，至2024年已增长至55.6亿元人民币，年复合增长率达29.7%。预计 2029 年市场规模将进一步扩大至 125.1 亿元人民币，2025 年至 2029 年的年复合增长率为 17.2%。

其中，高洁净度液态化学品供应系统作为满足先进制程需求的关键组成部分，2020 年其市场规模为 15.7 亿元人民币，2024 年增长至 45.1 亿元人民币，年复合增长率达 30.2%。预计 2029 年市场规模将达到 93.8 亿元人民币，2025 年至 2029年的年复合增长率为16.6%。研磨液供应系统2020年市场规模为3.9亿元人民币，2024 年已攀升至 10.4 亿元人民币，年复合增长率为 27.6%。预计 2029 年市场规模将达到 31.3 亿元人民币，2025 年至 2029 年的年复合增长率为 19.0%。