电子特种气体市场规模和集中度情况、主要供应商及国产化率
思瀚产业研究院 中巨芯    2023-09-01

①市场规模

根据电子材料市场研究机构 Techcet 数据，2020 年全球电子特种气体市场规模为 41.9 亿美元，预计在 2025 年将超过 60 亿美元，年复合增速 7.5%左右。未来 3-5 年，先进逻辑芯片、高端存储芯片、显示面板是电子特种气体市场增长的主要驱动力。

随着全球半导体产业链持续向中国大陆转移，我国电子特种气体市场增长速度远高于全球增速。2020 年，我国电子特种气体市场规模达到 173.6 亿元，2013-2020 年复合增长率为 15%。在具体的下游应用中，集成电路及器件占比44.2%、显示面板占比 34.7%、太阳能及 LED 等占比 21.1%。

参考国内及全球下游行业增速，据 SEMI 及江苏省半导体行业协会测算，至2023 年，我国电子特种气体市场总规模将达到 238 亿元，市场总规模较大，增长迅速。其中集成电路及器件占比 42.02%；显示面板占比 33.61%；太阳能及 LED等占比 24.37%。

②市场集中度情况、主要供应商及国产化率

全球电子特种气体市场集中度很高，美国空气化工、爱尔兰林德集团、法国液化空气和日本太阳日酸四大国际领先企业的全球市场份额为 91%，在中国大陆市场，上述四大国际领先企业占据了 88%的市场份额，总体市场集中度高，国产化率仍较低。

国内电子特种气体起步于 20 世纪 80 年代，在半导体制造业发展的带动下，经过多年的技术发展和生产经验沉淀，中巨芯、派瑞特气、南大光电、华特气体、金宏气体、雅克科技等企业在部分电子特种气体产品的关键技术上取得了突破性进展，部分产品可以达到国际通行标准。

根据中国半导体支撑业发展状况报告（2021 年编）数据，通过不断的经验积累和技术进步，国内企业已经初步具备批量生产集成电路制造用主要电子气体的能力。

例如：离子注入气体方面，安全源砷化氢（AsH3）、磷化氢（PH3）、三氟化硼-11（11BF3）已经大批量供货。成膜气体方面，六氟化钨（WF6）、氨气（NH3）、一氧化氮（NO）和乙硼烷（B2H6） 混合气等气体品种已批量应用于 8 英寸、12 英寸集成电路生产线；刻蚀/清洗气体方面，多家公司的三氟化氮（NF3）、四氟化碳（CF4）、六氟乙烷（C2F6）、八氟丙烷（C3F8）、全氟丁二烯（C4F6）、八氟环丁烷（C4F8）、三氟甲烷（CHF3）、氟甲烷（CH3F）、六氟化硫（SF6）、一氧化碳（CO）、氯化氢（HCl）、氯气（Cl2）、三氯化硼（BCl3）已能够稳定批量供应。

但与境外领先气体集团相比，大部分境内气体公司的供应产品较为单一，产品级别不高，尤其在集成电路、显示面板等高端应用领域仍主要依赖国外进口。