MEMS行业概况及特点
思瀚产业研究院 明皜传感    2023-09-16

（1）MEMS 产品简介

MEMS 全称 Micro Electromechanical System，即微机电系统。该产品将具有不同功能的微传感器、微执行器、微结构、信号处理与控制电路、通讯/接口单元在硅晶圆上制作而成，是微型机械加工工艺和半导体工艺相结合的产品。

MEMS 本身具有较为复杂的微型立体物理结构（可包含通道、孔、悬臂、腔、振膜、梳齿以及其它结构），因此 MEMS 结构设计、封装测试等方案既需要考虑可动部件的粘连等失效因素，也需要考虑在电气互连的同时，实现机械、热、光、流体等之间的连接。

MEMS 作为一个具有空间结构的结构件，其性能受结构的厚度、深度，可动部件质量的大小，以及结构侧壁平滑度和腔体气密性的影响，因此其性能的提升更倾向于根据下游应用需求定制设计、对微型机械结构的优化以及工艺水平的提升。

此外，与传统的半导体不同，MEMS 传感器设计涉及到微电子、机械、力学、材料、化学、计算机等多个学科，并且学科交叉程度极高，需要复合型人才和团队，产品研发周期较长。此外，与标准集成电路产品相比，MEMS 传感器需要设计和制造工艺紧密结合，产品化难度较高。

（2）MEMS 产品类型及市场结构

MEMS 产品分为 MEMS 传感器和 MEMS 执行器，其工作原理是外部环境物理、化学和生物等信号输入后，通过传感器转换成电信号，经过信号处理后，由执行器执行操作。

MEMS 产品作为感知和执行的端口，根据感知对象或执行动作的不同。根据 Yole Intelligence 的统计数据，MEMS 加速度计、MEMS 陀螺仪、IMU和 MEMS 压力传感器占 2021 年 MEMS 整体行业的 39.92%、占 MEMS 传感器行业的 62.66%，是 MEMS 及 MEMS 传感器的主要产品类别。