微纳制造技术涉及的学科领域广，具有多学科交叉融合特点
思瀚产业研究院 芯碁微装    2024-04-15

随着信息化时代、智能化时代的来临，移动通信技术、人工智能技术、物联网技术等先进科技的飞速发展，进一步推动高集成度、超高频、超高速半导体、电子电路等器件开发研制的精细化，器件的制造尺寸也从微米尺度精细到纳米尺度，微纳制造技术获得了快速发展。

微纳制造技术是指尺度为亚毫米、微米和纳米量级元件以及由这些元件构成的部件或系统的优化设计、加工、组装、系统集成与应用技术。微纳制造技术涉及的学科领域广，具有多学科交叉融合特点，最主要的发展应用方向是微纳器件与系统的生产制造。

微纳制造技术是在半导体、电子电路等制造过程中发展的专用技术，具有微型化、批量化、单位成本低的特点，对现代科技发展、工业进步有巨大促进作用，并催生了一批新兴高技术产业。微纳制造技术是先进制造技术的重要组成部分，是衡量一个国家高端制造业发展水平的关键标志之一，在推动科技进步、促进产业发展、保障国防安全等方面都发挥着关键作用。

目前，在机械电子工程以及微电子等先进制造技术领域涉及的主要微纳制造技术包括图案化技术、化学机械抛光技术以及薄膜沉积技术等。其中，光刻技术作为图案化技术的核心，是人类迄今所能达到的尺寸最小、精度最高的加工技术，现代电子信息工业产业中大量运用光刻技术。