南大光电-光刻胶及高纯配套材料的开发和产业化项目可行性研究报告
思瀚产业研究院    2022-03-23

1、项目基本情况

本项目拟投资 66,000.00 万元，进行 ArF 光刻胶产品开发和产业化工作。项目目标到 2021 年底，将在我国：1）首次建立 ArF 光刻胶产品大规模生产线，形成年产 25 吨 ArF（干式和浸没式）光刻胶产品的生产能力，产品性能满足90nm-14nm 集成电路制造的要求。产品通过 IC 芯片制造企业的使用认证，实现批量销售；2）建立国内第一个专业用于 ArF 光刻胶产品开发的检测评估平台。平台配备 ArF 光刻机、涂胶显影一体机、特征尺寸扫描电镜、缺陷检测和分析等检测设备，满足先进光刻胶产品和技术开发的需求；3）建立一支具有国际水平的先进光刻胶产品开发和产业化队伍。

本项目的实施单位为子公司宁波南大光电材料有限公司，建设内容包括“先进光刻胶及高纯配套材料的开发和产业化”和“ArF 光刻胶产品的开发和产业化”。

（1）先进光刻胶及高纯配套材料的开发和产业化

建设内容为建立光刻胶配套高纯显影液的规模化生产线，包括合成、纯化、分析、灌装等工艺的配套生产装置及分析检测设备；另外还将建设国内首个先进光刻胶分析测试中心，包含浸没式光刻机、涂胶显影一体机和 CD-SEM 等关键量测设备。

项目完全达产后，将建成光刻胶研发中心、先进光刻胶的分析测试中心，以及年产 350 吨的高纯显影液的生产线。

（2）ArF 光刻胶产品的开发和产业化

建设内容为建立包含高等级超净间在内的 ArF 光刻胶生产线，具备 ArF 光刻胶产品的生产能力；建立 ArF 光刻胶配套关键组分材料的生产能力，完善光刻胶原材料的供应。

项目完全达产后，将建成年产 5 吨 ArF 干式光刻胶的生产线、年产 20 吨ArF 浸没式光刻胶的生产线以及年产 45 吨的光刻胶配套高纯试剂的生产线。

2、项目实施的必要性

（1）高端光刻胶领域亟待打破外资垄断局面

光刻胶是由感光树脂、增感剂和溶剂三种主要成分组成的对光敏感的混合液体，是光刻工艺中的关键材料，主要应用于集成电路和半导体分立器件的细微图形加工。光刻胶及配套试剂在晶圆制造材料中合计占比约 12%，为第 4 大晶圆制造材料，且其技术开发难度大，被誉为半导体材料“皇冠上的明珠”。

目前，半导体工业正在应用的先进光刻技术是 ArF 浸没式光刻，配合双重图形以及多重图形等技术，分辨率可以达到 7nm 节点。从现在到未来的很长一段时间内，ArF 光刻胶及相关配套材料和试剂在集成电路芯片制造中都占据着主导地位。

长期以来，国内高端光刻胶市场长期为国外巨头所垄断。全球行业前四大光刻胶厂商合成橡胶、信越化学、东京应化以及住友化学均为日系厂商，全品类半导体光刻胶中日本厂商占据了 70%的市场份额，分品类来看，日本厂商在ArF、KrF、g 线/i 线胶市场中市占率分别为 93%、80%、61%，其在高端市场中展现出极强的控制力。由于国内光刻胶起步晚，目前技术水平相对落后，与国外行业巨头仍存在较大差距，生产产能主要集中在 PCB 光刻胶、LCD 光刻胶等中低端产品，但高端光刻胶中 ArF 浸没式光刻胶是集成电路 28nm、14nm乃至 10nm 以下制程的关键，而我国高端光刻胶几乎处于空白状态。

高端光刻胶长期为国外企业垄断的现状，对我国芯片制造具有“卡脖子”风险。从历史经验看，2019 年下半年，日本通过对韩国实施贸易禁运包括光刻胶在内的电子材料，严重打击了韩国半导体产业。由于高档光刻胶的保质期很短，通常只有 6 个月左右甚至更短，一旦遇到贸易冲突或自然灾害，我国集成电路产业势必面临芯片企业短期内全面停产的严重局面。因此，尽快实现全面国产化和产业化高档光刻胶材料具有十分重要的战略意义和经济价值。

本次募投项目实施完毕后，南大光电将建成 ArF 光刻胶（干式和浸没式）及相关配套试剂生产线，实现国产先进光刻胶及配套材料的进口替代，有助于解决高端光刻材料“卡脖子”的问题。

（2）推进公司光刻胶业务布局，助力国家提升关键领域自主可控水平

公司作为国产高端光刻胶产品的领军企业，已率先制备出国内首款 ArF 光刻胶产品，但目前尚未量产。为了进行光刻胶产品的量产，实现公司在光刻胶业务的布局，推进公司产品结构的升级，提升我国高端光刻胶的国产化水平，公司亟需将 ArF 光刻胶研究成果产业化，加大对光刻胶的研发投入、建设 ArF光刻胶产品生产线。同时，通过 ArF 光刻胶业务的布局，公司将以 ArF 光刻胶为基点，布局国产先进光刻胶产品，介入先进光刻胶材料的产业链，建立光刻胶配套材料的国产化供体系，实现光刻胶生产的完全国产化，充分满足核心客户的需求，从而抓住半导体材料进口替代的历史性机遇，为公司打造新的利润增长点。进一步，公司借助光刻胶业务布局，积极开拓国际市场，使国产先进光刻胶进入世界市场，占据一定市场份额，成为国际知名的电子材料企业。

本次通过募集资金对于光刻胶业务的投资建设，公司将达到年产 25 吨193nm（ArF 干式和浸没式）光刻胶产品的生产规模，产品性能满足 90nm-14nm集成电路制造的要求，实现国内高端光刻胶零的突破，提升我国高端光刻胶这一领域的自主可控水平。

3、项目实施的可行性

（1）南大光电已成功研制国内首款 ArF 光刻胶产品，具有技术先进性

作为具有“卡脖子”风险的芯片制造关键原材料，我国高端光刻胶一直为国外所垄断，国内研制成功的公司寥寥无几。

2017 年起，南大光电先后承担国家“02 专项”高分辨率光刻胶与先进封装光刻胶产品关键技术研发、ArF 光刻胶产品开发与产业化项目，历经 3 年艰苦奋斗，公司率先制备出国内首款 ArF 光刻胶产品，满足产业化的技术条件，具备领先性。

截至 2020 年 9 月 30 日，公司拥有研发人员 111 人，占公司总人数的比例超过 16%，拥有丰富的研发人员储备和良好的研发人员培养机制，已经建成一支具有国际水平的高素质研发与管理团队，并不断加强优质人才储备，保障公司的持续研发能力。领先的技术研发成果和持续稳定的研发能力为本次募投项目提供了可靠的驱动力。

（2）国家政策积极支持光刻胶业务发展

光刻胶作为具有“卡脖子”风险的半导体材料，得到了国家产业政策的大力支持。2014 年，国务院出台了《国家集成电路产业发展推进纲要》，着力推动我国集成电路产业的发展，在关键材料领域形成突破，开发光刻胶、大尺寸硅片等关键材料，加强集成电路制造企业和装备、材料企业的协作，加快产业化进程，增强产业配套能力。

2016 年 11 月，国务院《“十三五”国家战略性新兴产业发展规划》指出加快先进制造工艺、存储器、特色工艺等生产线建设，提升安全可靠 CPU、数模/模数转换芯片、数字信号处理芯片等关键产品设计开发能力和应用水平，推动封装测试、关键装备和材料等产业快速发展。

2017 年 4 月，科技部《“十三五”先进制造技术领域科技创新专项规划》列示重点任务“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”之“关键材料”：面向45-28-14 纳米集成电路工艺，重点研发 300 毫米硅片、深紫外光刻胶、抛光材料、超高纯电子气体、溅射靶材等关键材料产品，通过大生产线应用考核认证并实现规模化销售；研发相关超高纯原材料产品，构建材料应用工艺开发平台，支撑关键材料产业技术创新生态体系建设与发展。

2020 年 8 月，国务院印发《新时期促进集成电路产业和软件产业高质量发展的若干政策》，给予集成电路设计、装备、材料、封装、测试企业和软件企业更有力度的税收优惠政策，进一步优化集成电路产业的发展环境。

国家积极的产业政策从税收、资金等各个方面推动光刻胶行业的发展，为此次募投项目的实施奠定了良好的基础。

（3）本土光刻胶产品迎来进口替代机遇

在国家产业政策推动以及 5G、智能网联汽车、人工智能、高清视频等相关产业带动下，如今国际半导体产能正在逐渐向国内转移，受益于产业大趋势，国产光刻胶及配套材料的需求将日益提升。但目前国内光刻胶市场主要被日系企业占据，高端光刻胶领域近乎空白。

ArF 光刻胶作为高端光刻胶，随着国家自主可控战略的不断深化，愈发具有进口替代的意义。随着包括南大光电在内的一批龙头科技企业在技术上的不断突破，国产 ArF 光刻胶生产逐步具备技术可行性，未来有望替代日本企业在国内的市场份额，并享受光刻胶市场规模的增加带来的红利。国产光刻胶发展面临历史机遇。

4、项目投资概况

本项目的预计投资总额为 66,000.00 万元（包含“先进光刻胶及高纯配套材料的开发和产业化”投资额 41,000.00 万元以及“ArF 光刻胶产品的开发和产业化”投资额 25,000.00 万元），拟使用本次向特定对象发行股票募集资金投入15,000.00 万元。具体投资明细如下：单位：万元

5、项目实施主体及实施地点

（1）先进光刻胶及高纯配套材料的开发和产业化

项目实施主体为宁波南大光电材料有限公司，实施地点位于宁波市北仑区云台山路北（芯港小镇）。

（2）ArF 光刻胶产品的开发和产业化

项目实施主体为宁波南大光电材料有限公司，实施地点位于宁波市北仑区柴桥临港产业园横中路北。

6、项目实施进度

项目计划建设期为 3 年，即 2019 年至 2021 年。

7、项目效益情况

本项目静态投资回收期为 6.67 年，所得税税后项目财务内部收益率 16.6%，项目具有较好的经济效益。

8、项目备案、环评事项及进展情况

（1）先进光刻胶及高纯配套材料的开发和产业化

2018 年 11 月，本项目取得宁波市北仑区发改局出具的《浙江省企业投资项目备案（赋码）信息表》（项目代码：2018-330206-39-03-068573-000）。2019 年 7 月，本项目取得宁波市生态环境局北仑分局出具的《关于宁波南大光电材料有限公司先进光刻胶及高纯配套材料的开发与产业化项目环境影响报告表的批复》（仑环建[2019]155 号）。

（2）ArF 光刻胶产品的开发和产业化

2019 年 9 月，本项目取得宁波市北仑区发改局出具的《浙江省企业投资项目备案（赋码）信息表》（项目代码：2019-330206-39-03-032730-000）。2019 年 9 月，本项目取得宁波市生态环境局北仑分局出具的《关于宁波南大光电材料有限公司 ArF 光刻胶产品的开发和产业化环境影响报告书的批复》（仑环建[2019]245 号）。

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