广义半导体制程,是指将晶圆加工为合格芯片的全流程标准化、可重复量产工艺与技术方案的总称,是半导体芯片规模化、高良率量产的核心基础。
半导体先进制程,是指通过制程线宽物理微缩、三维异构集成等技术路径,实现芯片性能提升、功耗优化、集成度跃升的高性能半导体制造工艺,是支撑半导体产业持续迭代升级的核心技术载体。当前先进制程演进中,逻辑芯片与存储芯片形成了差异化的核心技术路线。
逻辑芯片的先进制程水平,通常以晶体管栅极线宽对应的制程节点为核心衡量标准:制程节点越小,单位芯片面积内可集成的晶体管密度越高,芯片运算性能越强、功耗控制越优。当前全球逻辑芯片制程已完成 7-14 纳米节点的规模化量产,并已突破至 2-5 纳米水平;根据台积电公告,其 2 纳米制程产线已于 2025年第四季度开始量产,并布局了 A16、A14 制程,先进制程逻辑芯片未来即将进入 1X 埃米时代。
与逻辑芯片演进路径不同,存储芯片的先进制程主要以三维异构集成等为核心升级方向,通过垂直堆叠存储单元实现存储密度跃升,同步提升芯片性能与可靠性。在 NAND 领域,行业主流堆叠层数已从早期 24-32 层迭代至 64-128 层规模化量产;
2024 年 SK 海力士宣布量产 321 层 NAND 存储芯片;根据东京电子(TEL)预计,2026 年 NAND 堆叠层数将突破至 4XX 层级别;根据 SEMI 大半导体产业网 2025 年官方发布信息,国内存储芯片产线亦实现了重大技术突破,已经成功出货 294 层 NAND 存储芯片。
在 DRAM 领域,制程节点微缩仍在持续迭代,同时为匹配 AI 算力爆发带来的超高带宽需求,行业内通过三维异构集成等技术推出高带宽内存产品(High Bandwidth Memory,HBM),通过多颗 DRAM裸片的垂直堆叠,大幅提升内存带宽与综合性能。