泛半导体设备洗净服务行业发展情况
思瀚产业研究院 富乐德    2022-12-27

1）较长时期发展缓慢且滞后

我国泛半导体设备精密洗净服务行业的发展滞后于欧美等先进工业国家。精密洗净自进入工业化生产后就已经出现，迄今已有近 200 年的历史。上世纪八九十年代，国际上半导体工业和显示面板工业快速发展，使产品不断向高精密性、高技术、多种技术手段相结合的方向发展，从而催生出精密洗净在泛半导体设备清洗领域的应用，目前精密洗净已经广泛应用于工业领域，包括显示面板、半导体、光伏、装备制造等。

我国精密洗净行业起源于上世纪 50 年代，但由于当时国内工业生产水平较低，精密洗净行业发展较为缓慢。上世纪 80 年代，随着中国改革开放和大规模的技术引进，整体工业技术水平不断提高，国内工业生产对精密洗净服务的需求日益加大，但是国内精密洗净行业由于多年停滞发展无法满足市场需求，特别是早期的泛半导体设备精密洗净领域，基本上被国外设备厂商垄断，中国大陆精密洗净服务行业（包括泛半导体设备精密洗净服务）长期处于萌芽发展状态。

2）成长于国内“缺芯少屏”困局时代

国内泛半导体设备精密洗净服务行业起步较晚，发行人前身上海申和（表面处理事业部）作为国内最早从事精密洗净服务的企业之一，于 2000 年正式进入泛半导体设备精密洗净服务领域。国内泛半导体设备精密洗净服务行业伴随着国内半导体和显示面板产业的发展共同成长，它是在国内寻求突破―缺芯少屏‖的困局背景下发展起来的。

从―屏‖来看，全球 LCD 面板产业的转移经历了―美国起源—日本发展—韩国超越—中国台湾地区崛起—中国大陆发力‖的过程。中国大陆显示面板产业发端于 2003 年；2009 年以前中国大陆在全球面板产业中基本没有话语权；从 2009年后，在液晶面板替代传统 CRT 显示器和中国大陆市场庞大需求的大背景下，全球液晶面板产能逐渐由日韩及中国台湾地区转向中国大陆，行业经历了从无到有、从小到大的发展历程，中国大陆面板产业的实力实现跨越。

从―芯‖来看，2010 年国务院确定将新一代信息技术被作为战略性新兴产业之一，提出要着力发展集成电路等核心基础产业。2014 年 6 月，国务院首次发布集成电路的纲领性文件《国家集成电路产业发展推进纲要》，突出企业的主体地位，以技术创新、模式创新和体制机制创新为动力，突破集成电路关键装备瓶颈，推动产业整体提升。集成电路产业作为国民经济和社会发展的战略性、基础性、先导性产业，近几年来发展迅速。随着中游晶圆制造厂的快速崛起，如中芯国际的 14nm 量产，长鑫存储 DRAM 量产，长江存储 NAND Flash 量产，标志着国产半导体实现瓶颈突破，推动设备、材料等上下游产业链的快速发展。

国内泛半导体设备精密洗净服务行业伴随着国内半导体和显示面板产业的发展而成长。随着国内半导体和显示面板行业先进制程的不断进步，国内泛半导体设备精密洗净服务的洗净工艺也随之更新，不断保障高阶制程的落实，保障泛半导体产业国产化进程的顺利进行。

由于泛半导体行业高端核心设备至今仍然较多为国外公司垄断，国外公司在出售核心设备时，一般会设置 PACKAGE 条款限定国内客户的生产设备维护只能或在一定时间内只能由出售方或其指定方提供，一定程度限制了国内泛半导体精密洗净服务行业的发展。目前我国泛半导体精密洗净服务行业仍处于上升阶段，在技术水平上仍有较大的提升空间。

3）泛半导体洗净行业的行业规模

公司所处的泛半导体设备洗净服务产业是泛半导体（包括半导体和显示面板等）产业的延伸环节，有助于保障泛半导体产业的安全、稳定生产，洗净技术随着泛半导体产业的发展逐步提高，通常是一代器件、一代设备、一代洗净工艺。

根据芯谋研究（ICwise）发布的《国内泛半导体设备零部件洗净服务行业发展研报》（中国大陆地区），2020 年中国大陆地区泛半导体零部件清洗市场总计 26 亿元人民币，其中面板 9.8 亿人民币、半导体 16.2 亿人民币。预计到 2025年洗净市场增加到 43.4 亿，年复合增长率 10.8%。其中半导体增量高于面板，市场扩大 14.3 亿，年复合增长率达到 13.5%。

根据芯谋研究出具的说明，其对中国大陆地区泛半导体零部件清洗市场容量的测算主要基于以下几个方面：

①市场容量预估。其中，半导体洗净市场容量，12 吋和 8 吋的晶圆均参考中芯国际等典型企业的模式和每万片产能的大概洗净费用作为参考标准，以中国大陆地区现有产能作为依据，统计出晶圆洗净的费用；面板洗净市场容量，主要参考京东方的产线（6.5 吋）每 K 片产能的洗净费用，以及中国大陆地区面板总产能；

②统计相对保守。同样 8 吋晶圆厂，不同的厂商，节点越先进的工艺，单位产能洗净费用越高，产能利用率越小、单位产能的洗净费用越高，尚处于调试工艺的厂商会比稳定运营的厂商洗净费用更高，中芯国际的上海 8 吋厂（参照物）无论产能、成熟度都非常高，因此洗净费用依据中芯国际上海 8 吋厂推算相对稳健和保守；同样，京东方的 6.5 吋面板厂也是中国大陆地区最成熟、产能较大的主体，其单位产能的洗净费用也相对较低，面板洗净市场通过京东方的洗净费用来推算也较为稳健和保守；

③对目前泛半导体设备洗净市场容量的预估，从短期看相对保守，各种因素导致中国大陆地区其他泛半导体厂商的单位洗净费用高于中芯国际和京东方这类龙头企业；从中长期看，对市场容量的预估又比较稳健，中国大陆地区其他泛半导体厂商逐步发展稳定后，单位洗净费用会逐渐向龙头企业看齐。