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全球半导体材料制造及晶体生长设备市场竞争格局
编辑:曾婉甜 来源:思瀚产业研究院 南京晶升    2023-03-24

晶体生长设备下游应用领域为半导体材料制造(硅片/碳化硅衬底),下游应用行业具有技术壁垒高、研发周期长、资金投入大、下游验证周期长等特点,市场集中度较高。

全球硅片和碳化硅衬底市场份额主要以美国、日本和欧洲等企业为主:硅片市场份额主要被日本信越化学、日本胜高、中国台湾环球晶圆、德国世创和韩国 SK 五大企业占据,五大企业占全球硅片市场份额约为 90%;碳化硅衬底市场份额则主要以美国科锐公司、美国Ⅱ-Ⅵ和德国 SiCrystal 等企业为主,占全球碳化硅衬底市场份额约为 90%。

晶体生长设备技术水平是半导体材料制造性能优劣的基础决定因素之一,为保证晶体生长设备及半导体材料制造工艺技术方案的适配性,国际主要半导体材料厂商经过数十年积累的先进工艺和控制策略,基于晶体生长工艺的匹配性及半导体材料制造质量、性能的稳定性,其使用的晶体生长设备均主要为自行研发生产(如日本信越化学和日本胜高),未对外采购及销售。其他国际主流厂商主要通过自制及向国际晶体生长设备供应商(如 PVATePla AG、S-TECH Co., Ltd.等公司)采购的方式实现晶体生长设备供应。

国内半导体产业链起步较晚,晶体生长设备及半导体材料制造产业发展相对落后。一方面,晶体生长设备长晶制备的硅片/衬底经下游不同应用领域器件端认证后,才可逐步实现规模化量产。

针对特定设备,客户需结合不同下游产业应用领域,实施材料定制化工艺开发,可达到的工艺开发能力与水平、下游器件端认证及量产进度与特定设备的产业应用时间及验证经验显著相关。因晶体生长设备及半导体材料制造产业认证及量产应用存在一定时间周期,国内产业发展仍处于早期阶段,导致产业发展速度较国外成熟产业相对缓慢。

另一方面,半导体产业链各环节的技术要求、精密程度及稳定性要求极高,通常来说,下游芯片厂商对已通过认证的半导体设备及制备工艺均会进行稽核,硅片/衬底材料厂商对半导体设备和制备工艺的改动均需通知下游芯片厂商,待其进行审核后方可进行。

因产业认证壁垒、厂商更换成本、风险等因素,国内晶体生长设备供应商尚未实现全球主流硅片厂商的设备供应。

上述产业发展因素导致国内半导体材料制造及晶体生长设备占全球市场份额比重相对较低。截至目前,国内半导体级硅片厂商、碳化硅衬底厂商产出规模占全球市场份额均不足 10%。在半导体级单晶硅制造领域,国内半导体级硅片厂商主要向 S-TECH Co.,Ltd.等国际供应商采购晶体生长设备,国内晶体生长供应商占国内硅片厂商采购份额的比重仅为 30%左右。半导体材料制造及晶体生长设备市场均存在较大的进口替代空间。

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