年产36万吨半导体级电子材料二期项目可行性研究报告
思瀚产业研究院 德尔科技    2023-09-16

“年产 36 万吨半导体级电子材料项目（二期）”以公司现有的核心技术与产品结构为基础，丰富超净高纯湿电子化学品产品结构，完善湿电子化学品产业布局。项目建成后，公司将新增电子级硫酸、电子级盐酸、电子级硝酸、电子级双氧水、电子级氨水、电子级二氧化硅（BOE）蚀刻液、电子级二氧化硅（SIO） 蚀刻液等产品产能，提高 G5 级湿电子化学品的国产化率，解决芯片制程的多项 “卡脖子”材料。

项目实施将促进公司超净高纯湿电子化学品与电子特种气体等业务板块在集成电路领域的协同发展，实现公司各产品间的相互促进，形成产品联动机制，以满足客户多样化需求。

本项目采用公司自主研发的半导体用湿电子化学品生产技术，应用吸附法、减压蒸发、反渗透过滤膜与离子交换树脂法等方 法对产品进行提纯，经提纯后的产品纯度最高可达 G5 级，可满足下游先进制程 集成电路工艺的需求。

因此，本项目与公司主营业务和核心技术之间密切相关， 能够进一步增强公司持续盈利能力，从而提高公司的核心竞争力。

1、项目概况

本项目实施主体为子公司福建天甫，项目投资总额为 90,856.50 万元，拟使用募集资金 60,000.00 万元。本项目是“年产 36 万吨半导体电子材料” 项目的二期工程，项目建设将基于一期已建成的公辅工程、储运工程、环保工程以及其他辅助生产设施，建设电子级硫酸、电子级盐酸、电子级硝酸、电子级双氧水、电子级氨水、电子级二氧化硅（BOE）蚀刻液、电子级二氧化硅（SIO）蚀刻液等产品生产及检测装置，新增储运装备配置。

2、项目实施的必要性

（1）顺应国家集成电路产业安全健康发展趋势

集成电路产业作为国民经济发展重要的基础组成部分，把控集成电路产业安全健康发展，推进集成电路产业国产化进程是国家战略性需求。近年来，我国高度重视集成电路产业发展且已取得一定成效，但我国集成电路产业技术水平与先进国家或地区相比仍存在较大差距，以湿电子化学品为例，当前国产湿电子化学品仍主要应用于中低端领域，应用于超大规模集成电路先进制程制造过程中的超净高纯湿电子化学品由于我国产业化起步较晚且产品的技术研发与市场应用时间相对较短，现阶段仍主要依托于进口。

因此，为顺应国家集成电路产业安全健康发展趋势，需加大应用于大规模先进制程集成电路用湿电子化学品的产业化投入，促进国产产品突破行业壁垒，以加快提升国产化程度。

公司将通过本项目建设生产超净高纯湿电子化学品，主要应用于集成电路制造中的清洗、光刻、显影、蚀刻等工序。综上，项目实施不仅是公司顺应国家集成电路产业安全健康发展趋势的重要举措，也是公司把握超净高纯湿电子化学品国产替代机遇的必要手段。

（2）完善高端产品生产布局，提高公司产品高端市场占有率

超净高纯湿电子化学品作为超大规模集成电路先进制程生产过程中所需的重要电子专用材料，其对集成电路的良品率、电性能和可靠性等均有十分重要的影响，属于国家重点鼓励发展、优先支持的产品。随着集成电路工艺向更高制程级别发展，集成电路产业对湿电子化学品的要求不断提升，湿电子化学品成为集成电路制造业快速发展中不可或缺的重要支撑材料。

本项目将建设电子级硫酸、电子级盐酸、电子级硝酸、电子级双氧水、电子级氨水、电子级二氧化硅（BOE）蚀刻液、电子级二氧化硅（SIO）蚀刻液等产品，将扩大公司超净高纯湿电子化学品生产规模，有利于公司高端湿电子化学品在国内集成电路市场竞争中取得先发优势，提高公司产品在高端市场的占有率，进一步扩大品牌影响力，提升公司经济效益，增强公司综合竞争力。

3、项目实施的可行性

（1）符合国家产业政策导向，属于国家重点鼓励类项目

本次募投项目规划生产的高纯化学试剂属于《战略性新兴产业分类（2018）》中 “新一代信息技术产业”之“电子核心产业”下“高储能和关键电子材料制造”，属于《产业结构调整指导目录（2019 年本）》“鼓励类”项目范畴。2021 年12 月工信部印发《重点新材料首批次应用示范指导目录（2021 年版）》在“超高纯化学试剂”中列示 6 种超高纯化学试剂，“特种气体”中列示 33 种特种气体，对纯度、杂质等指标提出明确要求。《国家重点支持的高新技术领域》将电子化

学品、功能精细化学品等列为国家重点支持高新技术领域。2021 年 3 月十三届全国人大四次会议表决通过了《中华人民共和国国民经济和社会发展第十四个五年规划和 2035 年远景目标纲要》中提出，聚焦新一代信息技术、生物技术、新能源、新材料、高端装备、新能源汽车、绿色环保以及航空航天、海洋装备等战略性新兴产业，加快关键核心技术创新应用，增强要素保障能力，培育壮大产业发展新动能。

本项目的实施顺应国家战略及政策导向，国家产业政策的支持和引导为本项目的实施奠定了良好的政策基础。

（2）广阔的市场容量，为募投项目顺利实施提供强大的需求支撑

集成电路产业作为国家电子信息产业的基石，是支撑经济社会发展和保障国家安全的战略性、基础性和先导性产业，也是世界各国综合国力和国际竞争力的体现。湿电子化学品用于集成电路制造过程中的清洗、光刻和蚀刻等工序，可有效清除晶圆表面残留污染物、减少金属杂质含量，为下游产品质量提供保障。

在近年来中美贸易摩擦背景下，掌握集成电路产业的重要性进一步突显，未来国产替代的逐步推进将进一步提升集成电路自给率，为我国集成电路产业链带来新发展机遇。根据中国电子材料行业协会发布的《2022 版湿化学品行业研究报告》数据显示，2021 年全球集成电路用湿电子化学品整体市场规模约 61.7 亿美元。

预计 2022 年将增长到 64.9 亿美元，并于 2025 年进一步增加到 75.5 亿美元。显示面板产业是湿电子化学品的另一重要应用领域，湿电子化学品作为显示面板制造中的关键性基础材料之一，主要应用于新型显示器（TFT-LCD、OLED等）生产过程中的光刻、蚀刻、清洗等工序。

湿电子化学品的纯度和洁净度对新型显示器的成品率产生十分重要的影响，如在大屏幕、高清晰的面板制造过程中，湿电子化学品中若含有金属离子和尘埃颗粒等将使得面板产生缺陷。近年来，在我国产业政策支持、技术实现突破等多重利好因素的推动下，我国显示面板行业取得了长足进步，形成了以京东方、TCL 科技、深天马、维信诺等重点企业领衔的产业集群，全球产能占比超过六成，已是全球第一大显示面板产业集中地。

湿电子化学品行业的发展与显示面板行业的发展息息相关，显示面板行业的快速发展有效带动了对湿电子化学品的市场需求。根据中国电子材料行业协会数据显示，2020 年全球新型显示用湿电子化学品市场规模达到 120.6 亿元，预计将在2025 年达到 210.2 亿元，年均复合增长率达 11.75%。

（3）产品板块协同发展，电子特种气体业务助力湿电子化学品客户导入

湿电子化学品下游客户与电子特种气体存在高度重叠，同样存在高客户壁垒，新进企业必须经过严格的质量验证过程。

集成电路和显示面板等产品生产制造过程中一般需同时使用多种湿电子化学品、电子特种气体等电子专用材料进行搭配使用或用于不同工艺，因此为保证生产及供应稳定性、效率等因素，生产制造企业在选择供应商时会更加青睐能够提供多品种产品的供应商，下游各应用领域客户在与关键材料供应商建立供应关系后会保持长期稳定的合作关系。目前，公司已有多个品种电子特种气体产品进入集成电路厂商供应链，为湿电子化学品迅速地切入客户供应链提供了有利基础。

本项目生产的湿电子化学品能够与公司现有电子特种气体产品形成协同效应，将能够同时覆盖制造工序中的干法与湿法工艺，为客户提供更为完备的产品方案。

完整版可行性研究报告依据国家部门及地方政府相关法律、法规、标准，本着客观、求实、科学、公正的原则，在现有能够掌握的资料和数据的基础上，主要就项目建设背景、需求分析及必要性、可行性、建设规模及内容、建设条件及方案、项目投资及资金来源、社会效益、经济效益以及项目建设的环境保护等方面逐一进行研究论证，以确定项目经济上的合理性、技术上的可行性，为项目投资主体和主管部门提供决策参考。此报告为思瀚摘录部分。