山东淄博-年产2000吨三氟化氮生产装置扩建项目可行性研究报告
思瀚产业研究院    2022-03-23

1、项目基本情况

本项目拟投资 30,000.00 万元，扩建 2000 吨/年三氟化氮生产装置项目，包括：5#三氟化氮电解厂房、6#三氟化氮电解厂房、3#三氟化氮后处理厂房。

本项目的实施单位为山东飞源气体有限公司。

2、项目实施的必要性

（1）含氟电子特气生产向国内转移是大势所趋

电子气体在电子产品制程工艺中广泛应用于离子注入、刻蚀、气相沉积、掺杂等工艺，被称为集成电路、液晶面板、LED 及光伏等材料的“粮食”和“源”。电子特种气体是电子气体的一个重要分支，是集成电路、平面显示器件、太阳能电池等电子工业生产不可或缺的原材料。本次募投拟扩产的三氟化氮作为电子特种气体的重要品类，具有优异的蚀刻速率和选择性，是半导体和显示面板制造过程中重要的清洗剂和刻蚀剂。

全球三氟化氮市场具有良好的增长趋势。根据华经产业研究院的预测，2018年全球三氟化氮市场用量约为 2.8 万吨，预计到 2021 年全球三氟化氮市场需求量将达到 4 万吨左右，复合增长率为 12.6%。良好的增长态势对三氟化氮厂商的产能提出更高的要求。

中国厂商已是全球三氟化氮生产的重要力量，未来随着三氟化氮市场规模的增大，中国厂商参与度有望进一步提升。从目前的生产竞争格局来看，全球三氟化氮生产厂家主要集中在中、韩、美、日，其中中国企业产能占比约为 1/3。中国是下游产业半导体、显示面板的消费大国，未来几年下游产业的跨越式增长将积极消化国内产能，大幅提升含氟电子特气的需求，因此国产三氟化氮厂商面临宝贵的发展机遇，三氟化氮生产向国内转移是大势所趋。

（2）深化公司含氟电子特气领域布局，巩固电子特气业务领先地位

公司主要从事 MO 源产品业务、高纯电子特气产品业务、光刻胶及配套材料业务、ALD 前驱体产品业务。报告期内，公司主要收入来源为 MO 源和电子特气产品，其中电子特气业务已成为公司强劲的利润增长点，公司原有的电子特气产品主要为高纯磷烷、砷烷，亟需拓展业务板块，巩固在电子特气业务的行业领先地位。

2019 年 11 月，公司开始布局含氟电子特气业务，完成了对飞源气体的收购。中国厂商是含氟气体生产的重要参与方，飞源气体是全球三氟化氮和六氟化硫主要生产企业之一。收购飞源气体后，南大光电增加了含氟电子特气业务板块，对公司电子特种气体业务的布局与发展具有重要的战略价值。

公司通过本次募投项目的实施，将扩大三氟化氮气体产能，从而深化含氟电子特气领域投资布局，增强对公司集成电路客户的服务能力，扩大公司产品的市场份额，参与含氟电子特气全球竞争，保持公司在电子特气领域的领先地位和市场竞争力。

3、项目实施的可行性

（1）国家政策支持提供了良好的外部环境

半导体材料是集成电路制造的基石，具有重要的战略意义，其中电子特气是半导体材料的重要组成部分。为推动电子特气行业向精密、深化方向发展，国家有关部门出台了多项产业扶持政策。

2016 年 11 月，国务院《“十三五”国家战略新兴产业发展规划》指出，优化新材料产业化及应用环境，提高新材料应用水平，推进新材料融入高端制造供应链，到 2020 年力争使若干新材料品种进入全球供应链，重大关键材料自给率达到 70%以上。

2017 年 4 月，科技部《“十三五”先进制造技术领域科技创新专项规划》列示重点任务“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”之“关键材料”：面向45-28-14 纳米集成电路工艺，重点研发 300 毫米硅片、深紫外光刻胶、抛光材料、超高纯电子气体、溅射靶材等关键材料产品，通过大生产线应用考核认证并实现规模化销售；研发相关超高纯原材料产品，构建材料应用工艺开发平台，支撑关键材料产业技术创新生态体系建设与发展。

2018 年 11 月，国家统计局《战略性新兴产业分类（2018）》中列入了“电子大宗气体、电子特种气体”。

2020 年 8 月，国务院印发《新时期促进集成电路产业和软件产业高质量发展的若干政策》，给予集成电路设计、装备、材料、封装、测试企业和软件企业更有力度的税收优惠政策，进一步优化集成电路产业的发展环境。国家政策的支持为电子特气细分行业提供了良好的发展环境。

（2）电子特气市场前景广阔，进口替代需求旺盛

电子气体在电子产品制程工艺中广泛应用于离子注入、刻蚀、气相沉积、掺杂等工艺，被称为集成电路、液晶面板、LED 及光伏等材料的“粮食”和“源”。电子特种气体（简称电子特气）是电子气体的一个重要分支，是集成电路、平面显示器件、太阳能电池等电子工业生产不可或缺的原材料。

电子特气行业存在外资垄断、行业集中以及国内竞争激烈的问题。目前全球特气市场美国空气化工、普莱克斯、法液空、大阳日酸和德国林德占据了 94%的份额；国内市场上述海外几大龙头企业也控制了 85%的份额，电子特气受制于人的局面亟待改变。国内公司较低的市场份额带来了巨大的进口替代空间，随着国家芯片自主可控战略下对半导体材料的政策支持，以及我国电子特气行业的技术突破，电子特气进口替代迎来历史性机遇。

（3）公司具有充足的生产研发经验和丰富的客户下游导入渠道

飞源气体作为全球三氟化氮和六氟化硫的主要生产企业之一，在含氟气体产品的制备、充装、安全生产、质量控制、安全运输等方面已取得了全面突破，并通过为国际领先企业批量供货，积累了丰富的市场和客户服务经验。飞源气体下游客户包括台积电、京东方、华星光电、惠科股份、龙腾光电等知名客户，拥有丰富的客户渠道，为本次募投项目产能消化提供可靠的支撑。

截至 2020 年 9 月 30 日，公司拥有研发人员 111 人，占公司总人数的比例超过 16%，拥有丰富的研发人员储备和良好的研发人员培养机制。其中飞源气体团队拥有 20 年氟化工工程经验，具有创业企业的降本增效能力及工艺方面的后发优势，其初期投资、成本控制、产品工艺持续革新能力均具有较强的竞争力。公司持续研发能力较强，已经完成多种关键含氟电子材料的产业化准备，具备本次募投项目的实施能力。

4、项目投资概况

本项目的预计投资总额为 30,000.00 万元，拟使用本次向特定对象发行股票募集资金投入 30,000.00 万元。具体投资明细如下：单位：万元

5、项目实施主体及实施地点

本项目的实施主体为山东飞源气体有限公司，实施地点位于山东省淄博市高青化工产业园。

6、项目实施进度

项目计划建设期为 2 年，即 2021 年至 2022 年。

7、项目效益情况

本项目静态投资回收期为 4.13 年，所得税税后项目财务内部收益率 24.3%，项目具有较好的经济效益。

8、项目备案、环评事项及进展情况

2016 年 4 月，本项目取得《淄博市经济和信息化委员会企业技术改造项目备案回执》（淄经信许备[2016]6 号），山东飞源科技有限公司对“6500 t/a 电子产品用高纯新材料扩建和中试车间项目”进行备案。

2016 年 6 月，本项目取得《淄博市经济和信息化委员会关于山东飞源科技有限公司备案项目名称变更的批复》（淄经信许字[2016]4 号），将项目名称变更为“6500 吨/年电子产品用高纯新材料扩建及 100 吨/年 FEC 和 100 吨/年六氟化钨项目”。

2016 年 6 月，本项目取得淄博市环境保护局出具的《关于山东飞源科技有限公司 6500 吨/年电子产品用高纯新材料扩建及 100 t/a FEC和 100 t/a 六氟化钨项目环境影响报告书的审批意见》（淄环审[2016]56 号），其中三氟化氮产量为4000 吨/年。

2020 年 4 月，因山东飞源科技有限公司存续分立并设立飞源气体，淄博市生态环境局1出具了《关于山东飞源气体有限公司年产 3300 吨三氟化氮项目环境影响报告书的审批意见》（淄环审[2020]37 号），将三氟化氮生产装置项目由4000 吨/年调整为 3300 吨/年，并确认由飞源气体承接实施该项目。

2020 年 10 月，本项目取得《淄博市工业和信息化局关于山东飞源气体有限公司备案项目的情况说明》和淄博市生态环境局《关于山东飞源气体有限公司 6500 吨/年电子产品用高纯新材料扩建及 100 吨/年 FEC 和 100 吨/年六氟化钨项目环保手续办理情况的说明》，明确飞源气体承接实施山东飞源科技有限公司备案的“6500 吨/年电子产品用高纯新材料扩建及 100 吨/年 FEC 和 100 吨/年六氟化钨项目”，并确认本次拟扩建的“2000 吨/年三氟化氮生产装置项目”为“6500 吨/年电子产品用高纯新材料扩建及 100 吨/年 FEC 和 100 吨/年六氟化钨项目”的组成部分。

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