三氟化氮的市场规模、供需情况
编制：诸葛御 责任编辑：赵皋 来源： 思瀚产业研究院 中船特气    2023-04-17

三氟化氮作为清洗、刻蚀气体，在集成电路和显示面板等领域均有广泛的应用。根据 TECHCET 数据，2020 年三氟化氮全球总需求约 3.11 万吨。受益于下游集成电路制造工厂产能扩张、集成电路制程技术节点微缩、3D NAND 多层技 术的发展，芯片的工艺尺寸越来越小，堆叠层数增加，集成电路制造中进行刻蚀、 沉积和清洗的步骤增加，高纯三氟化氮的需求将快速增长，预计 2025 年全球需 求增长至 6.37 万吨左右，需求量增长空间超过 1 倍、年复合增长率达到约 15%。

数据来源：TECHCET

根据 TECHCET 数据，2017-2020 年，全球三氟化氮的需求较为平稳，总体供给大于需求，但是不同地区间市场情况存在差异，国内三氟化氮呈现供不应求 状态。2021 年开始全球三氟化氮需求将快速增长，与供给的差额逐渐缩小，主 要系集成电路工艺技术进步、工厂扩产，以及汽车智能化等趋势带来新的芯片需 求，进而带动电子特种气体的使用需求增长。预计至 2025 年，全球三氟化氮的 需求量将超过供给，出现供应缺口。

三氟化氮是国产化较为成功的电子特种气体品种之一，其在我国的发展体现了一个自研产品从无到有、快速增长、获得市场主导权的过程。 我国对三氟化氮的研究始于 20 世纪 80 年代，近年来随着国内集成电路、显 示面板产业的快速发展，三氟化氮的需求急剧上升。根据智研咨询数据，2015 年国内三氟化氮需求量达 3,585.4 吨，至 2021 年增长至 1.43 万吨，累计增幅约 3 倍，年均复合增长率高达 26%。

受产业政策的引导，集成电路等产业投资加速， 生产规模迅速扩大，加之主要原料国产化率持续提升，供需两端多重因素的叠加，助力国内三氟化氮需求持续向好。在我国三氟化氮的需求量快速增长的背景下， 国内供给无法满足市场需求。为匹配下游客户日益增长的用气需求，派瑞特气等 国内企业的产能也快速扩张。

注：上图根据思瀚咨询数据测算。

三氟化氮国产化较为成功，主要受技术、产品、产能、市场等方面因素的共同驱动，具体如下：

（1）七一八所是国家级的化学化工专业研究所，具有深厚的人才技术储备；由于国防产品的研发需要，七一八所较早地开始从事三氟化氮的研究开发工作，并于 2002 年成功研发出纯度高达 99.9%的三氟化氮气体，填 补了国内空白，打破了国外技术垄断。

（2）2013 年，七一八所作为国家 02 专 项高纯电子气体研发和产业化项目的牵头单位，将三氟化氮品质提升作为研发攻 克的重点方向之一，成功提升了产品纯度，并且四氟化碳等杂质含量大幅降低， 实现了气体质量的在线监控，产品质量达到国际领先水平。

（3）中船特气的三氟化氮工艺技术经过了反复的测试和实验、长期的改进和积累，自主研发和设计主 要生产设备，打通了大规模产业化的工艺路线。

（4）立足优良的产品质量和大 规模生产能力，中船特气率先取得国外知名厂商认可，而产品价格只有国外同类产 品的三分之一，能够满足客户的大规模采购需求，此后国内半导体知名企业积极协助公司开展产品认证工作，开始了在国内市场的大范围推广。