乌兰察布-年产 7200T 电子级三氟化氮项目可行性研究报告
思瀚产业研究院    2022-11-22

1、项目基本情况

（1）项目实施及建设基本情况

实施主体：乌兰察布南大微电子（南大光电控股 70%的子公司）。公司于 2021 年 2 月设立乌兰察布南大微电子。同年，乌兰察布南大微电子与乌兰察布市集宁区人民政府、内蒙古察哈尔经济技术开发区管委会签署《高端氟硅集成电子材料项目协议书》，就建设年产 7,200 吨三氟化氮、年产 500 吨六氟化钨、年产 1,000 吨六氟乙烷、四氟化碳联产项目等生产线及附属设施达成一致意见。

乌兰察布南大微电子的管理、销售及研发团队主要由公司总部人员和飞源气体人 员组成，公司委派由氟类电子特气专家宋学章组成的研发管理团队共 15 人， 专门指导生产建设实施。

飞源气体团队拥有 20 年氟化工工程经验，具有创业企 业的降本增效能力及工艺方面的后发优势，其初期投资、成本控制、产品工艺持 续革新能力均具有较强的竞争力。截至 2021 年 12 月 31 日，南大光电及飞源气 体向乌兰察布南大微电子委派技术支持专家 4 人、管理支持人员 11 人，帮助、 指导其产线建设及后续生产。项目实施主体乌兰察布南大微电子已经具备多种关 键含氟电子材料的产业化经验，具备本次募投项目的实施能力。作为本项目实施 主体具有合理性。

本项目实施主体乌兰察布南大微电子系公司控股 70%的子公司，少数股东天津南晟叁号、天津南晟肆号、天津南晟伍号系员工持股平台，统一由天津南芯 企业管理有限公司（发行人员工吴兴国、司岩分别持股 99%、1%）作为执行事 务合伙人管理，另有第三方投资机构上海澳特雷贸易有限公司持股 1.67%。

共同设立的原因主要考虑在子公司层面对骨干员工等实施一定激励。发行人分别于 2021 年 8 月 16 日、2021 年 9 月 1 日召开第八届董事会第五次会议、2021 年第 二次临时股东大会，审议通过了《关于全资子公司乌兰察布南大微电子材料有限 公司增资扩股暨关联交易的议案》，同意南大光电拟以自有或自筹资金 20,800 万元的价格认购乌兰察布南大微电子新增注册资本 20,800 万元，天津南晟叁号 以 4,650 万元的价格认购乌兰察布南大微电子新增注册资本 4,650 万元，天津南 晟肆号以 850 万元的价格认购乌兰察布南大微电子新增注册资本 850 万元，天津 南晟伍号以3,000万元的价格认购乌兰察布南大微电子新增注册资本3,000万元，上海澳特雷贸易有限公司以 500 万元的价格认购乌兰察布南大微电子新增注册 资本 500 万元。

公司独立董事发表独立意见，认为乌兰察布南大微电子本次增 资扩股暨关联交易事项，审议程序符合有关法律法规和《公司章程》的规定，关 联董事、监事在审议本议案时回避表决；本次关联交易价格合理、公允；本次子 公司增资扩股，遵循了自愿、公平合理、协商一致的原则，不存在损害公司及股 东特别是中小股东利益的情况。

实施方式：由上市公司向子公司提供借款方式实施（借款的利率将不低于同 期银行贷款利率，且不低于发行人当时的实际债务融资成本水平）。少数股东天 津南晟叁号、天津南晟肆号、天津南晟伍号、上海澳特雷贸易有限公司不提供等 比例借款，但承诺向上市公司就该等募集资金借款提供连带责任担保。 实施地点：内蒙古乌兰察布集宁区察哈尔工业园区（巴音一路以东、佳辉化 工以北）。

本项目在乌兰察布南大微电子自有资金购置土地上实施，本次募集资 金不涉及购买土地的情况。 建设内容：本项目拟投资 100,000.00 万元，进行年产 7,200t 电子级三氟化氮 产线扩建项目。

（2）相关利益冲突的防范措施

本项目的实施主体为发行人持有 70%股份的控股子公司乌兰察布微南大电子。

2、项目实施的必要性

（1）含氟电子特气生产仍处于向国内转移的大趋势

电子特气是集成电路领域的重要原材料，本次募投拟扩产的三氟化氮作为电 子特种气体的重要品类，具有优异的蚀刻速率和选择性，是半导体和显示面板制 造过程中重要的清洗剂和刻蚀剂。 根据国家“十四五”规划，集成电路产业已经是国家振兴的战略性产业，而 中美贸易战表明，集成电路严重依赖进口已成为我国科技领域“卡脖子”的短板，因此支持包括含氟电子特气在内的国产半导体材料行业发展具有重要的战略意 义。 中国是下游产业半导体、显示面板的消费大国，面板行业产能也逐渐向中国 转移。2

020 年上半年，韩国三星、LG 等公司宣布关闭位于中国、韩国的 LCD 面板厂，加速了 LCD 面板产能向国内厂商转移的速度。根据中国产业信息网的 数据，大陆面板厂的大尺寸面板产能占比已从 2019 年的 44.8%提升至 2021 年的 65.3%。随着全球下游产业链向国内转移，下游市场良好的增长态势对三氟化氮 厂商的产能水平提出了更高要求，国产三氟化氮厂商迎来了宝贵的发展机遇。

（2）在三氟化氮需求旺盛的背景下，扩产已是行业共识

本次募投拟扩产的三氟化氮是半导体和显示面板制造过程中重要的清洗剂 和刻蚀剂。在半导体和面板行业高速发展的背景下，三氟化氮产业将迎来广阔的 市场机遇。目前，包括发行人在内的几家国内公司已成为是全球三氟化氮生产的 主力，派瑞特气、昊华科技等三氟化氮主要厂商也在积极扩产以满足日益增长的 下游需求，公司也需把握市场机遇，通过扩产抢占更多市场份额。

从公司内部销售情况来看，三氟化氮产品仍处于供不应求状态。三氟化氮是 目前南大光电收入贡献占比最多的产品类别，具有较高的毛利水平。在下游需求 增长的背景下，继续扩大三氟化氮产能是提升公司经营业绩，为广大股东奉献回 报的必要措施。

（3）深化公司含氟电子特气领域布局，巩固电子特气业务领先地位

公司是主要从事先进前驱体材料、电子特气、光刻胶及配套材料三类半导体 材料产品生产、研发和销售的高新技术企业。报告期内，公司主要收入来源为 MO 源和电子特气产品，其中电子特气业务已成为公司强劲的利润增长点。收购 飞源气体后，南大光电增加了含氟电子特气业务板块，对公司电子特种气体业务 的布局与发展具有重要的战略价值。

公司通过本次募投项目的实施，将扩大三氟化氮气体产能，从而深化含氟电 子特气领域投资布局，增强对公司集成电路客户的多产品服务能力，扩大公司产 品的市场份额，更好的发挥各个业务板块之间的协同效应，巩固公司在电子特气 领域的领先地位和市场竞争力。

3、项目实施的可行性

（1）国家及地方政策支持提供了良好的外部环境

半导体材料是集成电路制造的基石，具有重要的战略意义，其中电子特气是 半导体材料的重要组成部分。为推动电子特气行业向精密、深化方向发展，国家 有关部门出台了多项产业扶持政策。 ①国家层面 2021 年全国人大颁布的《中华人民共和国国民经济和社会发展第十四个五 年规划和 2035 年远景目标纲要》（“十四五纲要”）强调“发展壮大战略性新 兴产业”，提出聚集以新材料等为代表的战略性新兴产业，加快关键核心技术创 新应用，增强要素保障能力，培育壮大产业发展新动能。

2020 年 8 月，国务院印发《新时期促进集成电路产业和软件产业高质量发 展的若干政策》，给予集成电路设计、装备、材料、封装、测试企业和软件企业 更有力度的税收优惠政策，进一步优化集成电路产业的发展环境。

根据《产业结构调整指导目录（2019 年本）》，该项目属于鼓励类第十一 项“石化化工”中第 14 款“含氟高纯电子气体”范畴和第二十八项“信息产业” 中第 22 条的“半导体、光电子器件、新型电子元器件等电子产品用材料”范畴， 符合国家产业政策。拟建项目产品为集成电路用高纯气体和高纯混合气体，属于 电子气产品，《产业结构调整指导目录（2019 年本）》也将“电子气等新型精 细化学品的开发与生产”列入鼓励类目录。

2018 年 11 月，国家统计局《战略性新兴产业分类（2018）》中列入了“电 子大宗气体、电子特种气体”。 2017 年 4 月，科技部《“十三五”先进制造技术领域科技创新专项规划》 列示重点任务“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”之“关键材料”：面向45-28-14 纳米集成电路工艺，重点研发 300 毫米硅片、深紫外光刻胶、抛光材料、 超高纯电子气体、溅射靶材等关键材料产品，通过大生产线应用考核认证并实现 规模化销售；研发相关超高纯原材料产品，构建材料应用工艺开发平台，支撑关 键材料产业技术创新生态体系建设与发展。

2016 年 11 月，国务院《“十三五”国家战略新兴产业发展规划》指出，优 化新材料产业化及应用环境，提高新材料应用水平，推进新材料融入高端制造供 应链，到 2020 年力争使若干新材料品种进入全球供应链，重大关键材料自给率 达到 70%以上。

②地方层面

《内蒙古自治区人民政府关于印发自治区国民经济和社会发展第十四个五 年规划和 2035 年远景目标纲要》努力实施重大科技创新攻关，聚焦制约产业转 型升级的重点领域和突出短板，瞄准新能源、新材料、高端装备制造、生态环境、 现代农牧业等重点领域。强调“加快发展新材料产业”，发挥煤化工、氯碱化工、 氟化工产业优势，积极发展先进高分子材料和复合材料。

2021 年 11 月，乌兰察布市人民政府印发《乌兰察布市加快推进“科技兴蒙” 行动支持科技创新发展若干措施》，引导企业加大研发投入，从政策、资金等方 面鼓励科技型企业和高新技术企业发展。 2021 年 2 月，乌兰察布市人民政府办公室印发《内蒙古察哈尔工业园区招 商引资及产业发展扶持若干措施（试行）》，从基础设施建设、税收、研发奖励 等多方面支持园区内新能源、新材料、高端装备制造、绿色食品加工、生物医药 等战略性新兴产业。

2021 年乌兰察布南大微电子与乌兰察布市集宁区人民政府、内蒙古察哈尔 经济技术开发区管委会签署了《高端氟硅集成电子材料项目协议书》，就建设年 产 7200 吨三氟化氮、年产 500 吨六氟化钨、年产 1000 吨六氟乙烷项目等生产线 及附属设施达成一致意见，支持和鼓励乌兰察布南大微电子电子特气类项目建设 经营。 综上，国家和地方政策的支持为电子特气细分行业提供了良好的发展环境。

（2）电子特气市场前景广阔，进口替代需求旺盛

作为集成电路、平面显示器件、太阳能电池等电子工业生产不可或缺的原材 料，电子特气伴随下游市场的高速增长，具备广阔的增量市场前景。对于半导体行业增长相关分析详见“年产 140 吨高纯磷烷、砷烷扩产及砷烷技改项目”实施 必要性的有关分析。此外，在面板行业，根据 DSCC 数据，随着国际产能逐渐向中国大陆转移，2019 年中国大陆显示面板产能全球市场份额约 46%，较 2016 年 增加 17 个百分点，预计在 2025 年产能占比将达到 66%，未来几年存在较高的增 长空间。 中国是半导体、显示面板的消费大国，未来几年下游产业的跨越式增长将积 极消化国内产能，大幅提升含氟电子特气的需求，因此国产三氟化氮厂商正迎来 宝贵的发展机遇，为新增产能的消化带来了更多空间。

（3）公司已储备丰富的生产研发经验及客户渠道

本次三氟化氮扩产项目拟由乌兰察布南大微电子实施。项目建设及后续生产 投入都将由飞源气体人员提供技术支持和监督。飞源气体作为全球三氟化氮和六 氟化硫的主要生产企业之一，在含氟气体产品的制备、充装、安全生产、质量控 制、安全运输等方面已取得了全面突破，并通过与国际领先下游企业的长期合作 积累了丰富的市场和客户服务经验。

飞源气体下游客户包括台积电、京东方、华 星光电、惠科股份、龙腾光电等知名企业，拥有丰富的客户管理经验和渠道储备， 为本次扩产产能消化提供了可靠的支撑。 乌兰察布南大微电子的管理、销售团队主要由发行人总部人员和飞源气体人 员组成，公司委派由氟类电子特气专家宋学章组成的研发管理团队共 15 人， 专门指导项目实施。飞源气体团队拥有 20 年氟化工工程经验，具有较强的降本 增效能力及工艺方面的后发优势，其初期投资、成本控制、产品工艺等方面均保 持着较强的竞争力。项目实施主体乌兰察布南大微电子已经具备多种关键含氟电 子材料的产业化经验，具备本次募投项目的实施能力。

4、本次募投项目与公司主营业务的区别与联系

本次募投项目拟扩建 7,200 吨/年三氟化氮生产装置项目，三氟化氮是公司含 氟电子特气板块的主要产品。本次募投项目建设是公司三氟化氮产能的进一步扩 充，以满足下游不断扩大的需求。同时也是扩大公司主营业务规模、提升公司行 业竞争力的重要举措。

5、项目投资概况

本项目的预计投资总额为 100,000.00 万元，拟使用本次向不特定对象发行可 转换公司债券募集资金投入 50,000.00 万元，募集资金不用于研发投入。

（1）土地

实施主体前期已使用 1,686.35 万元自有资金购置本项目所需建设用地，土地 面积 250,878.00 ㎡。公司已取得土地证号蒙（2021）集宁区不动产权第 0084002 号土地权证。

（2）厂房

本项目新增建筑面积 33,780.66 ㎡，将建设电解厂房、罐区、仓库、道路等 建筑物。公司根据新建厂房及建设道路、绿化等费用等测算的投资金额为 14,090.30 万元，其中将使用募集资金投入 4,000.00 万元。

（3）生产设备及安装费

本项目所需设备包括电解槽、高压液化气体管束式集装箱、高频柜电源、配 电系统、充装系统等，购买和安装费合计为 58,935.50 万元。公司根据当前市场 询价及公开价格对项目实施过程中所需购买的各类设备进行投资预测，其中将使 用募集资金投入 35,165.00 万元。

（4）包装设备

本项目所需的包装设备主要为槽车，项目预计新增槽车 127 辆，共计 10,835.00 万元，将全部由募集资金投入。

（5）其他费用

其他费用主要包括工程管理费用、调试费、试车费等，共计 3,490 万元。公 司将用自有资金解决，不涉及募集资金投入。

（6）流动资金

项目运营所需铺底流动资金为 11,000.00 万元，主要指在运营期间产生的存 货、应收款项、预付款项等形成的流动资金占用。公司将用自有资金解决，不涉 及募集资金投入。

6、项目新增产能消化空间

公司本次募投项目拟扩建 7,200 吨/年的三氟化氮产能。未来全球三氟化氮市 场快速增长，为本次募投产能消化奠定了基础。 根据 QY Research 的数据，2021 年中国三氟化氮销量达 1.60 万吨，2019-2021 年国内三氟化氮需求量复合增长率约为 23.2%，至 2025 年，国内三氟化氮市场 需求量达到 3.7 万吨，2030 年超过 10 万吨。国内主要厂商派瑞特气、昊华科技 都在积极扩产，抓住行业发展机遇、抢占市场份额已是行业发展共识。

2022 年一季度，公司三氟化氮累积销量已达 1,699 吨，其中已经完成生产配 送 974 吨，未执行完毕在手订单 725 吨。已完成生产配送量较 2021 年一季度同 比增幅达到 49.96%，增长速度较快。2022 年 1 季度累计订单销量占现有产能的 44.71%，占扩建后产能的 14.16%，产品处于长期紧缺且供不应求状态，未来将维持良好增长势头。公司现有客户资源将成为新增产能消化的有力保障。

7、项目实施进度

项目计划建设期为 36 个月。

8、项目效益情况

本次募投项目主要产品为三氟化氮，项目收入主要来自三氟化氮销售收入。 本项目拟投资 100,000.00 万元，项目计算期共 10 年，其中建设期 3 年。公司预 计自建设期第 2 年起产生销售收入，预计生产期第 3 年可实现满产满销。

销售价格方面，根据报告期内三氟化氮平均价格以及市场竞争加剧趋势，公司谨慎、合理预计单价及因市场竞争带来的下降趋势。其中在建设期第 2 年的销 售价格基础上，价格随预计市场竞争情况呈现不同程度下降，计算期第 7 年起因 市场竞争优胜劣汰，部分竞争者退出市场，降幅得以缓和并保持稳定。 项目成本方面，募投项目的直接材料主要为氟化氢、液氨等，公司根据市场 情况预测其单位耗用量及单价；直接人工成本方面，公司区分生产线岗、生产辅 助岗、职能管理岗等不同岗位分别对人工工资等进行预测，并结合当地经济状况 合理设定年均 3%的增长率。

燃动费等根据项目达产情况及市场价格预测，其中电费方面，2021 年乌兰 察布南大微电子与乌兰察布市集宁区人民政府、内蒙古察哈尔经济技术开发区管 委会签署《高端氟硅集成电子材料项目协议书》，就建设年产 7200 吨三氟化氮、年产 500 吨六氟化钨、年产 1000 吨六氟乙烷项目等生产线及附属设施达成一致 意见。

约定为支持和鼓励乌兰察布南大微电子项目建设经营，按照《内蒙古察哈 尔工业园区招商引资及产业发展扶持若干措施（试行）》（乌政办发〔2021〕8 号）文件精神，在项目一期工程建设完毕、达到约定投资规模、建设标准和产能， 并经相关部门验收合格后，将项目纳入《内蒙古自治区发展改革委工信厅关于调 整部分行业电价政策和电力市场交易政策的通知》（内发改价费字〔2021〕115 号）中电力市场优先交易范围，享受内蒙古战略新兴产业最优惠电价，因此本次按照优惠价格对电价进行预测。相关税费按照现行税收的相关要求进行估算，乌 兰察布南大微电子执行 25%的所得税率。

根据上述假设进行测算，本项目静态投资回收期为 5.84 年，所得税税后项 目财务内部收益率 21.95%，项目具有较好的经济效益。

9、项目备案、环评事项及进展情况

2021 年 5 月 11 日，本项目取得乌兰察布集宁区发展和改革委员会《项目备 案告知书》，项目代码 2105-150902-04-01-110910，对“乌兰察布南大微电子材 料有限公司年产 7200T 电子级三氟化氮项目”进行备案，建设内容包括电子级三 氟化氮电解厂房、后处理厂房、公辅工程、办公楼等。 2021 年 10 月 27 日，本项目取得乌兰察布市生态环境局出具的《关于乌兰 察布南大微电子材料有限公司年产 7200T 电子级三氟化氮项目环境影响报告书 的批复》（乌环审[2021]44 号）。

2021 年 12 月 15 日，乌兰察布南大微电子就“乌兰察布南大微电子材料有 限公司年产 7200t 电子级三氟化氮项目”取得《内蒙古自治区发展和改革委员会 关于乌兰察布南大微电子材料有限公司年产 7200t 电子级三氟化氮项目节能报告 的审查意见》（内发改环资字[2021]1391 号），批准同意该项目节能方案。 本项目目前正在建设过程中，将于新建产能投产，发生实际排污之前办理排 污许可有关事项。

此报告为正式报告摘取部分。需编制政府立项、银行贷款、投资决策等用途可行性研究报告咨询思瀚产业研究院。

来源： 思瀚产业研究院 南大光电