北京经济技术开发区-基于成套国产装备的特色工艺 12 吋集成电路生产线项目可行性研究报告
思瀚产业研究院 燕东微    2022-12-13

1、项目基本情况

本项目实施主体为公司全资子公司燕东科技，投资 75 亿元，利用现有的净化厂房和已建成的厂务系统和设施，进行局部适应性改造，并购置三百余台套设备，建设以国产装备为主的 12 英寸晶圆生产线。

该产线涉及建筑面积约16,000 ㎡（其中超净厂房面积 9,000 ㎡），月产能 4 万片，工艺节点为 65nm，产品定位为高密度功率器件、显示驱动 IC、电源管理 IC、硅光芯片等。本项目在公司现有经营场所实施，不涉及新增土地和房产。

2、项目投资概算

本项目总投资额为人民币 75.00 亿元。

3、项目周期和时间进度

本项目的建设分二阶段进行：

（1）一阶段 2023 年 4月试生产，2024 年 7月产品达产；

（2）二阶段 2024 年 4月试生产，2025 年 7月项目达产。

4、募集资金备案程序的履行情况

本项目已于 2021 年 3 月 29 日取得北京经济技术开发区行政审批局出具的《关于北京燕东微电子科技有限公司基于成套国产装备的特色工艺 12 吋集成电路生产线技改项目备案的通知》（京技审项（备）[2021]43 号）。

因项目拟开始时间由 2021 年 3 月变更为 2021 年 10 月，本项目取得了北京经济技术开发区行政审批局出具的《北京经济技术开发区企业投资项目备案变更证明》（京技审项函字[2021]23 号）。

因项目建设规模由总建筑面积 9,000 平方米改为 16,000 平方米，本项目取得了北京经济技术开发区行政审批局出具的《北京经济技术开发区企业投资项目备案变更证明》（京技审项函字[2022]2 号）项目备案文件。

5、项目实施地点与环境保护事项

本项目实施地点为北京经济技术开发区经海四路 51 号，将在公司已实施的8 英寸集成电路研发产业化及封测平台建设项目基础之上，利用预留厂房和已建成的厂务系统和设施进行实施，进行局部适应性改造，不涉及新增用地或厂房的情形。

本项目已于取得北京经济技术开发区行政审批局出具《关于北京燕东微电子科技有限公司基于成套国产装备的特色工艺 12 吋集成电路生产线项目环境影响报告表的批复》（经环保审字[2021]0118 号）。

因项目建设规模由总建筑面积 9,000 平米改为 16,000 平米，本项目取得了北京经济技术开发区行政审批局出具的《关于北京燕东微电子科技有限公司基于成套国产装备的特色工艺 12 吋集成电路生产线项目变更建筑面积的复函》（京技审环变字[2022]001 号），同意“该项目建筑面积由‘9000m2’变更为‘16000m2’”。

本项目主要污染物分为生活废水、工业废水、废气、固废及噪声等，相应治理措施如下：

（1）污水处理

生产废水及生活污水经过厂区废水处理站处理达到《电子工业污染物排放标准》的相关标准。生产废水由厂区废水总排口排入开发区市政污水管网。对雨水排放，采用有组织雨水收集后排入厂区雨水管道，经厂区雨水管网汇集后排放；对生活污水，本项目卫生间粪便污水经化粪池处理后，抽入废水生化系统进行二次处理，达到三级排放标准后，由公司污水总排口排入市政污水管网，经市政污水处理厂集中处理后排放；对生产废水，经重力管道收集至生产厂房1F 废水收集区域，部分废水处理后回用（如使用超纯水对玻璃面板、生产工器具产生的清洗废水），其余废水加压后提升至废水处理站进行处理。

（2）废气处理

对于只含有废热的一般排气，不需经处理由排风管道可直接排入大气；对酸性和碱性气体需经洗涤塔喷淋溶液净化处理后再排入大气；工艺生产的排风中含有 NH3 等碱性废气；对工艺生产中的特种有毒气体，排风系统按防腐、防爆要求设计，并对排放气体，一般先经废气处理装置（LocalScrubber，有毒气体处理设备，由工艺设备自带）除去大部分有害物，再经进入酸废气处理系统喷淋溶液处理后，达到排放标准后排入大气；工艺生产的排风中含有如异丙醇、PGMEA 等废气，对这类碱性气体需经有机废气净化装置净化处理后，排至室外；本项目无组织来源主要为生产运营过程中部分化学品储存，气站废气排放，食堂天然气的燃烧。

（3）废液回收处理

各种废液（硫酸废液、含铜废液、磷酸废液、剥离液、显影液、稀释液）分别收集在专用的容器中，定期由专业公司运出厂外有关专业厂进行回收处理。

（4）固体废弃物处理

固体废物主要有废水处理污泥、生产废物（碎硅片、包装废料）及生活垃圾等，这些固体废物分别收集、存放。对一般垃圾，主要为厂区办公生活垃圾、废纸废塑料、废硅片等，这类垃圾毒性小，直接环境危害较小，集中收集后由环卫部门统一清运处理或专业废品回收公司运出厂外统一处理和回收利用；对废水处理设施运行中凝聚、沉淀后产生的污泥，经浓缩槽浓缩、脱水，脱水后的污泥根据污染物含量，委托具有危险废物处理资质的单位处理，危险固体废弃物主要为废化学品容器桶等。

（5）噪声治理

选用低噪声设备；对有振动的设备设置减振台、隔振基础以减少噪声产生和传递；对空压机组、冷冻机组产生高噪声的设备，设置隔音门窗，墙面采取吸音板。以减少噪声的对外传播。一般经上述措施处理后，可有效的减少各类噪声源在厂区内外的扩散，降低噪声对环境造成的污染。上述环保措施与工程建设做到“三同时”，以保证建设项目按时建成并投入生产。

（6）绿化

厂区进行总体规划设计时，已保证有足够的绿化覆盖率，使厂区周围环境优美，空气清新。

6、项目可行性及与公司现有主要业务、核心技术之间的关系

本项目的建设内容与公司现有主要业务及核心技术具有极强的相关性，对巩固和扩大主营业务、加强和提升核心技术具有重要意义。

（1）项目建设符合国家集成电路战略规划

集成电路产业是国家战略性新兴产业，是国民经济和社会信息化的重要基础。《国家集成电路产业发展推进纲要》提出：要增强芯片制造综合能力，以工艺能力提升带动设计水平提升，以生产线建设带动关键装备和材料配套发展。其他相关政策如《战略性新兴产业重点产品和服务指导目录（2016 版）》《新时期促进集成电路产业和软件产业高质量发展的若干政策》等均体现了国家对于集成电路产业的重视。公司投资建设 65nm 的 12 英寸线，推动产业升级符合国家相关产业政策，属于鼓励发展的方向。

（2）项目建设符合北京市集成电路产业发展规划

《北京市加快科技创新发展集成电路产业的指导意见》中指出，推进 12 英寸晶圆产线产能规模提升，加快先进、特色工艺平台建设，努力满足本地设计企业代工需求，支持制造企业建设基于国产先进装备的中试线、生产线。北京市 2021 年政府工作报告提出要重点发展集成电路产业。《北京市“十四五”时期高精尖产业发展规划》提出做强“北京智造”四个特色优势产业，集成电路产业是其中之一。公司投资建设 65nm 的 12 英寸线有助于推动北京市构建“以设计为龙头、装备为依托、制造为基础”的集成电路产业创新生态建设，是北京市重点支持的项目之一。

（3）项目具有良好的上下游产业链资源

下游市场方面，公司既有业务积累了丰富的客户资源，本项目产线的产品定位为高密度功率器件、显示驱动 IC、电源管理 IC、硅光芯片等，均具有广阔的市场空间。在电路、特种器件、光电子器件等方面，客户需求可以覆盖本项目的规划产能。上游设备方面，近年来国产 12 英寸晶圆制造装备的品种、质量和出货量稳步提升，众多国内装备企业可为本项目的实施提供设备和服务支持，且国际上 65nm 工艺装备采购渠道畅通，公司已与多家设备厂商建立了友好合作关系。

（4）项目具有较好的生产管控、厂务及设备运维等基础

本项目充分利用 8英寸生产线预留的 9,000余平米百级净化厂房，并与 8英寸生产线共用生产、厂务、信息化等管理系统。公司 8 英寸生产线投产两年来持续运营，2021 年实现月产出 5 万片，8 英寸线连续的产业化运营，检验了企业厂房厂务运维、大生产运营管控及信息化运维管控等系统的可靠性和稳定性，为 12 英寸生产线项目的建成运营奠定了基础。公司在建设基于国产装备 8 英寸线的过程中积累了丰富的装备运维经验，鉴于绝大部分国产 12 英寸线工艺装备的软硬件与 8 英寸装备共享平台，8 英寸线的运维能力可直接支持 12 英寸线建设。

（5）项目具有良好的人才和技术储备

经过几十年的发展，公司拥有了一支 400 百余人的具有丰富集成电路从业经验和良好专业基础的技术团队，是 12 英寸线建设的基础技术支撑力量。同时公司加大引进海外领军人才和专业工程人才力度，积极为 12 英寸线建设储备人才。此外，北京市拥有众多集成电路设计公司和科研院所，聚集了大量的集成电路产业的专业技术人才，也可为本项目提供人才和技术支持。

公司已在 8 英寸线上完成 Trench-MOSFET、0.35μmCMOS、0.18μmCMOS、高压 BCD 等工艺平台的建设并量产，正在开发 0.13umCMOS、热成像传感器、硅基光电子、SOI 等工艺平台，相关工艺平台成果可升级到 12 英寸生产线，促进 12 英寸线工艺平台建设，推动产线快速量产。

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