含氟半导体材料项目可行性研究报告
思瀚产业研究院 德尔科技    2023-09-16

“含氟半导体材料项目”是公司基于现有电子特种气体产品品类、行业发展趋势、市场需求等因素，围绕公司现有电子特种气体的核心技术，对电子特种气体产品的进一步产业布局。

项目建成后公司将新增年产 10,000 吨电子级三氟化 氮、600 吨电子级六氟化钨产能，进一步拓宽补强公司电子特种气体产品线，完 善公司电子特种气体产品业务板块，为公司培育新的业务增长点。

同时，本项目将应用公司在电子特种气体板块积累的技术，包括精馏提纯等核心技术，并在现 有基础上进一步提升工艺技术水平。

因此，本项目实施将满足客户对电子特种气 体的多品类需求，进一步提升合作粘性，进而加强公司电子特种气体业务综合竞争力，促进公司巩固和强化市场地位。

1、项目概况

本项目实施主体为福建德尔，项目投资总额为 156,000.00 万元，拟使用募集资金 120,000.00 万元，计划新建厂房、仓库与办公楼等配套建筑及辅助和公用工程设施等，项目达产后每年将增加 10,000 吨三氟化氮、600 吨六氟化钨生产能力。

2、项目实施的必要性

（1）本项目顺应国家政策导向，是公司把握行业发展机遇的重要举措

（1）本项目顺应国家政策导向，强化公司三氟化氯国产替代先发优势

电子特种气体作为关键性电子材料，国家近年来颁布多项产业政策对电子特种气体产业予以支持及指导，以保证行业实现稳定健康发展。

2020 年，国务院发布《新时期促进集成电路产业和软件产业高质量发展的若干政策》，提出“聚焦高端芯片、集成电路装备和工艺技术、集成电路关键材料、集成电路设计工具、基础软件、工业软件、应用软件的关键核心技术研发，不断探索构建社会主义市场经济条件下关键核心技术攻关新型举国体制。

科技部、国家发展改革委、工信部等部门做好有关工作的组织实施，积极利用国家重点研发计划、国家科技重大专项等给予支持”。2021 年，工信部发布《重点新材料首批次应用示范指导目录（2021 年版）》，提出“在‘113.特种气体’中列示包括三氟化氯等 33 种特种气体，对纯度等指标提出明确要求”。

2022 年，中国工业气体工业协会发布《中国气体工业“十四五”发展指南》，提出“聚焦补短板强弱项、解决“卡脖子”关键技术，推动电子气体国产化，替代进口，打通全行业供应链，稳定产业链，实现行业高质量发展”。

国家产业政策为电子特种气体行业创造了良好的发展环境，同时也为行业发展指明了方向。公司计划通过本次募投项目新建电子级三氟化氯生产线，既顺应国家政策导向，也将强化公司电子级三氟化氯国产替代先发优势，成为公司抢占市场先机的重要措施。

电子级三氟化氮和六氟化钨作为重要的电子特种气体产品品类，市场规模空间广阔。因此，为持续做大做强做精公司电子特种气体业务，深化公司竞争优势，公司计划使用本次募集资金新建电子级三氟化氮和六氟化钨生产线，是公司顺应国家政策导向和把握行业发展机遇的重要举措。

（2）丰富公司电子特种气体产品线，增强公司盈利能力

公司自成立以来始终致力于电子特种气体的研发和产业化，公司已拥有包括四氟化碳、三氟甲烷、六氟乙烷、八氟环丁烷、一氟甲烷、二氟甲烷等十余种电子特种气体产品，上述产品均已实现量产并应用于集成电路、显示面板等领域生产制造。未来，随着我国集成电路产业逐步进入国产替代进程及显示面板产能向大陆地区转移等因素，电子特种气体需求预计将持续攀升。基于我国集成电路产业链安全健康发展背景下，国产电子特种气体进入集成电路企业供应链的品种及数量也将不断提升。

因此，本项目计划建设电子级三氟化氮、六氟化钨生产线，项目实施将进一步丰富公司产品线，优化公司产品结构，加快公司在电子特种气体市场的产业布局，增强公司盈利能力。本项目是基于产业特点和公司自身业务进行布局，依托于公司深厚的技术积淀、合作伙伴资源、渠道优势和品牌基础，实现对业务种类的深度拓展和延伸，以增强公司核心竞争力，进一步巩固公司的市场地位。

（3）满足客户电子特种气体多品类需求，提升合作粘性

客户认证是新进企业进入电子特种气体行业的壁垒之一，电子特种气体下游各应用领域客户均对供应商选择较为慎重，必须经过严格且漫长的质量验证过程。根据所需产品品质的要求不同，各应用领域认证周期存在差异：光伏能源、光纤光缆领域的产品认证周期较短约为 0.5-1 年，显示面板领域通常为 1-2 年，集成电路领域对产品品质要求最高，认证周期能够长达 2-3 年。

集成电路生产制造过程中一般需同时使用多种湿电子化学品、电子特种气体等电子专用材料进行搭配使用或用于不同工艺，因此为保证生产及供应稳定性、效率等因素，集成电路生产制造企业在选择供应商时会更加青睐能够提供多品种产品的供应商。

下游各应用领域客户在与关键材料供应商建立供应关系后会保持长期稳定的合作关系，双方会建立反馈机制，增加双方信息交流以满足个性化需求。在不断的反馈交流过程中，电子特种气体供应商与客户的粘性将会不断增加。

因此，通过本项目的实施，公司将进一步扩充电子特种气体产品线，为下游集成电路企业提供电子级三氟化氮和六氟化钨产品，满足客户多品类的电子特种气体产品需求，强化公司与客户之间的业务深度，进一步提升客户合作粘性。

3、项目实施的可行性

（1）电子特种气体下游产业景气度高涨，拉动三氟化氮、六氟化钨需求持续增长

①电子特种气体下游产业景气度高涨，推动电子特种气体需求增长

电子特种气体作为半导体产业生产中不可缺少的“粮食”和“源”，对纯度、杂质含量等技术性指标有极其严苛的要求，属于高技术、高附加值产品。

随着中国大陆晶圆厂投产数量持续加大，物联网、新能源汽车、智能终端制造、新一代移动通信等终端应用市场需求驱动，半导体产业对电子特种气体需求持续保持较高增长速度，为电子特种气体带来了良好的市场机遇。

根据 IC Insights数据显示，我国集成电路市场需求 2020 年约为 1,430 亿美元，2025 年预计达到2,230 亿美元，复合增长率 9.29%。其中，我国集成电路市场需求持续攀升，2020年产值为 227 亿美元，国产替代率为 15.87%，预计 2025 年产值将达到 432 亿美元，复合增长率达到 13.73%，且国产替代率将进一步提高到 19.37%。在显示面板领域，我国已积极布局 OLED、AMOLED、Mini LED、Micro LED 等新兴技术。

根据中国电子材料行业协会数据显示，2021 年我国显示面板行业营收超过3,900 亿元，同比增长近 30%，且从全球市场分析，中国大陆地区显示面板规模最近 5 年增幅最大，且全球市场占有率达到 44.3%。

②三氟化氮、六氟化钨需求持续增长，为募投项目新增产能消化提供有力保障

三氟化氮与六氟化钨主要用于超大规模集成电路先进制程制造过程，在全球集成电路、显示面板及太阳能电池行业高速增长态势推动下，未来全球三氟化氮、六氟化钨需求量预计将进一步上升。根据 Market Watch 数据显示，2022 年全球三氟化氮市场价值为 14.56 亿美元，并预计 2029 年将达到 34.41 亿美元。

六氟化钨作为高性能的沉积材料，随着存储芯片制造工艺不断迭代，特别是 3D NAND层数不断增加对于沉积材料的台阶覆盖填充能力要求持续提高，存储芯片产业对六氟化钨的需求将与日俱增。根据 QY Research 预测，全球六氟化钨的消费量将从 2018 年的 3,164.80 吨增长至 2025 年的 9,971.15 吨，2025 年全球六氟化钨市场规模预计将从 2018 年的 3.32 亿美元增长到 10.30 亿美元。

综上所述，伴随我国集成电路产业国产替代进程推进，国内晶圆厂建设规模持续增长，显示面板产能大规模向中国大陆转移，我国高世代线的加快建设以及新型显示技术发展等众多因素带动下，三氟化氮和六氟化钨产品需求将持续攀升，为本次募投项目新增产能消化提供有力保障。

（2）完善的品控制度与优质的全球化客户将保障募投项目顺利落地

公司始终高度重视产品品质管控，秉持“精于品质”的产品质量方针，搭建全过程质量控制体系。公司自建了产品实验室，具备相关产品可靠性试验和环境测试条件，可进行包括“气相色谱-质谱联用仪 GC-MS”、“电感耦合等离子体质谱 ICP-MS 仪”、“电感耦合等离子体发射光谱仪 ICP-OES”等在内的各项测试，充分保障公司产品在纯度、杂质含量等各项指标符合标准要求。目前，公司已通过 ISO9001、ISO 14001、能源管理体系认证证书、环境管理体系认证等相关体系认证。

公司凭借清晰的市场定位、长时间的技术积累、优秀的产品质量，在行业内树立了良好的企业形象。目前，公司产品已进入台积电、三星电子、英特尔、日本铠侠（原东芝）、格芯、中芯集成、长江存储、长鑫存储、厦门联芯和士兰集科等全球领先的半导体企业供应链体系。

与全球知名企业的合作，一方面有助于公司及时掌握全球各区域前沿技术、发展趋势以及需求情况，强化公司对新技术、新市场的理解，推动公司实现核心技术的突破和产品创新，从而提高公司产品竞争力；另一方面有助于公司继续通过对现有客户进行深入了解和全方位服务，而不断获得其新增订单以提高供应占比，并在不断获得现有客户订单的同时积极开拓新客户，实现公司业务扩张。

因此，在公司严格的品质制度把控下，产品品质稳定可靠，以此建立公司良好的企业形象以及优质的全球化客户资源，将保证公司订单随客户的发展而持续、稳定增长，为本次募投项目的建设提供坚实的客户基础，保障本次募投项目顺利实施落地。

完整版可行性研究报告依据国家部门及地方政府相关法律、法规、标准，本着客观、求实、科学、公正的原则，在现有能够掌握的资料和数据的基础上，主要就项目建设背景、需求分析及必要性、可行性、建设规模及内容、建设条件及方案、项目投资及资金来源、社会效益、经济效益以及项目建设的环境保护等方面逐一进行研究论证，以确定项目经济上的合理性、技术上的可行性，为项目投资主体和主管部门提供决策参考。此报告为思瀚摘录部分。