半导体专用设备是集成电路产业的重要支撑,价值量较高,集中应用于晶圆制造和封测两个环节。在晶圆制造环节使用的设备被称为前道工艺设备,在封测环节使用的被称为后道工艺设备。前道工艺设备进一步细分为晶圆处理设备和其 他前端设备,如光刻设备等,后道工艺设备分为测试设备和封装设备。
(1)全球半导体专用设备市场恢复性增长,再创历史新高
半导体专用设备行业与半导体行业整体景气程度密切相关,且波动较大。根据 SEMI 数据,全球半导体专用设备 2021 年市场规模为 1026 亿美元,相较 2020 年 712 亿美元的销售额增长 44%,再创历史新高。
(2)我国半导体专用设备自给率低,进口替代率亟待提高
目前全球半导体专用设备生产企业主要集中于欧美和日本等,中国半导体专 用设备自给率低。在中国半导体设备市场,国内企业市场份额极低,且市场占有 率提升缓慢,设备的国产化和核心技术的自主化是涉及国家经济发展的问题之 一。
根据 SEMI 数据,2021 年大陆半导体设备市场规模首次在市场全球排首位, 达到 296.2 亿美元,同比增长 58%,占全球半导体设备市场的 28.9%,但国内半 导体专用设备自给率仍然较低。根据 SEMI,ASML、AMAT、LAM Research、 TEL、KLA 五大半导体专用设备厂商 2021 年收入合计 788 亿美元,占全球市场 约 77%。
同时,中美贸易摩擦背景下,国内集成电路大发展已经成为必由之路, 半导体器件等微电子制造业已成为国家大力发展的产业,自主发展集成电路产业 已经上升到国家战略高度,国家近年来也接连出台一系列相关政策支持和引导半 导体产业的发展,各个环节的进口替代快速崛起,相关半导体设备的国产替代空 间很大。